1.本实用新型属于半导体喷砂机领域，尤其是涉及一种防止砂浆外溅的机构。
背景技术：
2.在半导体制片行业中，硅片在制作过程中需要进行喷砂工艺，此工艺过程一般是由喷砂机进行喷砂，硅片被送至喷砂机的入口端，由于硅片数量较多，需要源源不断送至喷砂机内，因此喷砂机的入口需要长期打开，以便硅片进入，然而，在喷砂过程中，砂浆难免会从入口端向外界飞溅，容易造成外界设备被砂浆污染，严重的可造成其他设备卡顿甚至损坏，因此，为了避免砂浆外溅，并为了不造成砂浆的浪费，需要设计一种防止砂浆外溅的机构，有效的保护设备的同时，还能提高砂浆的利用率。
技术实现要素：
3.本实用新型要解决的问题是提供一种防止砂浆外溅的机构，尤其适合硅片喷砂过程中防止砂浆外溅。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
5.一种防止砂浆外溅的机构，包括：
6.防护箱体，所述防护箱体设于喷砂机的入口端，用于防止砂浆外溅；
7.负压气路，所述负压气路的一端设于所述防护箱体上，另一端延伸至所述喷砂机，用于将所述防护箱体内的砂浆倒吸回所述喷砂机。
8.进一步的，所述防护箱体为立方体结构。
9.进一步的，所述防护箱体包括箱体托，所述箱体托用于承接喷出的砂浆。
10.进一步的，所述防护箱体还包括防护罩，所述防护罩盖设于所述箱体托上端，用于防止砂浆外溅。
11.进一步的，所述防护罩与所述喷砂机入口端相连的一面开设输送孔，所述输送孔用于输送硅片进入所述喷砂机。
12.进一步的，所述防护罩上设有把手，所述把手用于提起所述防护罩。
13.进一步的，所述负压气路包括真空吸口，所述真空吸口设于所述防护箱体内部的顶端，用于吸收所述防护箱体内的砂浆。
14.进一步的，所述负压气路还包括排风管路，所述排风管路的一端连接所述喷砂机，另一端延伸至所述防护箱体内与所述真空吸口连接，用于将所述真空吸口吸收的砂浆输送回所述喷砂机。
15.进一步的，所述防护箱体内设有传送带，所述传送带用于将硅片输送至所述喷砂机内。
16.本实用新型具有的优点和积极效果是：
17.(1)解决了硅片喷砂工艺过程中砂浆外溅的问题，保护了外界设备部被砂浆侵蚀损坏，间接保护了环境；
18.(2)防护罩为可视状态，随时观测罩内砂浆量，并可以随时清理罩内砂浆，可有效的防止砂浆在防护罩内堆积，避免砂浆口堵死。
19.(3)可回收飞溅到罩内的砂浆，提高砂浆的重复利用率。
附图说明
20.图1是本实用新型一实施方案的一种防止砂浆外溅的机构示意图。
21.图中：
22.1、箱体托
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2、防护罩
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3、输送孔
23.4、把手
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5、真空吸口
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6、排风管路
24.7、传送带
具体实施方式
25.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
26.如图1所示，出示了本实用新型实施例的结构，本实用新型实施例涉及一种防止砂浆外溅的机构，该机构可有效的防止硅片喷砂工艺中，喷砂机砂浆的外溅，该机构在结构上包括：防护箱体和负压气路，防护箱体设于喷砂机的入口端，用于防止砂浆外溅；负压气路的一端设于防护箱体上，并将管路伸入到防护箱体内，另一端延伸至喷砂机，用于将防护箱体内的砂浆倒吸回喷砂机，在本实用新型的实施例中，防护箱体安装于喷砂机的进口端，即硅片进入喷砂机的入口，目的是为了防止砂浆从入口端喷出，并且，在优选的方案中，防护箱体设计为立方体结构，形状规则，便于安装。
27.进一步的优化方案，防护箱体包括箱体托1，箱体托1用于承接喷出的砂浆，再者，防护箱体还包括防护罩2，防护罩2盖设于箱体托1上端，用于防止砂浆外溅，可以理解的是，箱体托1的材料为钢材料或者硬质塑料材质，不易弯折，且可承受一定的冲击力，内表面做光滑面，在粘连砂浆后易清洁，；防护罩2座透明材料，可为透明塑料罩或玻璃罩，尺寸与箱体托1等大，二者的连接处可设计成嵌入式连接，即防护罩2插入箱体托1的边缘，便于随时提起防护罩，可随时清理内部堆积的砂浆，为方便提拉防护罩2，防护罩2上设有把手4。
28.优选的，防护罩2与喷砂机入口端相连的一面开设输送孔3，输送孔3用于输送硅片进入喷砂机，输送孔3的孔径略大于喷砂机硅片的入口孔径，防止硅片输入时发生硅片卡顿的情况。
