一种多芯粒晶圆级集成的混合键合方法与流程

1.本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种多芯粒晶圆级集成的混合键合方法。


背景技术：

2.随着集成电路产业的发展进入到后摩尔时代，芯片的关键节距以及尺寸都在不断地缩小，相应地涌现出了一些新的集成封装方式，例如无焊料的铜铜键合以及混合键合（hybrid bonding）技术，可以大幅度地提高集成密度。混合键合是一种将晶圆/芯片上的金属电极和电介质绝缘层同时键合的技术。省去了微凸点（μbump），因此混合键合可以进一步缩小键合的互连节距至10 μm以下。因此利用混合键合技术可以实现高密度的集成，其在3d封装中起到不可替代的作用。
3.按照键合的对象划分，键合可以实现晶圆到晶圆的键合（wafer to wafer， w2w）芯粒到芯粒的键合（die to die，d2d）以及芯粒到晶圆的键合（die to wafer, d2w/ chip to wafer， c2w）。在d2w的键合中，需要将若干的芯粒集成到一张晶圆上，d2w的多芯粒键合需要依次进行，晶圆经过cmp处理后可以获得平整洁净的表面，先进行键合的芯粒可以获得较优的铜铜键合界面，但顺序靠后的芯粒就会面临对应晶圆上铜氧化的问题，这对键合的质量会产生较大的影响，并且氧化铜的存在就需要施加更大的键合压力。d2w键合除了需要考虑键合界面的问题外，还需要考虑多个芯粒多次对准的问题，另外d2w键合对晶圆多次的局部加压升温，极易造成晶圆的局部应力，导致晶圆翘曲，影响晶圆上其他区域的键合，甚者对较薄的晶圆可能引起脆性断裂。
4.目前的混合键和技术只面向于晶圆到晶圆的键合w2w,对于芯片到晶圆的d2w/c2w，由于混合键和结构急剧缩小的节距，受限于键合设备以及对准精度，混合键合技术目前并没有实际应用于d2w/c2w的键合中。


