技术特征:
1.一种半导体装置,包括:一底介电部件,在一基底上;多个通道构件,在该底介电部件正上方;一栅极结构,包覆环绕所述通道构件;两个第一外延部件,沿着一第一方向将该底介电部件夹在中间;以及两个第二外延部件,沿着该第一方向将所述通道构件夹在中间。
技术总结
根据本发明实施例的半导体装置,包含基底上的底介电部件,在底介电部件正上方的多个通道构件,包覆环绕每个通道构件的栅极结构,沿着第一方向将底介电部件夹在中间的两个第一外延部件,以及沿着第一方向将多个通道构件夹在中间的两个第二外延部件。在中间的两个第二外延部件。在中间的两个第二外延部件。
技术研发人员:张荣宏 张罗衡 林志昌 陈仕承 江国诚 王志豪
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2021.05.26
技术公布日:2021/10/18
再多了解一些
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