打线接合装置的制作方法

1.本发明涉及一种打线接合(wire bonding)装置的结构。


背景技术：

2.业界正使用打线接合装置，所述打线接合装置利用引线(wire)将半导体裸片的电极与基板的电极之间连接。
3.这些打线接合装置中，正使用下述结构，即：将载置接合对象物的接合平台(bonding stage)、与在xy方向驱动上侧所安装的装置的xy驱动机构在架台上并排配置，在xy驱动机构上安装将接合臂(bonding arm)的顶端在z方向驱动的接合头(bonding head)，将接合臂的顶端在xyz方向驱动而进行引线的接合或半导体裸片的接合(例如参照专利文献1的图6)。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本专利第3537890号说明书


技术实现要素：

7.发明所要解决的问题
8.现有技术的打线接合装置中，为了使xy驱动机构、或安装于xy驱动机构上的接合头不与接合平台发生干扰，需要远离接合平台而配置xy驱动机构及接合头。因此，接合头的重心位置远离xy驱动机构的推力中心，有时利用xy驱动机构将接合头驱动时的接合头的振动变大，接合品质降低。另外，若将接合的速度设为高速则振动变大，有无法提高接合的速度等问题。
9.因此，本发明的目的在于减少打线接合装置的振动及实现接合的高速化。
10.解决问题的技术手段
11.本发明的打线接合装置包含：接合平台，在载置面载置有接合对象物；接合头，安装有接合臂；xy驱动机构，将接合头在y方向及x方向驱动，所述y方向为接合臂的长度方向，所述x方向为在水平面内与y方向正交的前后方向；以及框架，支撑xy驱动机构，且所述打线接合装置的特征在于，xy驱动机构包括：x方向导件，安装于框架；x方向滑块，由x方向导件在上下方向支撑并且在x方向导引而在x方向移动，在上侧安装有x方向马达的x方向可动件；y方向导件，安装于x方向滑块的下侧；以及y方向滑块，由y方向导件在上下方向支撑并且在y方向导引而在y方向移动，安装有接合头，xy驱动机构在比接合平台的载置面更靠上方且接合平台的y方向后方，以自上方观看时y方向导件的前方的一部分重叠于接合平台的载置面的方式安装于框架。
12.如此，以y方向导件的前方的一部分重叠于接合平台的载置面的方式安装于框架，故而可使安装有y方向导件及x方向马达的可动件的、x方向滑块的位置接近接合平台。由此，可使成为xy驱动机构的x方向的推力中心的y方向位置的、x方向马达的可动件的中心位
置接近接合平台。由此，可使接合头的重心位置与x方向马达的可动件的中心位置的偏离量的最大值比现有技术的打线接合装置更小。因此，可使利用xy驱动机构将接合头在x方向驱动时施加于接合头的偏摇力矩(yawing moment)比现有技术的打线接合装置进一步降低，减少接合头的绕垂直轴的振动，可提高接合品质。
13.本发明的打线接合装置中，接合臂也可以后端部绕沿x方向延伸的旋转轴旋转自如地安装且前端可在接近或远离接合平台的载置面的方向移动的方式安装于接合头，旋转轴的高度与载置于接合平台的载置面的、接合对象物的接合面相同。
14.由此，可在接合时使接合工具的顶端相对于接合面在垂直方向移动，可提高接合头的刚性。另外，由此可使打线接合装置高速化。
15.本发明的打线接合装置中，接合臂的前端位于接合平台的y方向中央时的负荷体的重心的y方向位置、与x方向可动件的中心的y方向位置的y方向距离也可比接合臂的y方向的行程的1/10更小，所述负荷体为通过x方向马达的x方向可动件在x方向移动的零件的集合体。
16.由此，可使负荷体的重心位置与x方向马达的可动件的中心位置接近，减少利用xy驱动机构将接合头在x方向驱动时的、接合头的绕垂直轴的振动而提高接合品质，并且可实现接合的高速化。
17.本发明的打线接合装置中，接合臂的前端位于接合平台的y方向中央时的负荷体的重心的y方向位置也可设为与x方向可动件的中心的y方向位置为相同位置，或比x方向可动件的中心的y方向位置更靠y方向后方。
18.如此，通过将接合臂的前端位于接合平台的y方向中央时的负荷体的重心的y方向位置与x方向可动件的中心的y方向位置设为相同位置，从而可使负荷体的重心位置与x方向马达的可动件的中心位置的偏离量最小。因此，可进一步减少利用xy驱动机构将接合头在x方向驱动时的、接合头的绕垂直轴的振动而提高接合品质，并且可实现接合的高速化。