技术实现要素：

5.为了解决现有技术中存在的上述技术问题，本发明提出了一种多芯粒晶圆级集成的混合键合方法，提高多芯粒键合的精度，减小对晶圆造成的局部应力，提高键合良率及可靠性，其具体技术方案如下：一种多芯粒晶圆级集成的混合键合方法，包括以下步骤：步骤一，提供待键合的半导体晶圆衬底、待键合的n个芯粒以及预键合晶圆衬底，在所述待键合的半导体晶圆衬底上表面的芯粒键合区域设置各芯粒相对应的对准标记，在预键合晶圆衬底下表面形成与所述对准标记同样的且对应的键合对准标记；步骤二，采用临时键合胶将预键合晶圆衬底的下表面与n个芯粒的上表面依次按照所述键合对准标记进行临时键合，构成预键合晶圆，并预设芯粒统一厚度，对n个芯粒中厚度大于预设厚度的芯粒通过化学机械抛光处理，研磨到统一厚度后，将其上表面和预键合晶圆衬底的下表面对准后进行粘结贴装；对n个芯粒中厚度小于预设厚度的芯粒，则是在其上表面先和对应同种材质的同尺寸基片利用临时键合胶贴合至统一厚度后再与预键合
晶圆衬底的下表面对准后进行粘结贴装；步骤三，利用化学机械抛光对待键合的半导体晶圆衬底的上表面以及预键合晶圆的n个芯粒的下表面进行表面处理；步骤四，将所述待键合的半导体晶圆衬底的上表面与完成预键合含n个芯粒的预键合晶圆下表面对准后进行键合，构成晶圆组；步骤五，将所述晶圆组进行退火热处理，并通过解键合去除预键合晶圆衬底，得到所需键合晶圆。
6.优选的，所述待键合的半导体晶圆衬底的上表面具有图形化的衬底金属电极，所述n个芯粒的下表面都具有图形化的芯粒金属电极。
7.优选的，所述的待键合的半导体晶圆衬底和预键合晶圆衬为同质的晶圆，均为硅晶圆、soi或sic。
8.优选的，所述的临时键合胶可以采用紫外固化胶，粘度≤50mpa
·
s，固化后粘结强度≥5mpa。
9.优选的，所述的n个芯粒和预键合晶圆衬底的键合，每个芯粒的键合偏差同一方向不超过10%；贴装偏差超过的10%的，对预键合晶圆芯粒局部解键合重新对准贴装，直至贴装偏差小于10%。
10.优选的，所述的n个芯粒为异质芯粒或同质芯粒。
11.优选的，所述对准后进行键合的温度为20~150℃间的任意值，键合时在预键合晶圆上表面施加的压力为1~50kn间的任意值。
12.优选的，所述退火热处理的温度为100~400℃之间的任意值，时间为10~60min之间的任意值。
13.与现有技术相比，本发明具有以下优点：利用预键合方法实现多芯粒d2w的一次性混合键合，避免多芯粒d2w键合cu界面氧化，保证洁净的键合界面，提高键合质量，利用预键合提高多芯粒键合的精度，避免对晶圆造成局部应力，提高键合良率及可靠性。
附图说明
14.图1为本发明的一种多芯粒晶圆级集成的混合键合方法流程示意图；图2为本发明实施例的待键合半导体晶圆衬底上表面结构示意图；图3为本发明实施例的待键合的芯粒结构示意图；图4为本发明实施例的转移对准标记图案的预键合晶圆衬底下表面结构示意图；图5为本发明实施例的完成预键合的预键合晶圆衬底底面结构示意图；图6为本发明实施例的完成预键合的预键合晶圆衬底侧面结构示意图；图7为本发明实施例的晶圆键合形成的晶圆组的侧面结构示意图；图8为本发明实施例的晶圆组去除预键合晶圆衬底的侧面示意图；图中，待键合的半导体晶圆衬底101，衬底cu电极111，对准标记121，n个芯粒201~20n，芯粒cu电极211~21n，预键合晶圆衬底301，键合对准标记311。
具体实施方式
15.为了使本发明的目的、技术方案和技术效果更加清楚明白，以下结合说明书附图和实施例，对本发明作进一步详细说明。
16.如图1所示，本发明的一种多芯粒晶圆级集成的混合键合方法，包括以下步骤：步骤一，提供待键合的半导体晶圆衬底101、待键合的n个芯粒201~20n以及预键合晶圆衬底301，在所述待键合的半导体晶圆衬底101上表面的芯粒键合区域设置各芯粒相对应的对准标记121，在预键合晶圆衬底301下表面形成与所述对准标记121同样的且对应的键合对准标记311。
17.具体的，如图2所示，所述待键合的半导体晶圆衬底101的待键合的上表面具有图形化的衬底金属cu电极111，在待键合的半导体晶圆衬底101的对应芯粒键合区域都设有相对应的对准标记121，所述的对准标记121的图形可以根据芯粒的形状和机台要求改变。
