一种旋转靶材内部清洁辅助工装的制作方法

1.本实用新型涉及靶材领域，具体涉及一种旋转靶材内部清洁辅助工装。


背景技术：

2.磁控溅射作为制作膜层材料的技术之一，在各领域有着广泛的应用，通常在磁控溅射过程中使用的靶材包括平面靶材和旋转靶材。
3.如cn108193180a公开了一种旋转靶材制备设备，由加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置与加热装置连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置与喷出装置对接，待成型的靶材管材沿其轴向与喷涂装置内的喷涂通道通过，喷涂装置上设置喷涂腔，喷出装置通过喷涂腔通入喷涂通道内，待成型靶材管材穿过喷涂通道的过程中，可通过喷出装置将融化的靶材原料喷涂到靶材管材的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。
4.cn111926296a公开了一种旋转靶材绑定方法，包括以下步骤：将待绑定旋转靶材加热，根据靶材加热后的膨胀量以及材料力学相关理论计算出需要加热的特定温度；将旋转靶材和背衬管分别进行粗化处理；将旋转靶材加热至特定温度使旋转靶材处于膨胀状态，然后在指定时间内把旋转靶材套装在背衬管外侧，使旋转靶材与背衬管之间形成一个缝隙空间；将旋转靶材冷却至室温。实用新型无须采用铟为焊料做绑定，可以节省对应铟的消耗，降低了生产成本，能有效解决现有技术中采用铟为焊料做绑定后导致的铟脱落以及铟污染的技术问题，且能有效解决采用铟为焊料做绑定的靶材在溅射过程中还会把铟作为溅射源带入薄膜造成薄膜性能偏差等技术问题。
5.cn111996503a公开了一种铌旋转靶材的成型方法。其特点是，包括如下步骤：(1)取圆柱体铌锭，要求纯度≥99.9％，直径φ≥190mm；(2)将铌锭锻造打圆，控制加工率20％
‑
30％，打圆后的直径φ≥140mm；(3)车削表面缺陷，车削后的直径φ≥130mm；(4)在得到的铌锭中心预制直径15
‑
45mm导向孔；(5)将得到的铌锭加热至80
‑
120℃，涂附高温防氧化玻璃粉，要求涂附2遍；(6)将得到的铌锭加热至1000℃
‑
1450℃，保温；(7)采用三辊斜轧穿孔设备进行穿孔；(8)对得到的管坯进行校直即可。此方法生产效率高，材料利用率高，内部组织均匀，保证了旋转铌靶更高的使用要求。
6.然而现有旋转靶材在制备过程中靶材内部的空心结构会逐渐积累加工废料，而产生的废料如不处理干净会显著影响靶材后续的加工及使用，即会对靶材的制备和溅射形成膜层的性能造成不利的影响。


