一体式倒片倒角器的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件芯片制造设备领域，具体地，涉及一体式倒片倒角器。


背景技术：

2.芯片制造过程中，为了适应设备以及工艺制程的需要，常常需要将硅片来回的倒片，原倒片方式为手动推拉式，不仅对倒片过程易产生划伤，如果片筐对齐不良则会产生碎片风险；硅片边缘凸凹不平、存在边缘应力、受热边缘膨胀系数不同，未经倒角的硅片由于上述的原因易发生崩裂的现象，因此需要对硅片边缘进行摩擦,从而获得钝圆形边缘，消除边缘锋利区,大大减小边缘崩裂的出现,利于释放应力，目前倒角器很多因为结构设计缺陷，使用损坏无法维修导致倒角异常，无法实现硅片平边整体倒角。为了实现上述这两种操作，则需要两种工夹器具交替使用，使用过程十分不人性化。
3.因此亟需一种设备将倒片倒角一体融合，降低员工的劳动强度缩短倒片倒角时间，提升产品质量。


技术实现要素：

4.为克服上述现有技术的不足，本实用新型提供一种既可以倒片又可以倒角的工夹器具，使倒片倒角简化，降低员工劳动强度，且对产品质量提升起到一定作用。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
6.一体式倒片倒角器，包括上盖板、底板、摩擦辊子、支撑杆、支撑板、连接杆、左侧片筐垫条、右侧片筐垫条、轴承组，所述左侧片筐垫条与右侧片筐垫条均位于底板的边侧，且左侧片筐垫条与右侧片筐垫条的两端均分别与上盖板和底板固定连接，所述轴承组包括轴承一、轴承二，所述轴承一、轴承二的外圈分别嵌入上盖板与底板内，所述摩擦辊子位于左侧片筐垫条与右侧片筐垫条之间且其一端与轴承二的内圈套接，其另一端套接于轴承一的内圈并贯穿上盖板，且端部固定连接有一个旋钮，所述底板的两侧各铰接有一个连接杆，所述连接杆的底部固定连接于支撑板上，所述支撑杆固定连接于支撑板的右部上表面，其顶端与底板抵接。
7.优选地，所述支撑杆带有磁力，其与底板通过磁力相吸。
8.优选地，所述摩擦辊子外部周圈包裹固定有防滑胶皮。
9.优选地，所述底板可绕其与连接杆的铰接点逆时针旋转一定角度，并与支撑板之间形成夹角，所述夹角的最佳角度为45
°
。
10.本实用新型的有益效果为：
11.本实用新型将倒角与倒片两个功能有机的结合到一个设备上，最终实现倒片倒角一体融合，降低操作人员劳动强度，提高做片质量，且其结构简单，维修更换容易。
附图说明
12.图1为本实用新型的结构示意图；
13.图2为本实用新型的俯视图；
14.图3为实施例的示意图；
15.图中所示附图标记为：1
‑
上盖板、2
‑
底板、3
‑
摩擦辊子、4
‑
支撑杆、5
‑
支撑板、6
‑
连接杆、7
‑
左侧片筐垫条、8
‑
右侧片筐垫条、9
‑
轴承一、10
‑
轴承二、11
‑
旋钮、12
‑
硅片、13
‑
收片片筐、14
‑
送片片筐。
具体实施方式
16.以下结合附图对本设计方案进行详细说明。
17.如图1
‑
图2所示，一体式倒片倒角器，包括上盖板1、底板2、摩擦辊子3、支撑杆4、支撑板5、连接杆6、左侧片筐垫条7、右侧片筐垫条8、轴承组，其中左侧片筐垫条7与右侧片筐垫条8均位于底板2的边侧，且左侧片筐垫条7与右侧片筐垫条8的两端均分别与上盖板1和底板2固定连接，轴承组包括轴承一9、轴承二10，轴承一9、轴承二10的外圈分别嵌入上盖板1与底板2内，摩擦辊子3位于左侧片筐垫条7与右侧片筐垫条8之间且其一端与轴承二10的内圈套接，其另一端套接于轴承一9的内圈并贯穿上盖板1，且端部固定连接有一个旋钮11，摩擦辊子3主体采用尼龙，摩擦辊子3外部周圈包裹固定有防滑胶皮，且贴合严密无串动，底板2的两侧各铰接有一个连接杆6，连接杆6的底部固定连接于支撑板5上，支撑杆4固定连接于支撑板5的右部上表面，其顶端与底板2抵接，支撑杆4带有磁力，其与底板2通过磁力相吸。
18.其中，底板2可绕其与连接杆6的铰接点逆时针旋转一定角度，并与支撑板5之间形成夹角，其中夹角的最佳角度为45
°
。
19.其中，支撑杆4与连接杆6的高度一致，当底板2与支撑杆4的端部抵接时，底板2呈水平状态。
20.实施例
21.如图3所示，在使用一体式倒片倒角器时，倒片只需要将装满硅片12的送片片筐14放到底板2的指定位置，收片片筐13放于其左侧，按压底板2左部位置，此刻底板2会倾斜45
°
左右，硅片12利用重力原理从送片片筐14转移到收片片筐13中，即可实现整筐硅片的倒片功能。
22.倒片后无需将片筐取下，只需要旋转旋钮11，进而使得倒角器上的摩擦辊子3旋转即可实现整批硅片12在片筐内倒角功能。省去人员将硅片片筐取下，放入老式倒角器的步骤，降低员工劳动成本，降低人员接触硅片的频次，降低转移过程碎片的风险。
23.操作完毕后，抬起底板2复位，底板2吸附到支撑杆4上呈水平状态，为下一个倒片倒角动作做准备。


