双面研磨装置的制作方法

技术特征：
1.一种双面研磨装置，具备：下平台，其设置为能够以旋转轴为中心进行旋转，且上表面贴附有研磨垫；上平台，其设置为能够在所述下平台的上方进行上下移动，并能够以所述旋转轴为中心进行旋转，且下表面贴附有研磨垫；以及，悬挂顶板，其设置在所述上平台的上方，其特征在于，具备：连结部，其连结所述悬挂顶板和所述上平台；以及，致动器，其设置在所述悬挂顶板与所述上平台之间且与所述连结部不同的位置，并能够使上平台形状改变。2.根据权利要求1所述的双面研磨装置，其特征在于，所述连结部由配置在所述上平台的半径方向的同一圆周上的多个悬挂支柱构成，所述致动器在所述上平台的半径方向的同一圆周上且与所述多个悬挂支柱不同的位置处配置有1个以上。3.根据权利要求2所述的双面研磨装置，其特征在于，所述致动器以所述多个悬挂支柱为支点使所述上平台形状改变。4.根据权利要求1至3中任一项所述的双面研磨装置，其特征在于，还具备连结所述致动器和所述上平台的浮动接头，所述致动器固定于所述悬挂顶板。5.根据权利要求1至4中任一项所述的双面研磨装置，其特征在于，所述上平台由线性热膨胀系数为6
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‑6/k以下的低热膨胀材料构成。

技术总结
本发明的双面研磨装置，具备：下平台，其设置为能够以旋转轴为中心进行旋转，且上表面贴附有研磨垫；上平台，其设置为能够在所述下平台的上方进行上下移动，并能够以所述旋转轴为中心进行旋转，且下表面贴附有研磨垫；以及，悬挂顶板，其设置在所述上平台的上方，其的特征在于，具备：连结部，其连结所述悬挂顶板和所述上平台；以及，致动器，其被设置在所述悬挂顶板与所述上平台之间且与所述连结部的位置不同，并能够使上平台形状改变。由此，提供一种平台的移动机构，其在悬挂形态的双面研磨装置中不促进平台的热变形，且能够使平台形状改变为各种形状。种形状。种形状。


技术研发人员：田中佑宜 丸田将史
受保护的技术使用者：不二越机械工业株式会社
技术研发日：2020.02.27
技术公布日：2021/11/16