技术实现要素：

7.鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型的目的之一在于一种旋转靶材内部清洁辅助工装，可以避免由于吸除废料时吸力较大导致的废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。同时由于采用合理的网格配置可以对加工过程形成的废料进行分类回收，实现废料
的高效回收。
8.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
9.本实用新型提供了一种旋转靶材内部清洁辅助工装，所述旋转靶材内部清洁辅助工装为空心管结构；
10.所述空心管结构内部依次设置有第一网格、第二网格和第三网格；
11.所述空心管结构靠近所述第一网格的一端为杂质吸附口；
12.所述空心管结构靠近所述第三网格的一端与抽气装置相连接；
13.所述第一网格中心点与所述第二网格中心点之间的距离＞所述第二网格中心点与所述第三网格中心点之间的距离；
14.所述第一网格和所述第二网格的夹角为锐角；
15.所述第二网格和所述第三网格平行设置。
16.本实用新型提供的旋转靶材内部清洁辅助工装，通过对网格的间距和夹具的合理设置，可以避免由于吸除废料时吸力较大导致的废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。同时由于采用合理的网格配置可以对加工过程形成的废料进行分类回收，实现废料的高效回收。
17.作为本实用新型优选的技术方案，所述空心挂结构以杂质吸附口为起点呈渐缩型。
18.作为本实用新型优选的技术方案，所述第一网格中心点与第二网格中心点之间的距离为所述空心管结构长度的22
‑
30％，例如可以是22％、22.2％、22.4％、22.6％、22.8％、23％、23.2％、23.4％、23.6％、23.8％、24％、24.2％、24.6％、24.8％、25％、25.2％、25.4％、25.6％、25.8％、26％、26.2％、26.4％、26.6％、26.8％、27％、27.2％、27.4％、27.6％、27.8％、28％、28.2％、28.4％、28.6％、28.8％、29％、29.2％、29.4％、29.6％、29.8％或30％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
19.作为本实用新型优选的技术方案，所述第二网格中心点与第三网格中心点之间的距离为所述空心管结构长度的8
‑
12％，例如可以是8％、8.1％、8.2％、8.3％、8.4％、8.5％、8.6％、8.7％、8.8％、8.9％、9％、9.1％、9.2％、9.3％、9.4％、9.5％、9.6％、9.7％、9.8％、9.9％、10％、10.1％、10.2％、10.3％、10.4％、10.5％、10.6％、10.7％、10.8％、10.9％、11％、11.1％、11.2％、11.3％、11.4％、11.5％、11.6％、11.7％、11.8％、11.9％或12％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
20.作为本实用新型优选的技术方案，所述第一网格和所述第二网格的夹角为45
‑
60
°
，例如可以是45
°
、46
°
、47
°
、48
°
、49
°
、50
°
、51
°
、52
°
、53
°
、54
°
、55
°
、56
°
、57
°
、58
°
、59
°
或60
°
等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
21.作为本实用新型优选的技术方案，所述第一网格的网孔孔径为2
‑
5mm，例如可以是2mm、2.1mm、2.2mm、2.3mm、2.4mm、2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm、3mm、3.1mm、3.2mm、3.3mm、3.4mm、3.5mm、3.6mm、3.7mm、3.8mm、3.9mm、4mm、4.1mm、4.2mm、4.3mm、4.4mm、4.5mm、4.6mm、4.7mm、4.8mm、4.9mm或5mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
22.作为本实用新型优选的技术方案，所述第二网格的网孔孔径为1
‑
3mm，例如可以是1mm、1.1mm、1.2mm、1.3mm、1.4mm、1.5mm、1.6mm、1.7mm、1.8mm、1.9mm、2mm、2.1mm、2.2mm、
2.3mm、2.4mm、2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm或3mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
23.作为本实用新型优选的技术方案，所述第三网格的网孔孔径为0.5
‑
0.8mm，例如可以是0.5mm、0.51mm、0.52mm、0.53mm、0.54mm、0.55mm、0.56mm、0.57mm、0.58mm、0.59mm、0.6mm、0.61mm、0.62mm、0.63mm、0.64mm、0.65mm、0.66mm、0.67mm、0.68mm、0.69mm、0.7mm、0.71mm、0.72mm、0.73mm、0.74mm、0.75mm、0.76mm、0.77mm、0.78mm、0.79mm或0.8mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
24.作为本实用新型优选的技术方案，所述第二网格所在的平面与所述空心管结构的中心线相垂直。
25.与现有技术方案相比，本实用新型至少具有以下有益效果：
26.本实用新型提供的旋转靶材内部清洁辅助工装，通过对网格的间距和夹具的合理设置，可以避免由于吸除废料时吸力较大导致的废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。同时由于采用合理的网格配置可以对加工过程形成的废料进行分类回收，实现废料的高效回收。