19.另外，通过将接合臂的前端位于接合平台的y方向中央时的负荷体的重心的y方向位置设为比x方向可动件的中心的y方向位置更靠y方向后方，从而可进一步减少接合臂的前端位于接合平台的前端附近的情形时的、接合头的绕垂直轴的振动，可进一步提高接合品质。
20.本发明的打线接合装置中，负荷体也可包含y方向导件、y方向滑块、接合头及接合臂。
21.本发明的打线接合装置中，也可在接合头安装有摄像装置、及将来自接合对象物的光导引至摄像装置的镜筒，负荷体包含y方向导件、y方向滑块、接合头、接合臂、摄像装置及镜筒。
22.本发明的打线接合装置中，y方向滑块也可在接合平台的载置面的上方在y方向移动，接合臂以自接合头向y方向前方延伸的方式安装于接合头，接合头以接合臂在接合平台的载置面的上方在y方向移动的方式安装于y方向滑块的下侧。
23.本发明的打线接合装置中，接合臂的后端部也可通过使两片弹簧板交叉成十字型的十字板弹簧旋转自如地安装于接合头，旋转轴设为沿着两片弹簧板交叉的线的轴。
24.接合臂由十字板弹簧绕旋转轴旋转支撑，故而并无旋转轴承等那样的摩擦阻力，几乎未产生对旋转的阻力。因此，可对引线、接合物施加微小的接合荷重而提高接合精度。
25.发明的效果
26.本发明的打线接合装置可减少打线接合装置的振动及实现接合的高速化。
附图说明
27.图1为表示实施方式的打线接合装置的侧面图，且为表示接合臂的前端位于接合平台的y方向中央的状态的图。
28.图2为表示xy驱动机构、安装于xy驱动机构的接合头、以及安装于接合头的接合臂及镜筒的立体图。
29.图3为表示xy驱动机构的y方向滑块、及安装于y方向滑块的接合头的立体图。
30.图4为表示xy驱动机构的y方向可动件及y方向可动件的滑动机构的立体图。
31.图5为表示将xy驱动机构的y方向滑块与y方向可动件基座连接的交叉滚子导件(cross roller guide)的立体图。
32.图6为图1所示的打线接合装置的接合臂的立体图。
33.图7为表示将接合臂安装于接合头的十字板弹簧的结构的立体图。
34.图8为图1所示的打线接合装置的侧面图，且为表示接合臂的前端位于接合平台的前端附近的状态的图。
35.图9为图1所示的打线接合装置的侧面图，且为表示接合臂的前端位于接合平台的后端附近的状态的图。
具体实施方式
36.以下，一方面参照附图一方面对实施方式的打线接合装置100加以说明。以下的说明中，设打线接合装置100为利用引线将半导体裸片的电极与基板的电极之间连接的打线接合装置来进行说明。如图1所示，打线接合装置100包含架台11、接合平台12、框架50、xy驱动机构30、接合头20、接合臂21及镜筒23。再者，以下的说明中，如图1所示，将自接合平台12朝向接合头20的接合臂21的长度方向设为作为前后方向的y方向，将在水平面内与y方向正交的方向设为作为接合对象物的搬送方向的x方向，将上下方向设为z方向来进行说明。另外，将y方向负侧的朝向接合平台12的方向设为前方，将相反的y方向正侧设为后方，将x方向正侧设为搬送方向，将z方向正侧设为上方，将z方向负侧设为下方来进行说明。
37.架台11固定于未图示的打线接合装置100的基座。接合平台12安装于架台11的前方的上侧。接合平台12的上表面成为载置基板或半导体裸片等接合对象物的载置面12a。另外，基板等的接合对象物由未图示的搬送装置在载置面12a上向x方向正侧搬送。
38.框架50为安装于架台11的上表面且自上方悬吊xy驱动机构30的支撑结构物。框架50包含固定于架台11上的柱51、将柱51之间连接的大梁52、及自大梁52向下方延伸且在下端安装有xy驱动机构30的x方向导件31的两个支撑臂53。
39.xy驱动机构30自框架50悬吊而受到支撑，将安装于下侧的接合头20在xy方向驱动。xy驱动机构30包含x方向导件31、x方向滑块32、y方向导件33、y方向滑块34、x方向马达40及y方向马达47。
40.x方向导件31为在框架50的两个支撑臂53的下端分别安装有各一个的、沿x方向延伸的四方棒状的构件，在侧面设有沿长度方向延伸的山形剖面的突条部311。
