一种晶圆加工用切面抛光装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆加工用切面抛光装置。


背景技术：

2.随着我国半导体事业大发展，晶圆被广泛应用于高科技技术领域中，像我们日常生活中常见的电子产品手机、电脑均都被用到晶圆这种产品。
3.现有技术存在以下不足：现有的晶圆加工用切面抛光装置使用中发现，现有的打磨技术单一，不能更好地使表面进行打磨光滑，并且需要对晶圆的切面进行多次不同程度的抛光，导致工作效率较低，同时手动抛光机在使用过程用存在一定的安全隐患。
4.因此，发明一种晶圆加工用切面抛光装置很有必要。


技术实现要素：

5.为此，本实用新型提供一种晶圆加工用切面抛光装置，通过抛光机构，从而对晶圆厚度有效进行打磨，可以更好地使表面进行打磨光滑，有效的节省了时间，从而节省了成本，操作简单，安全可靠，抛光度高，生产效率高。以解决抛光效率低，表面打磨不够光滑，打磨技术单一的问题。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆加工用切面抛光装置，包括箱体，所述箱体顶端固定连接有电机，所述箱体内部设有抛光机构；
7.所述抛光机构包括转动轴，所述转动轴固定连接在电机输出轴底端，所述转动轴底端延伸至箱体内部，所述转动轴外侧套设有套筒，所述套筒与转动轴通过单向轴承连接，所述套筒外部固定设有第一皮带轮，所述箱体内腔顶部设有伸缩杆，所述伸缩杆与箱体通过轴承活动连接，所述伸缩杆外侧固定套设有第二皮带轮，所述第二皮带轮与第一皮带轮外侧均套设有皮带条，所述第二皮带轮与第一皮带轮通过皮带条驱动连接，所述伸缩杆底部固定连接有打磨片，所述转动轴底部设有第一往复丝杆，所述第一往复丝杆与转动轴通过单向轴承连接，所述第一往复丝杆外部套设有第一轴承座，所述第一轴承座一侧固定连接有连接板，所述连接板一侧与伸缩杆通过轴承连接，所述第一往复丝杆底部固定连接有第二往复丝杆，所述第一轴承座与第一往复丝杆通过滚动螺母副链接，所述第二往复丝杆底端延伸至箱体内腔底部并与箱体通过轴承连接，所述箱体内腔底部设有方形伸缩杆，所述方形伸缩杆与箱体通过轴承连接，所述第二往复丝杆外部固定套设有第二轴承座，所述第二轴承座一侧固定连接有竖杆，所述箱体一侧固定连接有方形伸缩杆，所述方形伸缩杆顶端固定连接有真空吸盘，所述真空吸盘顶部固定设有晶圆。
8.优选的，所述箱体内部固定开设有多个散热孔。
9.优选的，所述箱体前侧嵌设有推拉门，所述推拉门与箱体通过合页活动连接。
10.优选的，所述箱体两侧均固定嵌设有玻璃窗。
11.优选的，所述电机外侧套设有保护罩，所述保护罩固定连接在箱体顶部，所述保护罩两侧均开设有多个透气孔。
12.优选的，所述电机外侧套设有保护罩，所述保护罩固定连接在箱体顶部，所述保护罩两侧均固定嵌设有散热网。
13.本实用新型的有益效果是：
14.本实用新型通过抛光机构的设计，当电机正转时带动转动轴转动，转动轴转动带动套筒和皮带装置转动，皮带装置带动伸缩杆和打磨片移动，且转动轴与第一往复丝杆不转动，当电机反转时转动轴带动第一往复丝杆和第二往复丝杆转动，第一往复丝杆带动第一轴承座和连接板移动，此时连接板带动伸缩杆上下移动第二往复丝杆带动第二轴承座、竖杆和往方形复丝杆移动，方形伸缩杆带动真空吸盘移动，真空吸盘顶部吸附有晶圆，从而对晶圆厚度有效进行打磨，可以更好地使表面进行打磨光滑，有效的节省了时间，生产效率高。
附图说明
15.图1为本实用新型提供的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型提供的图一中a部结构放大图；
17.图3为本实用新型提供的箱体主视图；
18.图4为本实用新型提供的实例2的结构示意图；
19.图中：1箱体、2电机、3转动轴、4套筒、5第一皮带轮、6伸缩杆、7第二皮带轮、8皮带条、9打磨片、10第一往复丝杆、11第一轴承座、12连接板、 13第二往复丝杆、14方形伸缩杆、15第二轴承座、16竖杆、17真空吸盘、18 晶圆、19推拉门、20玻璃窗、21散热孔、22保护罩、23散热网。
具体实施方式
