用于真空装置的阀的制作方法

技术特征：
1.一种用于真空装置的阀，包括：第一壳体元件(12)和与所述第一壳体元件(12)连接的第二壳体元件(14)，其中，由所述第一壳体元件(12)和所述第二壳体元件(14)限定外腔(16)，其中，所述第一壳体元件(12)具有第一开口(18)，并且所述第二壳体元件(14)具有经由所述外腔(16)与所述第一开口(18)流体连通的第二开口(20)，其中，由所述第一壳体元件(12)和所述第二壳体元件(14)限定内腔(22)，其中，隔膜(24)设置在所述内腔(22)中，将所述内腔(22)分成第一内腔(26)和第二内腔(28)，其中，密封元件(30)连接到所述隔膜(24)，其中，所述密封元件(30)能够从第一位置移动到第二位置，其中，在所述第一位置中，所述密封元件(30)以密封的方式封闭所述第一开口(18)，并且在所述第二位置中，所述密封元件打开所述第一开口(18)以允许气体介质流过所述阀。其中，所述内腔(22)至少部分地且优选地完全地被所述外腔(16)包围。2.根据权利要求1所述的阀，其特征在于，所述第二内腔(28)连接到真空，并且所述第一内腔(26)连接到较高压力或大气压力，以将所述密封元件(30)从所述第一位置移动到所述第二位置。3.根据权利要求1或2中任一项所述的阀，其特征在于，第一通道将所述第二内腔(28)连接到低压区域，并且特别地连接到所述第二壳体元件(14)和/或所述外腔(16)。4.根据权利要求3所述的阀，其特征在于，第一三通阀(36)设置在与大气连接的第一通道中。5.根据权利要求1至4中任一项所述的阀，其特征在于，第二通道将所述第一内腔(26)连接到大气。6.根据权利要求5所述的阀，其特征在于，第二三通阀(38)设置在所述第二通道中，所述第二通道连接到低压区域，并且特别地连接到所述第二壳体元件和/或所述外腔(16)。7.根据权利要求4至6中任一项所述的阀，其特征在于，所述第一三通阀和/或第二三通阀(36、38)是电磁阀，并且优选地是常闭电磁阀。8.根据权利要求1至7中任一项所述的阀，其特征在于，所述密封元件(30)的直径小于所述第一开口(18)的直径。9.根据权利要求1至8中任一项所述的阀，其特征在于，所述密封元件(30)抵靠能够连接至所述第一开口(18)的凸缘密封所述第一开口(18)。10.根据权利要求1至9中任一项所述的阀，其特征在于，弹簧(34)连接到所述密封元件(30)，其中所述弹簧(34)的弹簧常数适于仅补偿所述密封元件(30)的质量。11.一种真空装置，具有根据权利要求1至10中任一项所述的阀、连接到所述阀的第二开口的真空泵以及真空腔室，所述真空腔室连接到所述阀的第一开口以将所述真空泵与所述真空腔室分开。12.根据权利要求11所述的真空装置，其特征在于，所述真空装置包括控制单元，其中所述第一三通阀(36)连接到所述控制单元，其中所述控制单元配置成通过所述第一三通阀(36)将所述第二内腔(28)与所述低压区域连接，以在所述低压区域的压力低于所述第一内腔(26)中的压力的情况下使所述密封元件(30)移动到所述第二位置中。13.根据权利要求12所述的真空装置，其特征在于，所述控制单元被配置成通过所述第
一三通阀将所述第二内腔(28)与所述大气连接，以将所述密封元件(30)移动到所述第一位置中。14.根据权利要求12或13所述的真空装置，其特征在于，所述控制单元连接到所述第二三通阀(38)并且被配置成通过所述第二三通阀(38)将所述第一内腔(26)与所述低压区域连接，而所述第二内腔(28)通过所述第一三通阀(36)连接到大气，以即使在所述低压区域中的压力低于大气压力的情况下也将所述密封元件(30)保持在所述第一位置中。

技术总结
一种用于真空装置的阀包括第一壳体元件和与所述第一壳体元件连接的第二壳体元件，其中，所述第一壳体元件和所述第二壳体元件限定外腔。第一壳体元件作为第一开口，并且第二壳体元件作为第二开口，第二开口与第一开口流体连通，同时与外腔流体连通。所述内腔由所述第一壳体元件和所述第二壳体元件限定，其中，在所述腔中设置有隔膜，所述隔膜将所述内腔分成第一内腔和第二内腔。密封元件连接到隔膜，其中密封元件可从第一位置移动到第二位置，其中在第一位置中，密封元件以密封的方式封闭第一开口，并且在第二位置中，密封元件打开第一开口以允许气体介质流过阀。口以允许气体介质流过阀。口以允许气体介质流过阀。


技术研发人员：J
受保护的技术使用者：阿特拉斯
技术研发日：2021.03.09
技术公布日：2022/12/23