41.x方向滑块32包含两个x方向滑动构件32a及x方向滑动板32b。各x方向滑动构件32a为沿x方向延伸的四方棒状的构件，且在侧面设有承槽321。承槽321为沿长度方向延伸，供x方向导件31的突条部311嵌入的v字型的槽。x方向滑动板32b为将两个x方向滑动构件32a之间连接的板状构件，在侧端设有凸缘部，所述凸缘部在上侧安装有x方向滑动构件32a。两个x方向滑动构件32a通过螺杆而紧固地固定于两侧端的各凸缘部上。若x方向导件31的突条部311嵌入至x方向滑块32的x方向滑动构件32a的承槽321，则x方向滑块32由x方向导件31在上下方向支撑，并且由x方向导件31导引而在x方向移动。
42.在x方向滑块32的x方向滑动板32b的上侧，安装有构成x方向马达40的x方向可动件41。另外，在框架50的各支撑臂53的x方向可动件41的一侧，以与x方向可动件41相向的方式分别固定有x方向定子42。x方向可动件41及x方向定子42构成将x方向滑块32在x方向驱动的x方向马达40。另外，x方向可动件41的中心43成为x方向马达40的沿x方向的推力中心。
43.如图2所示，y方向导件33包含两个y方向导引构件33a、及安装有两个y方向导引构件33a的y方向导引框架33b。y方向导引框架33b为下侧开放且沿y方向延伸的槽形剖面构件，上侧的凸部安装于x方向滑块32的x方向滑动板32b的下侧。
44.y方向导引构件33a为沿y方向延伸的四方棒状的构件，在侧面设有沿长度方向延伸的山形剖面的突条部331。两个y方向导引构件33a以各突条部331相向的方式分别通过螺杆固定于y方向导引框架33b的下侧的两侧端部。y方向导引构件33a的y方向前方的端面比y方向导引框架33b的y方向前方的端面稍更向y方向前方突出。而且，y方向导引构件33a的y方向前方的端面自接合平台12的载置面12a的y方向后端面12d以距离d向y方向前方突出。
45.如此，y方向导件33在自上方观看时，以前方的一部分以d重叠于接合平台12的载置面12a的方式安装于x方向滑动板32b的下侧。另外，x方向滑动板32b经由x方向导件31安装于框架50。因此，y方向导件33在自上方观看时，以y方向的前方的一部重叠于接合平台12的载置面12a的方式安装于框架50。
46.如图3所示，y方向滑块34为沿y方向延伸的四方棒状的构件，且在侧面设有承槽341。承槽341为沿长度方向延伸，供y方向导引构件33a的突条部331嵌入的v字型的槽。如图3所示，y方向滑块34以承槽341成为外侧的方式通过螺杆固定于接合头20的上端的y方向的两侧面。因此，如图2所示，若以y方向导件33的y方向导引构件33a的突条部331嵌入至y方向滑块34的承槽341的方式将y方向滑块34与y方向导件33组装，则y方向滑块34由y方向导件33在上下方向支撑并且在y方向移动。另外，安装于y方向滑块34的接合头20与y方向滑块34尤其由y方向导件33在上下方向支撑，并且在y方向移动。
47.回到图1，在接合头20的后侧，配置有y方向马达支撑台13、y方向定子46、y方向可动件45及y方向可动件基座36。y方向马达支撑台13为固定于架台11上的支撑结构物，在中央部的上侧安装有y方向定子46。另外，在y方向马达支撑台13的y方向的前侧端及后侧端的上端，安装有在y方向导引y方向可动件基座36的滑块36a的导轨35。在y方向可动件基座36，以与y方向定子46相向的方式安装有y方向可动件45。另外，y方向可动件基座36与接合头20的后端由直线导件37连接。再者，关于直线导件37，例如可使用交叉滚子导件、针导件。
48.直线导件37包含如图3所示那样安装于接合头20的后端的上下两个从动侧导件37a、及如图4所示那样固定于y方向可动件基座36的y方向前端的驱动侧导件37b。驱动侧导件37b为棒状的长度构件，且在上下的表面设有山形剖面的突条部372。从动侧导件37a为柱
状的长度构件，在上表面或下表面设有供驱动侧导件37b的突条部372嵌入的、v字型的承槽371。
