光刻系统的制作方法

技术特征：
1.一种光刻系统，其特征在于，所述光刻系统包括：机台、工作台和数字微镜器件dmd，所述dmd设置在所述机台上，所述工作台用于设置被光刻对象，所述dmd所在平面与所述被光刻对象所在平面之间的角度为预设角度γ。2.根据权利要求1所述的光刻系统，其特征在于，所述dmd包括多个微镜，每个所述微镜的形状是矩形，将所述微镜的第一边的长度记为m，将所述微镜的第二边的长度记为n，将目标长度记为p，所述预设角度γ由所述m、所述n和所述p确定。3.根据权利要求1所述的光刻系统，其特征在于，所述dmd包括在高度方向上叠加设置的k个dmd，k为大于1的整数。4.根据权利要求3所述的光刻系统，其特征在于，k＝2。5.根据权利要求1所述的光刻系统，其特征在于，所述dmd与所述被光刻对象在第一方向和第二方向上相对运动。6.根据权利要求5所述的光刻系统，其特征在于，dmd固定设置在所述机台上；所述机台同时在所述第一方向和所述第二方向上运动；或者，所述工作台同时在所述第一方向和所述第二方向上运动；或者，所述机台在所述第一方向上运动，同时所述工作台在所述第二方向上运动；或者，所述机台在所述第二方向上运动，同时所述工作台在所述第一方向上运动。7.根据权利要求5所述的光刻系统，其特征在于，所述dmd非固定地设置在所述机台上；所述机台在所述第一方向上运动，同时所述dmd在所述第二方向上运动；或者，所述机台在所述第二方向上运动，同时所述dmd在所述第一方向上运动。8.根据权利要求5所述的光刻系统，其特征在于，所述dmd非固定地设置在所述机台上；所述工作台在所述第一方向上运动，同时所述dmd在所述第二方向上运动；或者，所述工作台在所述第二方向上运动，同时所述dmd在所述第一方向上运动。9.根据权利要求5至8任一所述的光刻系统，其特征在于，所述dmd包括多个微镜，每个所述微镜的形状是矩形，将所述微镜的第一边的长度记为m，将所述微镜的第二边的长度记为n，将目标长度记为p，所述dmd与所述被光刻对象之间的相对运动方向与所述第一方向形成的锐角夹角θ由所述m、所述n、所述p和所述γ确定。

技术总结
本实用新型公开了一种光刻系统，涉及光刻技术领域，所述光刻系统包括：机台、工作台和数字微镜器件DMD，所述DMD设置在所述机台上，所述工作台用于设置被光刻对象，所述DMD所在平面与所述被光刻对象所在平面之间的角度为预设角度γ。避免了现有方案中在需要更改清晰度时需要更换不同参数的DMD成本较高的问题，达到了可以通过调整DMD所在平面与被光刻对象所在平面之间的角度方便快捷的实现清晰度调整的效果。的效果。的效果。


技术研发人员：陈国军 吴景舟 马迪
受保护的技术使用者：江苏迪盛智能科技有限公司
技术研发日：2021.01.07
技术公布日：2021/11/16