一种薄膜沉积设备的晶圆对准环的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体来说，涉及一种薄膜沉积设备的晶圆对准环。


背景技术：

2.现有设备关于晶圆在加热器上面有一定的间隙，这种间隙在晶圆在加热器完美同心圆情况下边距l2为2mm，加热器上端的覆盖环下端的截面宽度l1为10mm，晶圆靠自动机械臂传送，而且经过很较多工位,要保证晶圆完美传送到腔体的加热器上面，就要保证前面所有晶圆经过工位都是完美位置，如图1所示，不能有偏差，一旦有偏差就会造成晶圆在加热器上面位置不是同心圆，例如：晶圆偏向一侧或者晶圆的一边搭在边缘的覆盖环的边缘上使得晶圆没有水平，都会导致背压气孔无法完全覆盖，就会造成因为位置问题导致晶圆在镀膜过程中的背面压力问题，从而导致背压报警。
3.针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种薄膜沉积设备的晶圆对准环，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种薄膜沉积设备的晶圆对准环，包括安装板，所述安装板上固定有环体，所述环体上端内壁固定有覆盖环，且所述覆盖环的截面设置成三角形结构，所述覆盖环下端固定有加热器，所述加热器上端设有若干背压气孔，所述加热器上端开设有环形槽，所述环形槽内设有承托环，所述安装板下端固定有若干电动推杆，所述电动推杆的伸缩杆均贯穿所述安装板和所述加热器，所述电动推杆的伸缩杆上端均与所述承托环固定连接，所述安装板下方固定安装有防护筒，所述防护筒下端通过螺栓固定有盖板，所述盖板下方通过弹性伸缩杆连接有固定板，所述固定板上固定安装有振动机构。
6.优选地，所述覆盖环的上端内壁固定有聚四氟乙烯涂层。
7.优选地，所述加热器与所述安装板之间固定有隔热垫块。
8.优选地，所述振动机构包括电动机和偏心轮，所述电动机固定安装在固定板上，所述电动机的转轴外壁固定套设有偏心轮，所述偏心轮与盖板的下表面相接触。
9.优选地，所述盖板下方设置有圆弧凸起，所述偏心轮与圆弧凸起相对应。
10.优选地，所述弹性伸缩杆包括上套杆和导向杆，所述上套杆穿过盖板且与盖板固定连接，所述导向杆上端通过活塞滑动连接在上套杆内腔中，所述导向杆外表面套接有弹簧，所述弹簧的上端与上套杆的下表面相抵触，所述弹簧的下端与固定板上表面相抵触。
11.与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
12.1、本实用新型通过设置安装板、环体、覆盖环、加热器、背压气孔、环形槽、承托环、电动推杆和振动机构，能够增大覆盖环上端的开口面积，从而能够有利于晶圆的放置，从而
降低背压报警的概率，并且能够减小晶圆在加热器上的滑动空间，从而能够进一步降低背压报警的概率，并且能够利用承托环将晶圆从覆盖环内托起，从而能够便于将晶圆从加热器上取下；
13.2、本实用新型通过设置聚四氟乙烯涂层，能够大大的降低覆盖环上端内壁的摩擦系数，使得晶圆更加不易搭接在覆盖环上；
14.3、本实用新型通过设置电动机和偏心轮，能够利用电动机带动偏心轮转动而产生振动，从而能够将搭接在覆盖环边缘上的晶圆滑落在加热器上，从而能够进一步降低背压报警的概率。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1是现有技术中覆盖环、晶圆和加热器的结构示意图；
17.图2是根据本实用新型实施例的一种薄膜沉积设备的晶圆对准环的结构示意图；
18.图3是根据本实用新型实施例的一种薄膜沉积设备的晶圆对准环的剖视图；
19.图4是根据本实用新型实施例的一种薄膜沉积设备的晶圆对准环中加热器、晶圆和覆盖环的截面图；
20.图5是根据本实用新型实施例的一种薄膜沉积设备的晶圆对准环中安装板和防护筒的结构示意图。
21.附图标记：
22.1、安装板；3、环体；4、覆盖环；5、加热器；6、背压气孔；7、环形槽；8、承托环；9、电动推杆；10、振动机构；11、聚四氟乙烯涂层；12、隔热垫块；14、电动机；15、偏心轮；16、圆弧凸起；17、防护筒；18、盖板；19、晶圆；20、固定板；21、弹性伸缩杆；22、上套杆；23、导向杆；24、弹簧。
具体实施方式
23.下面，结合附图以及具体实施方式，对实用新型做出进一步的描述：