49.若以驱动侧导件37b的突条部372与从动侧导件37a的承槽371卡合的方式进行组合，则如图5所示，从动侧导件37a一方面相对于驱动侧导件37b在x方向滑动，一方面跟从驱动侧导件37b的y方向的移动而在y方向移动。因此，若y方向可动件基座36因y方向可动件45而在y方向移动，则从动侧导件37a一方面在x方向移动，一方面使所连接的接合头20在y方向从动。如此，接合头20由x方向马达40的x方向可动件41及y方向马达47的y方向可动件45在xy方向驱动。
50.如以上所说明，构成xy驱动机构30的x方向导件31、x方向滑块32、y方向导件33及y方向滑块34在比接合平台12的载置面12a更靠上方，以位于接合平台12的y方向后方侧的方式安装于框架50。
51.如图6所示，接合臂21包含本体21a、及安装于本体21a的y方向前方的超声波焊头21b。在超声波焊头21b的前端21f安装有作为接合工具的焊针22。在本体21a的长度方向中央，设有供安装超声波振子的开口。
52.本体21a的后端部21r在x方向正侧与负侧分别设有展宽的三角形的安装用肋21c。在安装用肋21c的后端，设有供安装十字板弹簧26的安装座21d，接合臂21的后端部21r通过安装于安装座21d的十字板弹簧26而安装于接合头20的y方向前方的结构构件20a。另外，板状的z方向马达的z方向可动件安装板21m自本体21a的后端部21r向y方向后方延伸。在z方向可动件安装板21m安装有z方向可动件48。z方向可动件安装板21m及z方向可动件48收容于接合头20的内部。
53.如图7所示，十字板弹簧26是将设有螺孔27b、螺孔28b的水平弹簧板27与垂直弹簧板28以交叉成十字型的方式组合而成。如图6所示，水平弹簧板27的后端(y方向正侧)通过螺杆27a固定于接合头20的结构构件20a，顶端(y方向负侧)通过螺杆固定于接合臂21的安装座21d的下表面。另外，垂直弹簧板28的上端通过螺杆28a固定于接合臂21的安装座21d的后端的垂直面，下端通过螺杆固定于接合头20的结构构件20a。而且，水平弹簧板27与垂直弹簧板28交叉的沿x方向延伸的线成为接合臂21的旋转轴29，十字板弹簧26绕旋转轴29旋转自如地支撑接合臂21。
54.如此，关于接合臂21，后端部21r绕沿x方向延伸的旋转轴29旋转自如地安装。另外，在收容于接合头20的内部的z方向可动件48的两侧，安装有未图示的z方向定子。z方向定子以使z方向可动件48绕旋转轴29旋转的方式进行驱动，并且在安装于超声波焊头21b的前端21f的焊针22的下端接近或远离接合平台12的载置面12a的方向进行驱动。
55.接合臂21以旋转轴29的高度与载置于接合平台12的载置面12a的、接合对象物的接合面相同的方式安装于接合头20。因此，焊针22的下端相对于接合对象物的接合面在垂直方向接近或远离。
56.如此，接合臂21自接合头20向y方向前方延伸，并且以在接合平台12的载置面12a的上方在y方向移动的方式安装于接合头20。
57.镜筒23为将来自载置于接合平台12的载置面12a上的接合对象物的光导引至安装于接合头20的内部的摄像装置的光学构件。镜筒23安装于安装臂23a的前端而配置于接合臂21的前端21f的上方，所述安装臂23a安装于接合头20且向y方向前方延伸。另外，在接合
头20，安装有自镜筒23以图像的形式获取来自接合对象物的光的摄像装置(未图示)。
58.如以上那样构成的打线接合装置100中，若y方向可动件45在y方向移动，则连接于y方向可动件45的接合头20、安装于接合头20的y方向滑块34在y方向移动。另外，若x方向可动件41在x方向移动，则安装于x方向滑块32的下侧的y方向导件33、由y方向导件33在上下方向支撑并在y方向移动的y方向滑块34、及安装于y方向滑块34的接合头20成一体地在x方向移动。由此，xy驱动机构30将接合头20在xy方向驱动。
59.此处，x方向可动件41在x方向移动时与x方向可动件41一起在x方向移动的y方向导件33、y方向滑块34、接合头20、安装于接合头20的接合臂21、镜筒23及摄像装置构成负荷体，所述负荷体为通过x方向可动件41在x方向移动的零件的集合体。图1中，重心标记表示所述负荷体整体的重心位置25。另外，一点划线20c为穿过负荷体的重心位置25且沿上下方向延伸的线。另外，图1、图8、图9中，一点划线40c为穿过x方向马达40的x方向的推力中心所处的、x方向可动件41的中心43，且沿上下方向延伸的线，一点划线12c为穿过接合平台12的y方向中心且沿上下方向延伸的线。
