一种新型封闭式蒸发坩埚的制作方法

1.本实用新型属于热蒸发镀膜技术领域，尤其涉及一种新型封闭式蒸发坩埚。


背景技术：

2.有机电致发光器件由于具有超轻薄、全固化、自发光、响应速度快、温度特性好、可实现柔软显示等特性，在各种领域有着广泛的应用。
3.oled在产业化制备时，需要用到蒸发坩埚进行有机材料药品的热蒸发镀膜。通常是将基板放在真空箱体的上方，下方放置若干热源，热源中可放入蒸发坩埚，每一个坩埚中都会根据器件结构，放置不同量的有机材料药品。然后通过加电流的方式对热源中的坩埚进行加热，待达到坩埚中的有机材料药品的熔点后，有机材料药品融化并飘出。根据不同加热顺序，依次沉积在真空箱体上方的基板上，形成电极层和有机功能层。
4.目前使用的坩埚为开口式坩埚，在实际应用时，将有机材料药品放入其中进行蒸镀操作。但由于产业化制备时，基板通常较大，蒸镀所需有机材料药品的量普遍偏多，秉承“宁多不少”原则，坩埚中通常会放入略微过量的有机材料药品，过量的药品在蒸镀结束后可以供下次重复使用。但由于开口过大，在加热到熔点过程中，有机材料药品很容易井喷，造成材料的浪费，并且易导致蒸发速率不稳，造成薄膜的厚度不均匀。