20.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
21.实施例1
22.参照附图1
‑
3，本实用新型提供的一种晶圆加工用切面抛光装置，包括箱体 1，所述箱体1顶端固定连接有电机2，所述箱体1内部设有抛光机构；
23.所述抛光机构包括转动轴3，所述转动轴3固定连接在电机2输出轴底端，所述转动轴3底端延伸至箱体1内部，所述转动轴3外侧套设有套筒4，所述套筒4与转动轴3通过单向轴承连接，所述套筒4外部固定设有第一皮带轮5，所述箱体1内腔顶部设有伸缩杆6，所述伸缩杆6与箱体1通过轴承活动连接，所述伸缩杆6外侧固定套设有第二皮带轮7，所述第二皮带轮7与第一皮带轮5外侧均套设有皮带条8，所述第二皮带轮7与第一皮带轮5通过皮带条8连接，所述伸缩杆6底部固定连接有打磨片9，所述转动轴3底部设有第一往复丝杆10，所述第一往复丝杆10与转动轴3通过单向轴承连接，所述第一往复丝杆10外部套设有第一轴承座11，所述第一轴承座11一侧固定连接有连接板12，所述连接板12一侧与伸缩杆6通过轴承连接，所述第一往复丝杆10底部固定连接有第二往复丝杆13，所述第一轴承座11与第一往复丝杆10通过滚动螺母副链接，所述第二往复丝杆13底端延伸至箱体1内腔底部并与箱体1通过轴承连接，所述箱体1内腔底部设有方形伸缩杆14，所述方形伸缩杆14与箱体1通过轴承连接，所述第二往复丝杆13外部固定套设有第二轴承座15，所述第二轴承座 15一侧固定
连接有竖杆16，所述箱体1一侧固定连接有方形伸缩杆14，所述方形伸缩杆14顶端固定连接有真空吸盘17，真空吸盘17又称真空吊具，是真空设备执行器之一，一般来说，利用真空吸盘抓取制品是最廉价的一种方法。真空吸盘品种多样，橡胶制成的吸盘可在高温下进行操作，由硅橡胶制成的吸盘非常适于抓住表面粗糙的制品，由聚氨酯制成的吸盘则很耐用，所述真空吸盘 17顶部固定嵌设有晶圆18。
24.进一步地，所述箱体1内部固定开设有多个散热孔21，散热孔21有益箱体内部散热；
25.进一步地，所述箱体1前侧嵌设有推拉门19，所述推拉门19与箱体1通过合页活动连接；
26.进一步地，所述箱体1两侧均固定嵌设有玻璃窗20，玻璃窗20有益于观察内部打磨晶圆18的过程；
27.进一步地，所述电机2外侧套设有保护罩22，所述保护罩22固定连接在箱体1顶部，所述保护罩22两侧均开设有多个透气孔，保护罩22有益于更好地保护电机2，且透气孔有益于散热。
28.本实用新型的使用过程如下：在使用本实用新型时，当电机2正转时，电机2带动转动轴3转动，转动轴3带动套筒4转动，套筒4与转动轴3通过单向轴承连接，套筒4带动第一皮带轮5转动，第一皮带轮5带动皮带条8转动，皮带条8带动第二皮带轮7转动，第二皮带轮7带动伸缩杆6转动，从而伸缩杆6带动打磨片9移动，从而转动轴3与第一往复丝杆10不转动，当电机2反转时，转动轴3与第一往复丝杆10通过单向轴承连接，转动轴3带动第一往复丝杆10转动，第一往复丝杆10带动第一轴承座11移动，第一轴承座11带动连接板12移动，连接板12带动伸缩杆6移动，从而伸缩杆6带动打磨片9移动，第一往复丝杆10带动第二往复丝杆13转动，第二往复丝杆13带动第二轴承座15移动，第二轴承座15带动竖杆16移动，竖杆16带动方形伸缩杆14移动，方形伸缩杆14带动真空吸盘17上下移动，真空吸盘17顶部吸附有晶圆18。
29.实施例2
30.参照附图4，本实用新型提供的一种晶圆加工用切面抛光装置，与实施例1 不同的是，所述电机2外侧套设有保护罩22，所述保护罩22固定连接在箱体1 顶部，所述保护罩22两侧均固定嵌设有散热网23。
31.本实用新型的使用过程如下：保护罩22可以对电机2进行物理保护，防止外界碰撞或冲击对电机2造成损伤，同时散热网23可以保证保护罩22在对电机2进行保护的同时，保证保护罩22内部空气正常流动，从而保证电机2工作时正常散热，并且散热网23还可有效阻隔外界空气中的灰尘，防止粉尘进入保护罩22内部，进而进入电机2内部，从而进一步提升了对电机2的保护力，增加了电机2的使用寿命。
32.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本实用新型要求保护的范围。