60.如图1所示，接合臂21的前端21f位于接合平台12的y方向中央。即，如图1所示，在焊针22的中心位于一点划线12c时，负荷体的重心位置25的y方向位置成为与x方向可动件41的中心43的y方向位置大致相同的位置。
61.另外，如图8所示，在接合头20自图1所示的位置向y方向负侧移动距离l1，接合臂21的前端21f移动至接合平台12的前端附近的情形时，y方向滑块34在接合平台12的载置面12a的上方在y方向移动，接合臂21在接合平台12的载置面12a的上方在y方向移动。而且，负荷体的重心位置25的y方向位置较x方向可动件41的中心43的y方向位置以距离l1向y方向前方偏离。
62.反之，如图9所示，在接合头20自图1所示的位置向y方向正侧移动距离l1，接合臂21的前端21f移动至接合平台12的后端附近的情形时，负荷体的重心位置25的y方向位置较x方向可动件41的中心43的y方向位置以距离l1向y方向后方偏离。
63.如此，在如图8、图9所示那样接合臂21的前端21f位于接合平台12的y方向的前端或后端的情形时，负荷体的重心位置25的y方向位置与x方向可动件41的中心43的y方向位置的偏离量达到最大。
64.实施方式的打线接合装置100以y方向导件33的前方的一部分重叠于接合平台12的载置面12a的方式将xy驱动机构30安装于框架50，使安装有y方向导件33及x方向可动件41的x方向滑块32的y方向位置接近接合平台12而配置，由此以负荷体的重心位置25在x方向可动件41的中心43的附近的前后在y方向移动的方式构成。由此，可使负荷体的重心位置25与x方向可动件41的中心43的偏离量的最大值比专利文献1所记载的现有技术的打线接合装置更小。因此，也可使利用xy驱动机构30将接合头20在x方向驱动时施加于接合头20的偏摇力矩较现有技术的打线接合装置进一步降低，减少接合头20的绕垂直轴的振动。而且，通过减少接合头20的绕垂直轴的振动，从而可减小接合头20的绕垂直轴的振动的振幅。另外，通过降低施加于接合头20的偏摇力矩，从而可提高接合头20的绕垂直轴的固有振动频率，减小接合头20的绕垂直轴的振动的振幅。
65.而且，通过减小接合头20的绕垂直轴的振动的振幅，从而可减小由振动所致的、在接合臂21的前端21f安装的焊针22的x方向的振动的振幅，可提高接合品质。
66.另外，本实施方式的打线接合装置100通过将接合臂21的前端21f位于接合平台12的y方向中央时的负荷体的重心位置25的y方向位置、与x方向可动件41的中心43的y方向位置设为相同位置，从而使负荷体的重心位置25在x方向可动件41的中心43的前后在y方向移动。由此，图8、图9所示的距离l1成为接合头20的y方向的行程的1/2，可使负荷体的重心位置25与x方向可动件41的中心43的偏离量的最大值成为最小。因此，可进一步降低利用xy驱动机构30将接合头20在x方向驱动时施加于接合头20的偏摇力矩而进一步减少绕垂直轴的振动，进一步提高接合品质。
67.另外，实施方式的打线接合装置100中，y方向滑块34在接合平台12的载置面12a的上方在y方向移动，接合臂21以自接合头20向y方向前方延伸的方式安装于接合头20，接合头20以接合臂21在接合平台12的载置面12a的上方在y方向移动的方式安装于y方向滑块34的下侧。由此，可延长接合臂21的前端21f的y方向的移动行程，可对大的基板进行接合。
68.进而，实施方式的打线接合装置100中，接合臂21以旋转轴29的高度与载置于接合平台12的载置面12a的、接合对象物的接合面相同的方式安装于接合头20。由此，可在接合时使焊针22的下端相对于接合面在垂直方向移动，可提高接合品质。
69.另外，实施方式的打线接合装置100通过十字板弹簧26将接合臂21旋转自如地安装于接合头20，故而并无旋转轴承等那样的摩擦阻力，几乎不产生对旋转的阻力。因此，可对引线、接合物施加微小的接合荷重，可提高接合精度。
