一种零部件误差矫正用高精度研磨结构的制作方法

本技术涉及机械加工，具体是一种零部件误差矫正用高精度研磨结构。

背景技术：

1、在精密机械、光学电子、半导体等领域，片状零部件(如硅wafer、陶瓷基板、精密垫片、阀片等)的平面度、平行度及厚度公差要求极为苛刻，这些零部件的微观误差会直接影响整个设备或系统的性能、效率与寿命，因此，在高精度加工工艺中，通常需要通过研磨工序来矫正其形状与尺寸误差，目前，对于此类片状工件的平面研磨，普遍采用单面研磨机。其典型工作方式是将工件通过行星轮或固定夹具承载在研磨盘上，研磨盘转动并带动工件运动，通过上压盘或单个压头施加压力，使工件表面与磨料发生相对运动，从而达到研磨效果。

2、在传统行星轮式结构中，工件虽然公转也自转，但其运动轨迹相对固定，容易导致工件表面与研磨盘的接触区域形成重复性、周期性的磨削路径。这使得工件表面材料去除率不均，难以达到极高的面型精度，且易在工件边缘产生塌边或卷边现象。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种零部件误差矫正用高精度研磨结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种零部件误差矫正用高精度研磨结构，包括：

4、研磨结构，包括研磨盘，所述研磨盘内部旋转安装有转盘，所述转盘上表面固定安装有磨料；

5、限位结构，包括限位盒，所述限位盒呈环形等角度排布悬空旋转安装于研磨盘内部边缘，所述限位盒底部穿插开设有限位卡槽；

6、施压结构，包括旋盖，所述旋盖卡装于研磨盘上开口，所述旋盖底部旋转安装有压片。

7、进一步在于：所述研磨盘内壁开设有插片卡槽。

8、进一步在于：所述转盘底部固定连接有内齿环，所述研磨盘底部旋转安装有与内齿环相互啮合的传动齿轮，所述研磨盘中部旋转安装传动台，所述传动台下端侧表面固定套接有与传动齿轮相互啮合的一号外齿环，所述传动台上端侧表面固定套接有二号外齿环。

9、进一步在于：所述研磨盘底部固定安装有连接桥，所述内齿环旋转安装于连接桥内部，所述连接桥底部固定安装有底盒，所述底盒内底固定安装有驱动电机，所述驱动电机输出端与传动台固定连接。

10、进一步在于：所述限位盒侧表面下边缘固定套接有与二号外齿环相互啮合的三号外齿环。

11、进一步在于：所述限位盒旋转安装于盘架一端，所述盘架一侧固定安装有安装插片，所述安装插片卡插于插片卡槽内。

12、进一步在于：所述旋盖内顶边缘呈环形等角度排布固定安装有若干组与插片卡槽相互卡接的压条，所述旋盖内顶边缘呈环形等角度排布固定按住那个有若干个安装座，所述安装座底部固定安装有弹簧伸缩杆，所述弹簧伸缩杆下端输出端固定安装有压力传感器，所述压力传感器下端固定安装有旋座，所述旋座底部通过轴承旋转安装有压片。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

14、1、压片卡入限位盒内部，并施加压力，使得待打磨工件紧贴磨料，旋转研磨盘带动磨料对工件底部进行研磨，同时限位盒同步自转，进一步强化研磨效率，同时不断改变工件底部与磨料底部相互接触位置，提高研磨均匀度，避免局部集中磨损，确保工件表面研磨均匀，减少斑点或条纹等缺陷，同时每个工件都经历相同的研磨路径，进一步保证批量加工的一致性。

15、2、通过安装插片插入插片卡槽内，对各个限位盒进行悬空安装，整体结构方便拆换，可以根据加工的工件形状，更换不同形状限位卡槽的限位盒，提高生产范围。

1.一种零部件误差矫正用高精度研磨结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的零部件误差矫正用高精度研磨结构，其特征在于，所述研磨盘(101)内壁开设有插片卡槽(103)。

3.根据权利要求2所述的零部件误差矫正用高精度研磨结构，其特征在于，所述转盘(104)底部固定连接有内齿环(106)，所述研磨盘(101)底部旋转安装有与内齿环(106)相互啮合的传动齿轮(107)，所述研磨盘(101)中部旋转安装传动台(109)，所述传动台(109)下端侧表面固定套接有与传动齿轮(107)相互啮合的一号外齿环(108)，所述传动台(109)上端侧表面固定套接有二号外齿环(110)。

4.根据权利要求3所述的零部件误差矫正用高精度研磨结构，其特征在于，所述研磨盘(101)底部固定安装有连接桥(111)，所述内齿环(106)旋转安装于连接桥(111)内部，所述连接桥(111)底部固定安装有底盒(112)，所述底盒(112)内底固定安装有驱动电机(113)，所述驱动电机(113)输出端与传动台(109)固定连接。

5.根据权利要求4所述的零部件误差矫正用高精度研磨结构，其特征在于，所述限位盒(203)侧表面下边缘固定套接有与二号外齿环(110)相互啮合的三号外齿环(205)。

6.根据权利要求5所述的零部件误差矫正用高精度研磨结构，其特征在于，所述限位盒(203)旋转安装于盘架(202)一端，所述盘架(202)一侧固定安装有安装插片(201)，所述安装插片(201)卡插于插片卡槽(103)内。

7.根据权利要求6所述的零部件误差矫正用高精度研磨结构，其特征在于，所述旋盖(301)内顶边缘呈环形等角度排布固定安装有若干组与插片卡槽(103)相互卡接的压条(302)，所述旋盖(301)内顶边缘呈环形等角度排布固定按住那个有若干个安装座(303)，所述安装座(303)底部固定安装有弹簧伸缩杆(304)，所述弹簧伸缩杆(304)下端输出端固定安装有压力传感器(305)，所述压力传感器(305)下端固定安装有旋座(306)，所述旋座(306)底部通过轴承旋转安装有压片(307)。