激光修复方法、激光修复装置与流程

技术特征：
1.一种激光修复方法，其对形成于基板上的多层膜结构的缺陷部照射激光束来进行修正加工，该激光修复方法的特征在于，获取包括所述缺陷部的区域的图像，以包括所述缺陷部的方式在所述图像上设定所述激光束的扫描范围，在进行所述扫描范围内的所述激光束的扫描时，在所述图像的颜色信息被识别为缺陷部的扫描位置，将所述激光束的输出控制为开启或较高。2.根据权利要求1所述的激光修复方法，其特征在于，关于所述激光束的扫描，在所述扫描范围内进行多次扫描。3.根据权利要求1或2所述的激光修复方法，其特征在于，对包括所述缺陷部的区域照射白光，并对从所述区域反射的反射光进行分光而获取分光图像，通过所获取的所述分光图像识别所述缺陷部的颜色信息。4.根据权利要求3所述的激光修复方法，其特征在于，通过所述分光图像识别所述缺陷部的基底层的颜色信息，在进行所述扫描范围内的所述激光束的扫描时，在所述图像的颜色信息被识别为所述基底层的扫描位置，将所述激光束的输出控制为关闭或较低。5.一种激光修复装置，其对形成于基板上的多层膜结构的缺陷部照射激光束来进行修正加工，所述激光修复装置的特征在于，具备：扫描部，对包括所述缺陷部的扫描范围扫描激光束；摄像机部，获取包括所述缺陷部的区域的图像；及控制部，根据由所述摄像机部所获取的图像，控制所述扫描部及所述激光的输出，所述控制部在进行所述激光束的扫描时，在所述图像的颜色信息被识别为缺陷部的扫描位置，将所述激光束的输出控制为开启或较高。6.根据权利要求5所述的激光修复装置，其特征在于，具备：分光图像获取部，对包括所述缺陷部的区域照射白光，并获取对从所述区域反射的反射光进行分光而得到的分光图像，所述控制部通过所述分光图像识别所述缺陷部的颜色信息。7.根据权利要求6所述的激光修复装置，其特征在于，所述控制部通过所述分光图像识别所述缺陷部的基底层的颜色信息，在进行所述扫描范围内的所述激光束的扫描时，在所述图像的颜色信息被识别为所述基底层的扫描位置，将所述激光束的输出控制为关闭或较低。

技术总结
本发明的激光修复方法能够不受基底层的材质或层的膜厚的偏差的影响而对加工对象的层适当地进行修正加工。所述激光修复方法，对形成于基板上的多层膜结构的缺陷部照射激光束来进行修正加工，在所述激光修复方法中，获取包括缺陷部的区域的图像，以包括缺陷部的方式在图像上设定激光束的扫描范围，在进行扫描范围内的激光束的扫描时，在图像的颜色信息被识别为缺陷部的扫描位置，将激光束的输出控制为开启或较高。为开启或较高。为开启或较高。


技术研发人员：水村通伸
受保护的技术使用者：株式会社V技术
技术研发日：2020.02.07
技术公布日：2021/10/19