技术特征：
1.一体式倒片倒角器，其特征在于，包括上盖板、底板、摩擦辊子、支撑杆、支撑板、连接杆、左侧片筐垫条、右侧片筐垫条、轴承组，所述左侧片筐垫条与右侧片筐垫条均位于底板的边侧，且左侧片筐垫条与右侧片筐垫条的两端均分别与上盖板和底板固定连接，所述轴承组包括轴承一、轴承二，所述轴承一、轴承二的外圈分别嵌入上盖板与底板内，所述摩擦辊子位于左侧片筐垫条与右侧片筐垫条之间且其一端与轴承二的内圈套接，其另一端套接于轴承一的内圈并贯穿上盖板，且端部固定连接有一个旋钮，所述底板的两侧各铰接有一个连接杆，所述连接杆的底部固定连接于支撑板上，所述支撑杆固定连接于支撑板的右部上表面，其顶端与底板抵接。2.根据权利要求1所述的一体式倒片倒角器，其特征在于，所述支撑杆带有磁力，其与底板通过磁力相吸。3.根据权利要求1所述的一体式倒片倒角器，其特征在于，所述摩擦辊子外部周圈包裹固定有防滑胶皮。4.根据权利要求1所述的一体式倒片倒角器，其特征在于，所述底板可绕其与连接杆的铰接点逆时针旋转一定角度，并与支撑板之间形成夹角，所述夹角的最佳角度为45
°
。

技术总结
本实用新型公开了一体式倒片倒角器，包括上盖板、底板、摩擦辊子、支撑杆、支撑板、连接杆、左侧片筐垫条、右侧片筐垫条、轴承组，其中左侧片筐垫条与右侧片筐垫条的两端均分别与上盖板和底板固定连接，轴承组包括轴承一、轴承二，轴承一、轴承二的外圈分别嵌入上盖板与底板上，摩擦辊子位于左侧片筐垫条与右侧片筐垫条之间且其一端与轴承二的内圈套接，其另一端套接于轴承一的内圈并贯穿上盖板，且端部固定连接有一个旋钮，底板的两侧各铰接有一个连接杆，连接杆的底部固定连接于支撑板上，支撑杆固定连接于支撑板的右部上表面，本实用新型使倒片倒角简化，降低员工劳动强度，且对产品质量提升起到一定作用。质量提升起到一定作用。质量提升起到一定作用。


技术研发人员：石也琛 樊超
受保护的技术使用者：吉林麦吉柯半导体有限公司
技术研发日：2021.08.11
技术公布日：2021/11/29