一种气相沉积炉用均匀进气的装置的制作方法

技术特征：
1.一种气相沉积炉用均匀进气的装置，包括气相沉积炉(1)，其特征在于，所述气相沉积炉(1)的顶端内壁固定连接有连接管(6)，且连接管(6)的外壁固定卡接有法兰(7)，所述连接管(6)的内壁设置有止回阀(8)，且连接管(6)的底端内壁焊接有锥体外盖(9)，所述锥体外盖(9)的底端内壁焊接有连接环(10)，且连接环(10)的底端内壁焊接有锥体混合腔(11)，所述锥体混合腔(11)的底端内壁焊接有底壳(12)，且底壳(12)的内壁等密度设置有多个出气口(20)，多个所述出气口(20)的一侧内壁设置有合页(18)，且出气口(20)的内壁通过合页(18)连接有挡片(19)，所述挡片(19)的一侧外壁固定连接有连接块(21)，且连接块(21)的顶端外壁固定连接有弹簧(22)，所述弹簧(22)的另一端同时连接有支架(23)，且支架(23)固定在底壳(12)的内壁。2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于，所述底壳(12)的内壁设置有多个凹槽(17)，且凹槽(17)与出气口(20)相连，所述合页(18)设置在凹槽(17)的内部，且合页(18)的一侧外壁连接凹槽(17)的一侧内壁。3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于，所述底壳(12)的底端内壁固定连接有底座(13)，所述底座(13)的顶端外壁固定连接有多个谐振器(14)，且多个谐振器(14)包括有两个谐振片。4.根据权利要求3所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于，所述锥体混合腔(11)的底端内壁设置有多个透气孔(15)，且多个透气孔(15)的设置位置位于多个谐振器(14)的正上方。5.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于，所述气相沉积炉(1)的一侧外壁固定连接有底架(3)，所述底架(3)的顶端外壁通过螺母连接有气体传输泵(4)，且气体传输泵(4)包括输出端和输入端。6.根据权利要求5所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于，所述气体传输泵(4)的输出端固定连接有出气管(5)，且气体传输泵(4)的输入端固定连接有输气管(2)。7.根据权利要求6所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于，所述锥体外盖(9)的一侧内壁设置有连接口(16)，且出气管(5)与连接口(16)相连，所述输气管(2)的一端固定于气相沉积炉(1)的内部。

技术总结
本实用新型公开了一种气相沉积炉用均匀进气的装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的顶端内壁固定连接有连接管，且连接管的外壁固定卡接有法兰，所述连接管的内壁设置有止回阀，且连接管的底端内壁焊接有锥体外盖，所述锥体外盖的底端内壁焊接有连接环，且连接环的底端内壁焊接有锥体混合腔，所述锥体混合腔的底端内壁焊接有底壳，且底壳的内壁等密度设置有多个出气口，多个所述出气口的一侧内壁设置有合页，且出气口的内壁通过合页连接有挡片，所述挡片的一侧外壁固定连接有连接块，且连接块的顶端外壁固定连接有弹簧，本实用新型公开的气相沉积炉用均匀进气的装置保证了气体的均匀、持续、稳定排放，进一步稳定气相沉积反应的效果。的效果。的效果。


技术研发人员：奚衍罡
受保护的技术使用者：苏州冠岚新材料有限公司
技术研发日：2022.09.27
技术公布日：2023/2/9