一种气相沉积炉用均匀进气的装置的制作方法

1.本实用新型涉及气相沉积炉进气技术领域，尤其涉及一种气相沉积炉用均匀进气的装置。


背景技术：

2.化学气相沉积炉在对复合材料进行增密的过程中，需要引入碳源气体、硅烷气体等相关的反应气体，在1000℃以上的高温下裂解生成碳、碳化硅等物质吸附在具有空隙的预制体内部，最终使纤维编织体致密化形成碳纤维增强复合材料。
3.现有技术下，会通过气体传输泵直接将气体充入气相沉积炉内进行反应，但直接充入的方式会导致进气不均匀，会产生较长的气体混合和反应时间，降低反应效率，甚至会影响到沉积炉内部压力，造成压力难以控制，提高操作难度。


技术实现要素：

4.本实用新型公开一种气相沉积炉用均匀进气的装置，旨在解决接充入的方式会导致进气不均匀，会产生较长的气体混合和反应时间，降低反应效率，甚至会影响到沉积炉内部压力，造成压力难以控制，提高操作难度的技术问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种气相沉积炉用均匀进气的装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的顶端内壁固定连接有连接管，且连接管的外壁固定卡接有法兰，所述连接管的内壁设置有止回阀，且连接管的底端内壁焊接有锥体外盖，所述锥体外盖的底端内壁焊接有连接环，且连接环的底端内壁焊接有锥体混合腔，所述锥体混合腔的底端内壁焊接有底壳，且底壳的内壁等密度设置有多个出气口，多个所述出气口的一侧内壁设置有合页，且出气口的内壁通过合页连接有挡片，所述挡片的一侧外壁固定连接有连接块，且连接块的顶端外壁固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端同时连接有支架，且支架固定在底壳的内壁。
7.通过设置有挡片、弹簧和止回阀，其中，弹簧和挡片皆为耐高温金属制成，当气相沉积炉开始进气时，用于输送气体的管道通过法兰与连接管相连，气体分别通过锥体外盖、锥体混合腔，到达底壳内部，通过止回阀的设置，能有效避免气体回流，保持装置内气体的稳定输送，当装置内的气体充满后，继续充气的挤压力会使弹簧产生形变，从而在合页的作用下，打开挡片，漏出出气口，同时使出气口的开放大小能随时适应进气量，使气体排入到气相沉积炉中，在保证气体充满装置后再进行气相沉积炉进气的结构下，保证了气体的均匀、持续、稳定排放，进一步稳定气相沉积反应。
8.在一个优选的方案中，所述底壳的内壁设置有多个凹槽，且凹槽与出气口相连，所述合页设置在凹槽的内部，且合页的一侧外壁连接凹槽的一侧内壁，所述底壳的底端内壁固定连接有底座，所述底座的顶端外壁固定连接有多个谐振器，且多个谐振器包括有两个谐振片，所述锥体混合腔的底端内壁设置有多个透气孔，且多个透气孔的设置位置位于多个谐振器的正上方。
9.通过设置有锥体混合腔、透气孔和谐振器，当气体穿过锥体混合腔时，基于锥体混合腔内壁呈倒锥状态，从而使气体能聚积到多个透气孔位置，并通过多个透气孔进入底壳内，通过透气孔挤压后的气体在进入底壳时，产生的气流接触到谐振器时，谐振片会产生振动，从而起到混合气体的作用，使气体二次混合，提高反应效率。
10.在一个优选的方案中，所述气相沉积炉的一侧外壁固定连接有底架，所述底架的顶端外壁通过螺母连接有气体传输泵，且气体传输泵包括输出端和输入端，所述气体传输泵的输出端固定连接有出气管，且气体传输泵的输入端固定连接有输气管，所述锥体外盖的一侧内壁设置有连接口，且出气管与连接口相连，所述输气管的一端固定于气相沉积炉的内部。
11.通过设置有气体传输泵，由于气体进入到气相沉积炉内需要一定的升温时间使自身到达所需温度，通过气体传输泵将气相沉积炉内部的热气抽到锥体外盖内，并使出气管的一端位于连接管的下方，从而当气体通过连接管进入到装置时，抽出的热气可快速冲散气体，并与其混合，从而快速加热刚进入的气体，缩短加热时间，提高反应效率。
12.由上可知，一种气相沉积炉用均匀进气的装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的顶端内壁固定连接有连接管，且连接管的外壁固定卡接有法兰，所述连接管的内壁设置有止回阀，且连接管的底端内壁焊接有锥体外盖，所述锥体外盖的底端内壁焊接有连接环，且连接环的底端内壁焊接有锥体混合腔，所述锥体混合腔的底端内壁焊接有底壳，且底壳的内壁等密度设置有多个出气口，多个所述出气口的一侧内壁设置有合页，且出气口的内壁通过合页连接有挡片，所述挡片的一侧外壁固定连接有连接块，且连接块的顶端外壁固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端同时连接有支架，且支架固定在底壳的内壁。本实用新型提供的气相沉积炉用均匀进气的装置具有保证了气体的均匀、持续、稳定排放，进一步稳定气相沉积反应的技术效果。
