加工装置的制作方法

技术特征：
1.一种加工装置，包括：加工工作台，至少固定于水平面上的xy方向上，对加工对象物加以保持；加工机构，一面使用加工液一面利用旋转工具对所述加工对象物进行加工；移动机构，使所述加工机构至少分别在水平面上的xy方向上直线移动；以及加工屑收容部，设置于所述加工工作台的下方，收容通过利用所述加工机构的加工而产生的加工屑。2.根据权利要求1所述的加工装置，其中所述加工屑收容部包括：引导部，具有在俯视时包围所述加工工作台的上部开口；以及回收容器，回收由所述引导部引导的加工屑。3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中所述加工屑收容部包括分离部，所述分离部将利用所述加工机构的加工中所使用的加工液与利用所述加工机构的加工而产生的加工屑分离。4.根据权利要求1至3中任一项所述的加工装置，包括两个以上的所述加工工作台。5.根据权利要求2或引用权利要求2的权利要求3或4所述的加工装置，其中所述回收容器与两个以上的所述加工工作台分别对应地设置有两个以上。6.根据权利要求1至5中任一项所述的加工装置，其中所述移动机构包括：x方向移动部，使所述加工机构在x方向上直线移动；以及y方向移动部，使所述加工机构在y方向上直线移动，所述y方向移动部包括：一对y方向导轨，隔着所述加工工作台沿着y方向而设置；以及支撑体，沿着所述一对y方向导轨移动，并且经由所述x方向移动部而支撑所述加工机构。7.根据引用权利要求4的权利要求6所述的加工装置，其中两个以上的所述加工工作台是在水平面上沿着y方向设置。8.根据权利要求1至7中任一项所述的加工装置，其中所述加工工作台吸附保持所述加工对象物，在所述加工工作台的旁边设置有用于进行吸附保持的真空泵。9.根据引用权利要求7的权利要求8所述的加工装置，其中所述真空泵与两个以上的所述加工工作台分别对应地沿着y方向设置有两个以上。10.根据权利要求1至9中任一项所述的加工装置，其中所述加工机构利用旋转刀将所述加工对象物切断而单片化。11.根据权利要求1至10中任一项所述的加工装置，其中所述加工对象物为经树脂密封的已密封基板，所述加工机构通过利用旋转刀将所述已密封基板切断而单片化为多个制品。

技术总结
本发明不需要波纹罩等保护罩并且提高加工屑的回收率，且包括：加工工作台2A、加工工作台2B，至少固定于水平面上的XY方向上，对加工对象物W加以保持；加工机构3，一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工；移动机构5，使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动；以及加工屑收容部9，设置于加工工作台2A、加工工作台2B的下方，收容通过利用加工机构3的加工而产生的加工屑S。利用加工机构3的加工而产生的加工屑S。利用加工机构3的加工而产生的加工屑S。


技术研发人员：深井元树 堀聪子 白井克昌 东秀和
受保护的技术使用者：东和株式会社
技术研发日：2021.01.19
技术公布日：2022/9/13