PERC电池及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种perc电池的制备方法，包括制绒、扩散、刻蚀、背面抛光、背面镀膜及正面镀膜，其特征在于，所述背面镀膜或/和所述正面镀膜的工艺均包括通过化学气相沉积的方式进行多层镀膜步骤；其中，所述多层镀膜步骤包括：先以第一镀膜功率为功率值进行第一层镀膜步骤；然后以第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤；进行所述多层镀膜步骤中，当将所述第一镀膜功率切换成所述第二镀膜功率的时候，功率逐渐变化，以使功率切换的持续时间至少为30s。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一镀膜功率与所述第二镀膜功率的差值至少为500w，功率切换的持续时间至少为40s。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述功率逐渐变化的速率为5
‑
20w/s。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述功率逐渐变化的速率为10
‑
15w/s。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的制备方法，其特征在于，所述多层镀膜步骤包括：以所述第一镀膜功率为功率值进行所述第一层镀膜步骤的镀膜时间至少为100s，然后将所述第一镀膜功率逐渐切换成所述第二镀膜功率，以使功率切换的持续时间至少为30s，然后以所述第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤的镀膜时间至少为100s。6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述多层镀膜步骤还包括在所述第二层镀膜步骤之后进行的以第三镀膜功率为功率值进行的第三层镀膜步骤；将所述第二镀膜功率逐渐切换成所述第三镀膜功率时，功率逐渐变化，以使功率切换的持续时间至少为30s；且以第三镀膜功率为功率值进行第三层镀膜步骤的镀膜时间至少为200s。7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述正面镀膜中，所述第一层镀膜步骤形成的第一镀层为5
‑
10nm，第一镀层与第二镀层交界处为2
‑
5nm，所述第二层镀膜步骤形成的第二镀层为10
‑
20nm，第二镀层与第三镀层交界处为2
‑
5nm，所述第三层镀膜步骤形成的第三镀层为30
‑
40nm，所述正面镀膜的镀层总厚度为60
‑
80nm。8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述背面镀膜中，所述第一层镀膜步骤形成的第一镀层为5
‑
30nm，第一镀层与第二镀层交界处为5
‑
10nm，所述第二层镀膜步骤形成的第二镀层为15
‑
40nm，第二镀层与第三镀层交界处为5
‑
10nm，所述第三层镀膜步骤形成的第三镀层为60
‑
100nm，所述背面镀膜的镀层总厚度为90
‑
200nm。9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述正面镀膜的镀层为氮化硅层；或/和，所述背面镀膜的镀层依次为二氧化硅层、氮氧化硅层和氮化硅层。10.一种perc电池，其特征在于，由权利要求1
‑
9任一项所述的制备方法制备得到。

技术总结
本申请提供了一种PERC电池及其制备方法，涉及太阳能电池的制备技术领域。该制备方法的背面镀膜或/和正面镀膜的工艺均包括通过化学气相沉积的方式进行多层镀膜步骤。其中，多层镀膜步骤包括：先以第一镀膜功率为功率值进行第一层镀膜步骤，然后以第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤。进行多层镀膜步骤中，当将第一镀膜功率切换成第二镀膜功率的时候，功率逐渐变化，以使功率切换的持续时间至少为30s。在切换镀膜功率的时候，功率逐渐变化，使各层镀层之间的界面处更加均匀，提升了电池片的转化效率；且制备不同的膜层时，使设备的电压电流逐渐变化，改善射频不稳定产生报警现象。象。象。


技术研发人员：戴睿哲 郑清吉 王玉浩 高柳 眭山 芮亚豪
受保护的技术使用者：通威太阳能(成都)有限公司
技术研发日：2021.07.29
技术公布日：2021/11/2