70.以上所说明的打线接合装置100中，设为下述情况进行了说明，即：将接合臂21的前端21f位于接合平台12的y方向中央时的负荷体的重心位置25的y方向位置、与x方向可动件41的中心43的y方向位置设为相同位置，但不限于此，负荷体的重心位置25的y方向位置与x方向可动件41的中心43的y方向位置的y方向距离也可为比接合臂21的y方向行程的1/10更小的范围。由此，可使负荷体的重心位置25与x方向可动件41的中心43接近，减少将接合头20在x方向驱动时的、接合头20的绕垂直轴的振动而提高接合品质，并且可实现接合的高速化。
71.另外，也可以下述方式配置xy驱动机构30，即：使接合臂21的前端21f位于接合平台12的y方向中央时的负荷体的重心位置25的y方向位置，比x方向可动件41的中心43的y方向位置更靠y方向后方。
72.将接合头20在x方向驱动时，在下述情形时接合头20的绕垂直轴的振动达到最大，即：如图8所示，接合臂21的前端21f位于接合平台12的前端附近。其原因在于，安装有焊针22的接合臂21的前端21f与成为x方向的推力中心的、x方向可动件41的中心43的距离达到最大。因此，通过使xy驱动机构30的位置稍向y方向前侧偏移，将接合臂21的前端21f位于接合平台12的y方向中央时的负荷体的重心位置25的y方向位置设为比x方向可动件41的中心43的y方向位置更稍靠y方向后方，从而可减小接合臂21的前端21f位于接合平台12的前端附近的情形时的、负荷体的重心位置25的y方向位置与x方向可动件41的中心43的y方向位置的偏离量。由此，可进一步减少接合臂21的前端21f位于接合平台12的前端附近的情形时的、接合头20的绕垂直轴的振动，可进一步提高接合品质。
73.关于使接合臂21的前端21f位于接合平台12的y方向中央时的负荷体的重心位置25的y方向位置较x方向可动件41的中心43的y方向位置以何种程度向y方向后方偏移即可，可根据接合头20的质量或接合臂21的质量、长度来设定，例如也可以接合臂21的y方向的行
程的1/50至1/10向y方向后方偏移。
74.另外，实施方式的打线接合装置100中，设为下述情况进行了说明，即：y方向导件33、y方向滑块34、接合头20、接合臂21及镜筒23构成负荷体，所述负荷体为通过x方向可动件41在x方向移动的零件的集合体，但不限于此。
75.例如，在以在接合头20安装极轻量的光纤等光学元件而将来自接合对象的光送至摄像装置的方式构成，不包括镜筒23的情形时，负荷体也可包含不含镜筒23的y方向导件33、y方向滑块34、接合头20、接合臂21及摄像装置，在摄像装置也未安装于接合头20的情形时，负荷体也可包含不含镜筒23及摄像装置的y方向导件33、y方向滑块34、接合头20及接合臂21。
76.符号的说明
77.11：架台
78.12：接合平台
79.12a：载置面
80.12d：y方向后端面
81.13：y方向马达支撑台
82.20：接合头
83.20a：结构构件
84.21：接合臂
85.21a：本体
86.21b：超声波焊头
87.21c：安装用肋
88.21d：安装座
89.21f：前端
90.21m：z方向可动件安装板
91.21r：后端部
92.22：焊针
93.23：镜筒
94.23a：臂
95.25：重心位置
96.26：十字板弹簧
97.27：水平弹簧板
98.27a、28a：螺杆
99.27b、28b：螺孔
100.28：垂直弹簧板
101.29：旋转轴
102.30：xy驱动机构
103.31：x方向导件
104.32：x方向滑块
105.32a：x方向滑动构件
106.32b：x方向滑动板
107.33：y方向导件
108.33a：y方向导引构件
109.33b：y方向导引框架
110.34：y方向滑块
111.35：导轨
112.36：y方向可动件基座
113.36a：滑块
114.37：直线导件
115.37a：从动侧导件
116.37b：驱动侧导件
117.40：x方向马达
118.41：x方向可动件
119.42：x方向定子
120.43：中心
121.45：y方向可动件
122.46：y方向定子
123.47：y方向马达
124.48：z方向可动件
125.50：框架
126.51：柱
127.52：大梁
128.53：支撑臂
129.100：打线接合装置
130.311、331、372：突条部
131.321、341、371：承槽