附图说明
27.图1是本实用新型实施例1提供的旋转靶材内部清洁辅助工装的示意图；
28.图2是本实用新型实施例2提供的旋转靶材内部清洁辅助工装的示意图；
29.图3是本实用新型实施例4提供的旋转靶材内部清洁辅助工装的示意图。
30.图中：1
‑
第一网格，2
‑
第二网格，3
‑
第三网格。
31.下面对本实用新型进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本实用新型的简易例子，并不代表或限制本实用新型的权利保护范围，本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
具体实施方式
32.为更好地说明本实用新型，便于理解本实用新型的技术方案，本实用新型的典型但非限制性的实施例如下：
33.实施例1
34.本实施例提供一种旋转靶材内部清洁辅助工装，如图1所示，所述旋转靶材内部清洁辅助工装为空心管结构；
35.所述空心管结构内部依次设置有第一网格1、第二网格2和第三网格3；
36.所述空心管结构靠近所述第一网格1的一端为杂质吸附口；
37.所述空心管结构靠近所述第三网格3的一端与抽气装置相连接；
38.所述第一网格1中心点与所述第二网格2中心点之间的距离＞所述第二网格2中心点与所述第三网格3中心点之间的距离；
39.所述第一网格1和所述第二网格2的夹角为锐角；
40.所述第二网格2和所述第三网格3平行设置。
41.所述第一网格1的网孔孔径为5mm。
42.所述第二网格2的网孔孔径为2mm。
43.所述第三网格3的网孔孔径为0.8mm。
44.实施例2
45.本实施例提供一种旋转靶材内部清洁辅助工装，如图2所示，所述旋转靶材内部清洁辅助工装为空心管结构；
46.所述空心管结构内部依次设置有第一网格1、第二网格2和第三网格3；
47.所述空心管结构靠近所述第一网格1的一端为杂质吸附口；
48.所述空心管结构靠近所述第三网格3的一端与抽气装置相连接；
49.所述第一网格1中心点与所述第二网格2中心点之间的距离＞所述第二网格2中心点与所述第三网格3中心点之间的距离；
50.所述第一网格1和所述第二网格2的夹角为锐角；
51.所述第二网格2和所述第三网格3平行设置。
52.所述空心挂结构以杂质吸附口为起点呈渐缩型。
53.所述第一网格1的网孔孔径为2mm。
54.所述第二网格2的网孔孔径为2mm。
55.所述第三网格3的网孔孔径为0.5mm。
56.实施例3
57.本实施例提供一种旋转靶材内部清洁辅助工装，所述旋转靶材内部清洁辅助工装为空心管结构；
58.所述空心管结构内部依次设置有第一网格1、第二网格2和第三网格3；
59.所述空心管结构靠近所述第一网格1的一端为杂质吸附口；
60.所述空心管结构靠近所述第三网格3的一端与抽气装置相连接；
61.所述第一网格1中心点与所述第二网格2中心点之间的距离＞所述第二网格2中心点与所述第三网格3中心点之间的距离；
62.所述第一网格1和所述第二网格2的夹角为锐角；
63.所述第二网格2和所述第三网格3平行设置。
64.所述空心挂结构以杂质吸附口为起点呈渐缩型。
65.所述第一网格1中心点与第二网格2中心点之间的距离为所述空心管结构长度的25％。
66.所述第二网格2中心点与第三网格3中心点之间的距离为所述空心管结构长度的8％。
67.所述第一网格1的网孔孔径为2mm。
68.所述第二网格2的网孔孔径为1mm。
69.所述第三网格3的网孔孔径为0.8mm。
70.实施例4
71.本实施例提供一种旋转靶材内部清洁辅助工装，如图3所示，所述旋转靶材内部清洁辅助工装为空心管结构；
72.所述空心管结构内部依次设置有第一网格1、第二网格2和第三网格3；
73.所述空心管结构靠近所述第一网格1的一端为杂质吸附口；
74.所述空心管结构靠近所述第三网格3的一端与抽气装置相连接；
75.所述第一网格1中心点与所述第二网格2中心点之间的距离＞所述第二网格2中心点与所述第三网格3中心点之间的距离；
76.所述第一网格1和所述第二网格2的夹角为锐角，所述第一网格1和所述第二网格2的夹角为45
‑
60
°
。
77.所述第二网格2和所述第三网格3平行设置。
78.所述第一网格1中心点与第二网格2中心点之间的距离为所述空心管结构长度的27％。
79.所述第二网格2中心点与第三网格3中心点之间的距离为所述空心管结构长度的12％。
80.所述第一网格1的网孔孔径为4mm。
81.所述第二网格2的网孔孔径为1mm。
82.所述第三网格3的网孔孔径为0.5mm。
83.所述第二网格2所在的平面与所述空心管结构的中心线相垂直。
84.将上述旋转靶材内部清洁辅助工装用于旋转靶材内部清洁时，可以实现对内部废料的高效清楚，同时不会对靶材的性能造成影响。这是因为本实用新型提供的旋转靶材内部清洁辅助工装，通过对网格的间距和夹具的合理设置，可以避免由于吸除废料时吸力较大导致的废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。同时由于采用合理的网格配置可以对加工过程形成的废料进行分类回收，实现废料的高效回收。
85.申请人声明，本实用新型通过上述实施例来说明本实用新型的详细结构特征，但本实用新型并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本实用新型必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本实用新型的任何改进，对本实用新型所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。
86.以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。
87.另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
88.此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。