29.根据本实用新型实施例的一种防止砂浆外溅的机构，负压气路上安装有真空吸口5，真空吸口设于防护箱体内部的顶端，用于吸收防护箱体内的砂浆，真空吸口5为外端敞口，向内收缩，便于将箱体内的砂浆吸入真空吸口5内，从而达到砂浆回收的目的。
30.在本实用新型的实施例中，负压气路还安装有排风管路6，排风管路6的一端连接喷砂机，另一端延伸至防护箱体内与真空吸口5连接，用于将真空吸口5吸收的砂浆输送回喷砂机，有效的提高砂浆的利用率，同时可缓解防护箱体内的砂浆堆积量。
31.根据本实用新型实施例的一种防止砂浆外溅的机构，防护箱体内设有传送带7，传
送带7用于将硅片输送至喷砂机内，实现了硅片喷砂工艺的自动化过程。
32.根据本实用新型实施例的一种防止砂浆外溅的机构，其产生的有益效果是：
33.(1)解决了硅片喷砂工艺过程中砂浆外溅的问题，保护了外界设备部被砂浆侵蚀损坏，间接保护了环境；
34.(2)防护罩为可视状态，随时观测罩内砂浆量，并可以随时清理罩内砂浆，可有效的防止砂浆在防护罩内堆积，避免砂浆口堵死。
35.(3)可回收飞溅到罩内的砂浆，提高砂浆的重复利用率。
36.以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
技术特征：
1.一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，包括：防护箱体，所述防护箱体设于喷砂机的入口端，用于防止砂浆外溅；负压气路，所述负压气路的一端设于所述防护箱体上，另一端延伸至所述喷砂机，用于将所述防护箱体内的砂浆倒吸回所述喷砂机。2.根据权利要求1所述的一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，所述防护箱体为立方体结构。3.根据权利要求1或2所述的一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，所述防护箱体包括箱体托，所述箱体托用于承接喷出的砂浆。4.根据权利要求3所述的一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，所述防护箱体还包括防护罩，所述防护罩盖设于所述箱体托上端，用于防止砂浆外溅。5.根据权利要求4所述的一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，所述防护罩与所述喷砂机入口端相连的一面开设输送孔，所述输送孔用于输送硅片进入所述喷砂机。6.根据权利要求4所述的一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，所述防护罩上设有把手，所述把手用于提起所述防护罩。7.根据权利要求1所述的一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，所述负压气路包括真空吸口，所述真空吸口设于所述防护箱体内部的顶端，用于吸收所述防护箱体内的砂浆。8.根据权利要求7所述的一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，所述负压气路还包括排风管路，所述排风管路的一端连接所述喷砂机，另一端延伸至所述防护箱体内与所述真空吸口连接，用于将所述真空吸口吸收的砂浆输送回所述喷砂机。9.根据权利要求1-8任一所述的一种防止砂浆外溅的机构，其特征在于，所述防护箱体内设有传送带，所述传送带用于将硅片输送至所述喷砂机内。
技术总结
本实用新型提供一种防止砂浆外溅的机构，包括防护箱体，所述防护箱体设于喷砂机的入口端，用于防止砂浆外溅；负压气路，所述负压气路的一端设于所述防护箱体上，另一端延伸至所述喷砂机，用于将所述防护箱体内的砂浆倒吸回所述喷砂机。本实用新型的有益效果是解决了硅片喷砂工艺过程中砂浆外溅的问题，保护了外界设备部被砂浆侵蚀损坏，间接保护了环境；防护罩为可视状态，随时观测罩内砂浆量，并可以随时清理罩内砂浆，可有效的防止砂浆在防护罩内堆积，避免砂浆口堵死；可回收飞溅到罩内的砂浆，提高砂浆的重复利用率。提高砂浆的重复利用率。提高砂浆的重复利用率。
技术研发人员：靳立辉 杨骅 杜晨朋 白子川 吕原杰
受保护的技术使用者：天津环博科技有限责任公司
技术研发日：2022.08.05
技术公布日：2022/12/27
再多了解一些
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