附图说明
13.图1为本实用新型提出的一种气相沉积炉用均匀进气的装置的安装后整体结构示意图。
14.图2为本实用新型提出的一种气相沉积炉用均匀进气的装置的整体结构示意图。
15.图3为本实用新型提出的一种气相沉积炉用均匀进气的装置的主体拆分结构式示意图。
16.图4为本实用新型提出的一种气相沉积炉用均匀进气的装置的锥体混合腔截面示意图。
17.图5为本实用新型提出的一种气相沉积炉用均匀进气的装置的出气口结构示意图。
18.附图中：1、气相沉积炉；2、输气管；3、底架；4、气体传输泵；5、出气管；6、连接管；7、法兰；8、止回阀；9、锥体外盖；10、连接环；11、锥体混合腔；12、底壳；13、底座；14、谐振器；15、透气孔；16、连接口； 17、凹槽；18、合页；19、挡片；20、出气口；21、连接块；22、弹簧；23、支架。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.本实用新型公开的一种气相沉积炉用均匀进气的装置主要应用于气相沉积反应的场景。
21.参照图1、图2、图3和图5，一种气相沉积炉用均匀进气的装置，包括气相沉积炉1，气相沉积炉1的顶端内壁固定连接有连接管6，且连接管6的外壁固定卡接有法兰7，连接管6的内壁设置有止回阀8，且连接管6的底端内壁焊接有锥体外盖9，锥体外盖9的底端内壁焊接有连接环10，且连接环 10的底端内壁焊接有锥体混合腔11，锥体混合腔11的底端内壁焊接有底壳 12，且底壳12的内壁等密度设置有多个出气口20，多个出气口20的一侧内壁设置有合页18，且出气口20的内壁通过合页18连接有挡片19，挡片19 的一侧外壁固定连接有连接块21，且连接块21的顶端外壁固定连接有弹簧 22，弹簧22的另一端同时连接有支架23，且支架23固定在底壳12的内壁。
22.参照图5，在一个优选的实施方式中，底壳12的内壁设置有多个凹槽17，且凹槽17与出气口20相连，合页18设置在凹槽17的内部，且合页18的一侧外壁连接凹槽17的一侧内壁。
23.参照图3，在一个优选的实施方式中，底壳12的底端内壁固定连接有底座13，底座13的顶端外壁固定连接有多个谐振器14，且多个谐振器14包括有两个谐振片。
24.参照图3和图4，在一个优选的实施方式中，锥体混合腔11的底端内壁设置有多个透气孔15，且多个透气孔15的设置位置位于多个谐振器14的正上方。
25.参照图2，在一个优选的实施方式中，气相沉积炉1的一侧外壁固定连接有底架3，底架3的顶端外壁通过螺母连接有气体传输泵4，且气体传输泵4 包括输出端和输入端。
26.参照图2，在一个优选的实施方式中，气体传输泵4的输出端固定连接有出气管5，且气体传输泵4的输入端固定连接有输气管2。
27.参照图2和图3，在一个优选的实施方式中，锥体外盖9的一侧内壁设置有连接口16，且出气管5与连接口16相连，输气管2的一端固定于气相沉积炉1的内部，通过设置有气体传输泵4，由于气体进入到气相沉积炉1内需要一定的升温时间使自身到达所需温度，通过气体传输泵4将气相沉积炉1内部的热气抽到锥体外盖9内，并使出气管5的一端位于连接管6的下方，从而当气体通过连接管6进入到装置时，抽出的热气可快速冲散气体，并与其混合，从而快速加热刚进入的气体，缩短加热时间，提高反应效率。
28.工作原理：当气相沉积炉1开始进气时，用于输送气体的管道通过法兰7 与连接管6相连，气体分别通过锥体外盖9、锥体混合腔11，到达底壳12内部，通过止回阀8的设置，能有效避免气体回流，保持装置内气体的稳定输送，当装置内的气体充满后，继续充气的挤压力会使弹簧22产生形变，从而在合页18的作用下，打开挡片19，漏出出气口20，同时使出气口20的开放大小能随时适应进气量，使气体排入到气相沉积炉1中，在保证气体充满装置后再进行气相沉积炉1进气的结构下，保证了气体的均匀、持续、稳定排放，进一步稳定气相沉积反应，其中，当气体穿过锥体混合腔11时，基于锥体混合腔11内壁呈倒锥状态，从而使气体能聚积到多个透气孔15位置，并通过多个透气孔15进入底壳12内，通过透气孔15挤压后
的气体在进入底壳 12时，产生的气流接触到谐振器14时，谐振片会产生振动，从而起到混合气体的作用，使气体二次混合，提高反应效率。
29.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。所述替代可以是部分结构、器件、方法步骤的替代，也可以是完整的技术方案。根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。