技术实现要素：

5.本实用新型实施例提供一种新型封闭式蒸发坩埚，旨在解决背景技术中提出的问题。
6.本实用新型实施例是这样实现的，一种新型封闭式蒸发坩埚，该蒸发坩埚包括埚体以及卡合在所述埚体上用于将所述埚体的开口封闭的封盖；
7.所述封盖上对称设置有沿所述封盖的外沿向下延伸的卡块；
8.所述埚体的开口外沿处具有第一边沿，所述第一边沿上对应所述卡块的位置处开设有第一缺口，所述第一缺口上开设有用于所述卡块在所述边沿上旋转的第一弧槽。
9.优选的，所述封盖的中心位置处开设有第一穿孔。
10.优选的，所述蒸发坩埚还包括置于所述埚体的上端内部的隔层；
11.所述隔层的开口位置处具有搭放至所述第一边沿上的第二边沿，所述第二边沿上对应所述第一缺口和第一弧槽的位置处分别开设有第二缺口和第二弧槽。
12.优选的，所述隔层的底部至少开设有一个与所述第一穿孔错位设置的第二穿孔。
13.优选的，所述埚体、封盖和所述隔层均采用石英制成。
14.优选的，所述埚体、封盖和所述隔层均采用陶瓷制成。
15.该封闭式蒸发坩埚结构简单、使用方便，能够有效地避免药品暴露在真空蒸镀箱内，从而避免材料井喷，进而节省材料，同时可有效地限制有机材料药品飘出的轨迹，从而稳定蒸发速率，进而保证沉积薄膜的均匀性。
附图说明
16.图1是一种新型封闭式蒸发坩埚的结构示意图；
17.图2是一种新型封闭式蒸发坩埚中埚体的俯视结构示意图；
18.图3是一种新型封闭式蒸发坩埚中封盖的侧视结构示意图；
19.图4是一种新型封闭式蒸发坩埚中封盖的俯视结构示意图；
20.图5是一种新型封闭式蒸发坩埚中隔层的俯视结构示意图。
具体实施方式
21.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
22.实施例1
23.本实用新型提供一种新型封闭式蒸发坩埚，该蒸发坩埚包括埚体1以及卡合在所述埚体1上用于将所述埚体1的开口封闭的封盖2；其中，所述封盖2的中心位置处开设有第一穿孔22。
24.所述封盖2上对称设置有沿所述封盖2的外沿向下延伸的卡块21；
25.所述埚体1的开口外沿处具有第一边沿11，所述第一边沿11上对应所述卡块21的位置处开设有第一缺口12，所述第一缺口12上开设有用于所述卡块21在所述边沿11上旋转的第一弧槽13。其中，所述埚体1和所述封盖2均采用石英制成。
26.使用时，将有机材料药品放入埚体1中，将封盖2的卡块21对应放入第一缺口12内，然后旋转封盖2，使得卡块21进入第一弧槽13内，同时使得卡块21卡合在第一边沿11上，然后将埚体1放入真空蒸镀箱的热源内进行蒸镀，使得有机材料药品蒸发，从而第一穿孔22内飘出。该坩埚为封闭式，可有效地避免有机材料药品暴露在真空蒸镀箱内，从而避免材料井喷，节省材料。
27.实施例2
28.与实施例1不同的是，所述埚体1、和所述封盖2均采用陶瓷制成。
29.实施例3
30.与实施例1和实施例2不同的是，所述蒸发坩埚还包括置于所述埚体1的上端内部的隔层3；
31.所述隔层3的开口位置处具有搭放至所述第一边沿11上的第二边沿31，所述第二边沿31上对应所述第一缺口12和第一弧槽13的位置处分别开设有第二缺口32和第二弧槽33。所述隔层3的底部至少开设有一个与所述第一穿孔22错位设置的第二穿孔34。其中，所述隔层3采用石英制成。
32.使用时，将有机材料药品放置在埚体1内，然后将隔层3放置在埚体1的上端内部，使得第二边沿31搭置在第一边沿11上，同时使得第二缺口32处于第一缺口12的上方，然后将封盖2的卡块21从第二缺口32和第一缺口12内，然后旋转封盖2将埚体1和隔层3封闭，再将埚体1放入真空蒸镀箱内进行蒸发，此时，有机材料药品蒸发后从第二穿孔34进入隔层3内，再由第一穿孔22飘出。由隔层3上的第二穿孔34和第一穿孔22限制有机材料药品飘出的路线轨迹，从而稳定蒸发速率，保证沉积薄膜的均匀性。
33.实施例4
34.与实施例3不同的是，所述隔层3采用陶瓷制成。
35.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种新型封闭式蒸发坩埚，其特征在于，所述蒸发坩埚包括埚体(1)以及卡合在所述埚体(1)上用于将所述埚体(1)的开口封闭的封盖(2)；所述封盖(2)上对称设置有沿所述封盖(2)的外沿向下延伸的卡块(21)；所述埚体(1)的开口外沿处具有第一边沿(11)，所述第一边沿(11)上对应所述卡块(21)的位置处开设有第一缺口(12)，所述第一缺口(12)上开设有用于所述卡块(21)在所述边沿(11)上旋转的第一弧槽(13)。2.如权利要求1所述的新型封闭式蒸发坩埚，其特征在于，所述封盖(2)的中心位置处开设有第一穿孔(22)。3.如权利要求2所述的新型封闭式蒸发坩埚，其特征在于，所述蒸发坩埚还包括置于所述埚体(1)的上端内部的隔层(3)；所述隔层(3)的开口位置处具有搭放至所述第一边沿(11)上的第二边沿(31)，所述第二边沿(31)上对应所述第一缺口(12)和第一弧槽(13)的位置处分别开设有第二缺口(32)和第二弧槽(33)。4.如权利要求3所述的新型封闭式蒸发坩埚，其特征在于，所述隔层(3)的底部至少开设有一个与所述第一穿孔(22)错位设置的第二穿孔(34)。5.如权利要求3所述的新型封闭式蒸发坩埚，其特征在于，所述埚体(1)、封盖(2)和所述隔层(3)均采用石英制成。6.如权利要求3所述的新型封闭式蒸发坩埚，其特征在于，所述埚体(1)、封盖(2)和所述隔层(3)均采用陶瓷制成。

技术总结
本实用新型提供了一种新型封闭式蒸发坩埚，属于热蒸发镀膜领域，该蒸发坩埚包括埚体以及卡合在所述埚体上用于将所述埚体的开口封闭的封盖；所述封盖上对称设置有沿所述封盖的外沿向下延伸的卡块；所述埚体的开口外沿处具有第一边沿，所述第一边沿上对应所述卡块的位置处开设有第一缺口，所述第一缺口上开设有用于所述卡块在所述边沿上旋转的第一弧槽。该封闭式蒸发坩埚结构简单、使用方便，能够有效地避免药品暴露在真空蒸镀箱内，从而避免材料井喷，进而节省材料，同时可有效地限制有机材料药品飘出的轨迹，从而稳定蒸发速率，进而保证沉积薄膜的均匀性。证沉积薄膜的均匀性。证沉积薄膜的均匀性。


技术研发人员：苏艳 黄珠菊
受保护的技术使用者：上海传勤新材料有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/8/22