24.实施例：
25.请参阅图2-5，根据本实用新型实施例的一种薄膜沉积设备的晶圆对准环，包括安装板1，所述安装板1上固定有环体3，所述环体3上端内壁固定有覆盖环4，且所述覆盖环4的截面设置成三角形结构，所述覆盖环4下端固定有加热器5，所述加热器5上端设有若干背压气孔6，所述加热器5上端开设有环形槽7，所述环形槽7内设有承托环8，所述安装板1下端固定有若干电动推杆9，所述电动推杆9的伸缩杆均贯穿所述安装板1和所述加热器5，所述电动推杆9的伸缩杆上端均与所述承托环8固定连接，所述安装板1下方固定安装有防护筒17，所述防护筒17下端通过螺栓固定有盖板18，所述盖板18下方通过弹性伸缩杆21连接有固定板20，所述固定板20上固定安装有振动机构10。通过将覆盖环4的截面设置成三角形结构，以增大覆盖环4上端的开口面积，从而能够有利于晶圆19的放置，从而降低背压报警的概
率，并且能够减小晶圆19在加热器5上的滑动空间，从而能够进一步降低背压报警的概率，并且能够利用承托环8将晶圆19从覆盖环4内托起，从而能够便于将晶圆19从加热器5上取下。
26.在进一步的实施例中，所述覆盖环4的上端内壁固定有聚四氟乙烯涂层11，其中，聚四氟乙烯涂层11能够大大的降低覆盖环4上端内壁的摩擦系数，使得晶圆19更加不易搭接在覆盖环4上。
27.在进一步的实施例中，所述加热器5与所述安装板1之间固定有隔热垫块12，隔热垫块12能够起到承托和固定加热器5的作用，并且能够将振动机构10产生的振动传递给加热器5。
28.在进一步的实施例中，所述振动机构10包括电动机14和偏心轮15，所述电动机14固定安装在固定板20上，所述电动机14的转轴外壁固定套设有偏心轮15，所述偏心轮15与盖板18的下表面相接触。从而能够利用电动机14带动偏心轮15转动，以带动整个安装板1产生振动，从而能够将搭接在覆盖环4边缘上的晶圆19滑落在加热器5上，从而能够进一步降低背压报警的概率。
29.在进一步的实施例中，所述盖板18下方设置有圆弧凸起16，所述偏心轮15与圆弧凸起16相对应。通过圆弧凸起16与偏心轮15侧表面的圆弧导向作用，从而使偏心轮15更易带动整个安装板1产生振动。
30.在进一步的实施例中，所述弹性伸缩杆21包括上套杆22和导向杆23，所述上套杆22穿过盖板18且与盖板18固定连接，所述导向杆23上端通过活塞滑动连接在上套杆22内腔中，所述导向杆23外表面套接有弹簧24，所述弹簧24的上端与上套杆22的下表面相抵触，所述弹簧24的下端与固定板20上表面相抵触。通过导向杆23沿着上套杆22的轴向上下移动，以实现对整个晶圆对准环的上下振动，并通过弹簧24的作用以对上下移动的安装板1进行减震。
31.为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下就本实用新型在实际过程中的工作原理或者操作方式进行详细说明。
32.在实际应用时，当晶圆19位于加热器5正上方且完美同心圆的情况下，晶圆19边缘与覆盖环4之间的间隙l2’为1mm，覆盖环4的截面下端的宽度l1’为11mm，通过机械臂将晶圆19放置到加热器5上，由于覆盖环4的截面设置成三角形结构，从而增大了覆盖环4上端的开口面积，从而能够有利于晶圆19的放置，使得晶圆19更加容易被放入加热器5上，并且，减小了晶圆19在加热器5上的滑动空间，同时，覆盖环4的内壁设置为斜面结构且覆盖有光滑的聚四氟乙烯涂层11，使得晶圆19不易搭在覆盖环4的边缘上，从而能够进一步降低背压报警的概率，而且，当晶圆19搭接在覆盖环4的边缘上时，能够通过控制电动机14工作，电动机14能够带动偏心轮15转动，再听过偏心轮15与盖板18下方的圆弧凸起16相配合的作用，以产生振动，从而能够将搭接在覆盖环4边缘上的晶圆19滑落在加热器5上对背压气孔6进行全覆盖，从而能够进一步降低背压报警的概率，并且，在镀膜完成后需要进行下料时，能够控制电动推杆9同步伸长，从而能够利用承托环8将晶圆19从覆盖环4内托起，从而能够便于将晶圆19从加热器5上取下，有利于镀膜完成后晶圆19的下料。并通过防护筒17下能够对安装板1下端的电动推杆9和振动机构10进行防护，并且通过打开盖板18能够便于对电动推杆9和振动机构10进行检修。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。