一种蒸镀机修正板定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及电子束蒸发镀膜技术领域，具体涉及一种蒸镀机修正板定位装置。


背景技术：

2.光学薄膜广泛应用于光学仪器，如传感器、半导体雷射、干涉仪、眼镜以及光纤通讯组件等很多领域。光学薄膜通常是通过干涉作用而达到其预期效果，其是指于光学组件或独立基板上镀上一层或多层的介电质膜或金属膜来改变光波传输特性。光学薄膜制作通常以物理蒸镀法为主(physics vapor deposition，简称pvd)，该方法为通过电子束蒸发型镀膜机将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，气态或离子态的材料，由蒸发源穿越空间，抵达基板表面，材料抵达基板表面后，将沉积而逐渐形成薄膜。
3.请参考图1，现有的电子束蒸发型镀膜机包括镀膜腔11、蒸发源12、修正板13和伞状载件盘14，蒸发源12、修正板13和伞状载件盘14位于镀膜腔11内进行镀膜操作。电子束蒸发型镀膜机在工作的过程中，待镀膜的光学元件放置在伞状载件盘14的安装孔15中，蒸发源12将镀膜材料蒸发实现在光学元件上镀膜。光学元件在经过光学镀膜后，能够达到一致的光学性能。
4.由于伞状载件盘14自中心向边缘依次布置有多圈安装孔15，因此能同时对多个光学元件实施镀膜工作。为了调整光学元件的镀膜量，修正板13安装在伞状载件盘14的下方，即位于蒸发源12向伞状载件盘14方向蒸发镀膜材料的路径上。在工作的过程中，伞状载件盘14会不停地旋转，每一片光学元件都会被修正板13多次遮挡。
5.修正板13遮挡的是位于其下方的镀膜材料蒸发量，蒸发源12为坩埚，坩埚内的镀膜材料经加热后通过蒸发而转移到光学元件上，进而实现镀膜。修正板13各个部位的尺寸宽度不同，相应地，在相应地调整镀膜材料蒸发时，被修正板13遮挡的量则不同。如果修正板13的遮挡量较少，意味着蒸发到光学元件上的镀膜材料量会较多，从而使得镀膜完成后的光学元件中心波长偏长。反之，如果修正板13的遮挡量较多，意味着蒸发到光学元件上的镀膜材料量会较少，从而使得镀膜完成后的光学元件的中心波长偏短。
6.因此，通过调整修正板13的位置使得修正板13在蒸发镀膜过程中的遮挡量较为恰当，可大大提高镀膜质量。但是，目前并没有对修正板13进行准确调节定位的设备，其容易造成镀膜不均匀，影响了光学仪器的产品质量。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的是提供一种蒸镀机修正板定位装置，解决了现有技术中修正板无法准确定位，容易造成镀膜不均匀，影响了光学仪器产品质量的问题。
8.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种蒸镀机修正板定位装置，包括定位座和激光器，所述定位座上开设有定位台阶孔；所述激光器的外壁设有环形凸台，所述激光器卡在所述定位台阶孔内，且环形凸台与定位台阶孔的台阶部相互匹配。定位台
阶孔的台阶部对环形凸台进行支撑限位，从而将激光器固定在定位台阶孔内。本实用新型通过激光器对修正板进行准确定位，以使修正板在蒸发镀膜过程中的遮挡量较为恰当，提高镀膜质量，其结构简单，使用方便，可以非常精准的确定界面的调节位置，从而快速精确的调节修正板的位置。
9.作为上述技术方案的一种可选方式，所述定位座上设有固定板，所述固定板与定位台阶孔的台阶部之间设有与所述环形凸台适配的夹持槽。台阶部对环形凸台进行支撑限位，固定板的一端压在环形凸台上，使得固定板与台阶部之间形成用于将环形凸台固定的夹持槽，激光器的位置保持固定，方便对修正板进行准确定位，从而使光学仪器镀膜均匀，提高光学仪器的产品质量。
10.作为上述技术方案的一种可选方式，所述固定板与定位座之间连接有紧固件。
11.作为上述技术方案的一种可选方式，所述紧固件为紧固螺栓，所述紧固螺栓贯穿固定板后与所述定位座螺纹连接。
12.作为上述技术方案的一种可选方式，所述定位座上开设有与所述固定板适配的嵌入槽，所述嵌入槽与所述定位台阶孔连通，所述固定板的一端设有与所述激光器外壁抵紧的抵紧面。
13.作为上述技术方案的一种可选方式，所述定位座为坩埚，所述坩埚呈圆锥形，且坩埚的外侧面与坩埚轴心线的夹角为5-45度。
14.作为上述技术方案的一种可选方式，所述坩埚的外侧面与坩埚轴心线的夹角为10度。
15.作为上述技术方案的一种可选方式，所述定位座上设有供电装置，所述供电装置与所述激光器电连接。
16.作为上述技术方案的一种可选方式，所述供电装置包括供电电池，所述定位座上开设有与所述供电电池适配的安装槽，所述安装槽设有盖板。
17.作为上述技术方案的一种可选方式，所述激光器为半导体激光器。
