一种AZO靶材及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种azo靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将氧化锌铝粉体、预混液和分散剂混合，混合后经过球磨，混合好后加入引发剂和催化剂，倒入模具中固化，固化后得到坯体；将得到的坯体进行排胶；排胶后，在惰性气体氛围下，进行烧结，得到一种azo靶材；所述分散剂通过如下步骤制备：步骤一、在氮气保护条件下，将叔胺含氟单体和无水甲醇混合，升温至55℃，缓慢滴加环氧氯丙烷和无水甲醇的混合物，保持温度反应6h，得到环氧季铵盐；步骤二、将半纤维素、氢氧化钠和去离子水混合，然后升温至40℃，搅拌30min，然后加入环氧季铵盐，升温至65℃，搅拌4h，得到分散剂。2.根据权利要求1所述的一种azo靶材的制备方法，其特征在于，按重量份计，靶材包括如下原料：100-110份氧化锌铝粉体、35-40份预混液、4-5份分散剂、0.1-0.2份引发剂和0.4-0.5份催化剂；所述预混液包括如下重量份原料：20-30份单体、5-8份交联剂、70-80份水。3.根据权利要求1所述的一种azo靶材的制备方法，其特征在于，叔胺含氟单体通过如下步骤制备：将1mol甲乙胺加入0.2mol 6,6,6-三氟-1-碘代己烷和20ml的吡啶的混合物中，在80℃下搅拌4h，将得到的反应液用10wt％的氢氧化钠水溶液洗涤，然后减压浓缩除去溶剂，用硫酸镁干燥真空蒸馏后，得到叔胺含氟单体。4.根据权利要求1所述的一种azo靶材的制备方法，其特征在于，所述氧化锌铝粉体为含氧化锌与氧化铝的粉体，或者含氧化锌与铝的粉体，氧化锌所占质量分数为95-98％。5.根据权利要求1所述的一种azo靶材的制备方法，其特征在于，固化温度为30-40℃。6.根据权利要求1所述的一种azo靶材的制备方法，其特征在于，排胶过程为：将得到的坯体放入乙醇中，放置10h，然后取出干燥。7.根据权利要求1所述的一种azo靶材的制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气。8.根据权利要求1所述的一种azo靶材的制备方法，其特征在于，烧结过程为：以升温速率为10℃/min，升温至烧结温度1400-1500℃，保温30min后，降温至1100-1200℃，进行保温16h。9.一种azo靶材，其特征在于，根据权利要求1-8任意一项所述的制备方法制成。

技术总结
本发明涉及一种AZO靶材及其制备方法，属于光电材料技术领域，包括如下步骤：将氧化锌铝粉体、预混液和分散剂混合，混合后经过球磨，混合好后加入引发剂和催化剂，倒入模具中固化，固化后得到坯体；将得到的坯体进行排胶；排胶后，在惰性气体氛围下进行烧结，得到一种AZO靶材，本发明中通过在惰性气体下进行烧结，提高烧结过程的氧分压，减少氧气的释放，减少烧结过程中的损失。本发明中制备的分散剂属于纤维素类分散剂，由环氧季铵盐与半纤维素反应制备而成，该分散剂与氧化锌铝粉体之间相互作用，吸附在氧化锌铝粉体表面，增加其分散效果，配合烧结环境提高产品质量。配合烧结环境提高产品质量。


技术研发人员：唐安泰
受保护的技术使用者：株洲火炬安泰新材料有限公司
技术研发日：2022.05.11
技术公布日：2022/7/29