18.将待键合的半导体晶圆衬底101上需要键合的区域的对准标记121的图形转移到预键合晶圆衬底301的下表面，在预键合晶圆衬底301上形成同样的键合对准标记311，如图4所示。
19.所述的待键合的半导体晶圆衬底101和预键合晶圆衬底301为同质的晶圆，均为硅晶圆、soi、sic等。
20.如图3所示，所述n个芯粒201~20n的待键合下表面都具有图形化的芯粒金属cu电极211~21n。
21.所述预键合晶圆衬底301具有抛光的下表面。
22.步骤二，采用临时键合胶将预键合晶圆衬底301的下表面与n个芯粒201~20n的上表面依次按照所述键合对准标记311进行临时键合，构成预键合晶圆，并预设芯粒统一厚度，对n个芯粒201~20n中厚度大于预设厚度的芯粒通过化学机械抛光处理，研磨到统一厚度后，将其上表面和预键合晶圆衬底301的下表面对准后进行粘结贴装；对n个芯粒201~20n中厚度小于预设厚度的芯粒，则是在其上表面先和对应同种材质的同尺寸基片利用临时键合胶贴合至统一厚度后再与预键合晶圆衬底301的下表面对准后进行粘结贴装。
23.具体的，在预键合晶圆衬底301的下表面旋涂上紫外固化胶，将n个芯粒201~20n的上表面依次按照所述键合对准标记311贴合在预键合晶圆衬底301的下表面，再用紫外光照射固化，使n个芯粒201~20n和预键合晶圆衬底301完成预键合，构成预键合晶圆，如图5和图6所示，再统一芯粒厚度。
24.其中，所述统一芯粒厚度具体为：预设统一的厚度后，若其中的芯粒20i厚度与其他芯粒较厚，芯粒20j和芯粒20k与其他芯粒较薄，则通过cmp处理将芯粒20i研磨到统一厚度后，将其上表面和预键合晶圆衬底301的下表面对准后进行粘结贴装；所述芯片20j和芯片20k则是先在其上表面先和对应同种材质的同尺寸基片22j和基片22k，利用紫外固化胶贴合至统一的厚度，再和预键合晶圆衬底301的下表面进行粘结贴装，如图6所示。
25.所述的紫外固化胶粘度≤50mpa
·
s，固化后粘结强度≥5mpa。
26.所述的n个芯粒201~20n和预键合晶圆衬底301的键合，每个芯粒的键合偏差同一方向不超过10%；贴装偏差超过的10%的，将预键合晶圆局部升温，使紫外固化胶软化解胶，重新对准贴装，直至贴装偏差小于10%。
27.步骤三，利用cmp（chemical mechanical polishing，化学机械抛光）处理待键合
的半导体晶圆衬底101的上表面及n个芯粒201~20n的下表面，使待键合的半导体晶圆衬底101的上表面和n个芯粒201~20n的下表面达原子级平整。
28.所述的n个芯粒201~20n为异质芯粒或同质芯粒，n为正整数。
29.步骤四，将所述待键合的半导体晶圆衬底101的上表面与完成键合的n个芯粒201~20n的下表面对准后进行键合，构成晶圆组。
30.具体的，将待键合的半导体晶圆衬底101的上表面与贴装有n个芯粒201~20n的预键合晶圆衬底301的下表面（即预键合晶圆的下表面或为n个芯粒201~20n的下表面）对准后，在特定温度下对预键合晶圆上表面施加一定的压力f进行键合，构成晶圆组，如图7所示。
31.其中，进行键合的特定温度为20~150℃间的任意值，在预键合晶圆上表面施加的压力f为1~50kn间的任意值；在本实施例中，键合温度为50℃，在预键合晶圆上表面施加的压力f为40kn。
32.步骤五，将所述晶圆组进行退火热处理，并通过解键合去除预键合晶圆衬底301，得到所需键合晶圆。
33.具体的，将所述晶圆组进行退火热处理，实现半导体晶圆衬底101与n个芯粒201~20n的稳定键合，同时通过退火软化紫外固化胶，去除预键合晶圆衬底301，得到所需键合晶圆，如图8所示。
34.其中，所述退火热处理的温度和时间为100~400℃、10~60min之间的任意值；在本实施例中，退火热处理的温度为300℃，时间20min。
35.最后采用热丙酮清洗键合晶圆的表面，去除残留的紫外固化胶，再用标准清洗工艺清洗键合晶圆的表面。
36.以上所述，仅为本发明的优选实施案例，并非对本发明做任何形式上的限制。虽然前文对本发明的实施过程进行了详细说明，对于熟悉本领域的人员来说，其依然可以对前述各实例记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行同等替换。凡在本发明精神和原则之内所做修改、同等替换等，均应包含在本发明的保护范围之内。