机械臂运输固定架的制作方法

1.本实用新型涉及设备运输领域，具体而言，涉及一种机械臂运输固定架。


背景技术：

2.半导体加工过程涉及多种工艺，每种工艺需要用到不同的设备，很多工艺都需要预先获得晶圆准确的位置状态。现有技术中，作为半导体设备的关键部位之一的晶圆传送装置是晶圆制造厂中常用的设备，用于抓取晶圆并将其传送至下一目的地，该抓取动作由晶圆传送装置的机械手臂来完成。
3.半导体生产线在定期维护时，或者对产线进行位置布局调整时，都需要将机械臂拆除并且搬运，由于机械臂底部设置有部件，使其底部并不平整，无法平稳放置。又由于机械臂属于精密仪器，其精密运动部件无法承受机械臂搬运过程的颠簸与冲击，因而不能以运动部件作为搬运的支撑点。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种机械臂运输固定架，架空了机械臂底部的部件使机械臂能够平稳放置，并且承受机械臂在搬运过程的颠簸与冲击。
5.为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：
6.一种机械臂运输固定架，连接于机械臂的底座上，所述底座下方设置有一机械臂部件，所述机械臂固定架包括连接在底座下方两侧的两个支撑板，支撑板高度大于所述机械臂部件的高度，所述的支撑板下方连接有与所述底座平行的底板，底板四角上设置有孔。
7.作为本实用新型的一种方案，所述的两个支撑板偏置于底板一侧，以便连上所述底座后，机械臂的重心落在所述底板的中心。
8.作为本实用新型的一种方案，所述底板两边各开设有一抓取孔。
9.作为本实用新型的一种方案，所述孔用于连接至托盘或包装箱上。
10.作为本实用新型的一种方案，所述孔用于连接支脚或万向轮，所述支脚或万向轮设置于所述底板下方。
11.作为本实用新型的一种方案，所述机械臂部件为伺服电机。
12.本实用新型的有益效果是：
13.1、本申请的机械臂运输固定架架空了机械臂底部的部件使机械臂能够平稳放置，并且能够承受机械臂在搬运过程的颠簸与冲击，以保护精密的运动部件。
14.2、支撑板偏置于底板一侧，以便连上所述底座后，机械臂的重心落在所述底板的中心，使搬运时不易发生倾覆，提高运输的平稳性。
15.3、底板四角的孔可以连接至托盘或包装箱，或者连接支脚或万向轮，底板两侧设置的抓取孔。以便机械臂运输固定架适用于包括人力、叉车、吊装、物流等不同的运输场景。
16.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技
术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
17.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
18.图1为机械臂运输固定架运输状态示意图；
19.图2为机械臂运输固定架结构示意图。
具体实施方式
20.为了完全理解本实用新型，将参考附图描述本实用新型的优选实施例。可以以各种形式修改本实用新型的实施例，并且本实用新型的范围不应被解释为限于下面详细描述的实施例。提供本实用新型的实施例是为了使本领域技术人员能够更全面地理解本实用新型。因此，可以夸大附图中的元件的形状等，以便强调更清楚的解释。应注意，在附图中，相同的构件由相同的附图标记表示。此外，省略了可能由本实用新型的主旨不必要地模糊的已知功能和配置的详细描述。
21.下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。
22.参照图1至图2所示，一种机械臂运输固定架，连接于机械臂的底座100上，所述底座100下方设置有一机械臂部件200，所述机械臂固定架包括连接在底座100下方两侧的两个支撑板1，支撑板1高度大于所述机械臂部件200的高度，所述的支撑板1下方连接有与所述底座100平行的底板2，底板2四角上设置有孔21。
23.作为本实用新型的一种优选实施例，所述的两个支撑板1偏置于底板2一侧，以便连上所述底座100后，机械臂的重心落在所述底板2的中心。
24.作为本实用新型的一种优选实施例，所述底板2两边各开设有一抓取孔22。
25.作为本实用新型的一种优选实施例，所述孔21用于连接至托盘或包装箱上。
26.作为本实用新型的一种优选实施例，所述孔21用于连接支脚或万向轮，所述支脚或万向轮设置于所述底板2下方。
27.作为本实用新型的一种优选实施例，所述机械臂部件200为伺服电机。
28.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种机械臂运输固定架，连接于机械臂的底座(100)上，所述底座(100)下方设置有一机械臂部件(200)，其特征在于：所述机械臂固定架包括连接在底座(100)下方两侧的两个支撑板(1)，支撑板(1)高度大于所述机械臂部件(200)的高度，所述的支撑板(1)下方连接有与所述底座(100)平行的底板(2)，底板(2)四角上设置有孔(21)。2.根据权利要求1所述的机械臂运输固定架，其特征在于：所述的两个支撑板(1)偏置于底板(2)一侧，以便连上所述底座(100)后，机械臂的重心落在所述底板(2)的中心。3.根据权利要求1所述的机械臂运输固定架，其特征在于：所述底板(2)两边各开设有一抓取孔(22)。4.根据权利要求1所述的机械臂运输固定架，其特征在于：所述孔(21)用于连接至托盘或包装箱上。5.根据权利要求1所述的机械臂运输固定架，其特征在于：所述孔(21)用于连接支脚或万向轮，所述支脚或万向轮设置于所述底板(2)下方。6.根据权利要求1所述的机械臂运输固定架，其特征在于：所述机械臂部件(200)为伺服电机。

技术总结
本实用新型公开了一种机械臂运输固定架，连接于机械臂的底座上，所述底座下方设置有一机械臂部件，所述机械臂固定架包括连接在底座下方两侧的两个支撑板，支撑板高度大于所述机械臂部件的高度，所述的支撑板下方连接有与所述底座平行的底板，底板四角上设置有孔。本申请的机械臂运输固定架架空了机械臂底部的部件使机械臂能够平稳放置，并且能够承受机械臂在搬运过程的颠簸与冲击，以保护精密的运动部件。件。件。


技术研发人员：吴国明
受保护的技术使用者：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/11/16