18.本实用新型的有益效果为：
19.本实用新型提供了一种蒸镀机修正板定位装置，包括定位座和激光器，激光器卡在定位台阶孔内，本实用新型通过激光器对修正板进行准确定位，以使修正板在蒸发镀膜过程中的遮挡量较为恰当，提高镀膜质量，其结构简单，使用方便，可以非常精准的确定界面的调节位置，从而快速精确的调节修正板的位置。
附图说明
20.图1是现有电子束蒸发型镀膜机的结构示意图；
21.图2是本实用新型具体实施方式的结构示意图；
22.图3是本实用新型具体实施方式的俯视图。
23.图中：11-镀膜腔；12-蒸发源；13-修正板；14-伞状载件盘；15-安装孔；21-定位座；22-激光器；23-定位台阶孔；24-环形凸台；25-固定板；26-紧固螺栓；27-嵌入槽；28-安装槽；29-盖板。
具体实施方式
24.实施例
25.如图2和图3所示，本实施例提供了一种蒸镀机修正板定位装置，包括定位座21和激光器22，所述定位座21一般为坩埚，激光器22采用半导体激光器，半导体激光器可发射十字激光，通过十字激光可对修正板进行准确定位，以使修正板在蒸发镀膜过程中的遮挡量较为恰当，提高镀膜质量。所述定位座21的中心开设有定位台阶孔23，所述激光器22的外壁固定设有环形凸台24，所述激光器22卡设在所述定位台阶孔23内，且环形凸台24与定位台阶孔23的台阶部相互匹配。定位台阶孔23的台阶部对环形凸台24进行支撑限位，从而将激光器22固定在定位台阶孔23内。
26.如图3所示，所述定位座21上设有两固定板25，所述固定板25与定位台阶孔23的台阶部之间设有与所述环形凸台24适配的夹持槽。台阶部对环形凸台24进行支撑限位，固定板25的一端压在环形凸台24上，使得固定板25与台阶部之间形成用于将环形凸台24固定的夹持槽，激光器22的位置保持固定，方便对修正板进行准确定位，从而使光学仪器镀膜均匀，提高光学仪器的产品质量。
27.为了加强对环形凸台24和激光器22的固定效果，所述固定板25与定位座21之间连接有紧固件。通过紧固件将固定板25固定在定位座21上，是固定板25和台阶部将环形凸台24加紧固定。优选地，所述紧固件为紧固螺栓26，所述紧固螺栓26贯穿固定板25后与所述定位座21螺纹连接。需要说明的是，紧固件也可以采用卡扣等结构实现，确保固定板25与定位座21连接稳定即可。
28.如图2所示，所述定位座21上开设有与所述固定板25适配的嵌入槽27，所述嵌入槽27与所述定位台阶孔23连通；所述固定板25的一端设有与所述激光器22外壁抵紧的抵紧面，半导体激光器呈圆柱状，因此固定板25端部的抵紧面呈弧面，两固定板25的抵紧面将半导体激光器外壁抵紧，两夹持槽对环形凸台24夹持固定，使半导体激光器保持固定。
29.在本实施例中，所述定位座21为坩埚，所述坩埚呈圆锥形，且坩埚的外侧面与坩埚轴心线的夹角为5-45度。坩埚可以倾斜，便于调节半导体激光器的照射角度。优选地，所述坩埚的外侧面与坩埚轴心线的夹角为10度，此时十字的半导体激光器可以俯仰160度，半导体激光器完全覆盖了整个镀膜腔中修正板的移动范围。需要水平旋转的，可以直接转动定位座21，以调节半导体激光器的位置，实现对修正板的定位功能。无论修正板在什么位置，半导体激光器都能指示到相应的位置，定位精度大大提高。
30.所述定位座21上设有供电装置，所述供电装置与所述激光器22电连接，供电装置为半导体激光器供电。半导体激光器发出的十字激光可以在需要修正的修正板上，用记号笔画出要修正的位置，修正板的定位更加快捷方便。具体地，所述供电装置包括一对供电电池，所述定位座21上开设有与所述供电电池适配的安装槽28，所述安装槽28设有盖板29。一对供电电池串联并为半导体激光器提供电力，供电电池可隐藏在定位座21的安装槽28中，该定位装置体积小巧，可与放镀膜材料的坩埚完全匹配，而且该定位装置不需要外接电源，直接用供电电池供电，其结构简单，使用方便。
31.在本实用新型描述中，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等应做广义理解，可以是固定连接，可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对本领域
技术人员而言，可以理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，实施例描述的具体特征、结构等包含于至少一种实施方式中，在不相互矛盾的情况下，本领域技术人员可以将不同实施方式的特征进行组合。本实用新型的保护范围并不局限于上述具体实例方式，根据本实用新型的基本技术构思，本领域普通技术人员无需经过创造性劳动，即可联想到的实施方式，均属于本实用新型的保护范围。