一种用于CVD工艺腔内载板定位的装置的制作方法

一种用于cvd工艺腔内载板定位的装置
技术领域
1.本实用新型属于太阳能电池生产技术领域，具体涉及一种用于cvd工艺腔内载板定位的装置。


背景技术：

2.cvd(chemical vapor deposition)是指化学气体或蒸汽通入反应腔室在基质表面发生反应进而生成沉积薄膜的一种技术。该技术一般要求基质在抵达工艺腔室内预定位置后，经过一定时间完成沉积薄膜。链式cvd设备为连续镀膜设备，在生产过程中，载板经上料平台从大气环境通过闸阀进入上料腔，对载板及硅片进行快速加热，然后依次进入预热腔、工艺腔、隔离腔等真空腔室。硅片在工艺腔内若要达到理想镀膜效果就要求载板停靠在理想位置，因为安装间隙的存在，载板不可避免会发生侧移。另外，由于载板位置或靠前或靠后，都会导致镀膜时基质所沉积的膜层不均。
3.为保证基质表面沉积薄膜的一致性，需要对载板进行定位。常规的定位方式有两种：一种为在载板目标位置利用直杆顶升往复运动来达到停止限位目的；一种为在载板抵达目标位置前传动装置提前减速并通过传输动轮顺时针或逆时针转动以微调的方式达到停靠在目标位置的目的。
4.目前对载板的定位方式中，直杆往复运动定位的方式会因材料高温热胀变形而无法正常工作，并且载板以一定速度在直杆前停止时因撞击会受到很强的冲击，这种冲击可能导致基片脱离载板；而依靠传动装置减速以及微调的方式无法保证载板目标位置一致并且还降低了生产效率。


技术实现要素：

5.本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种具有结构紧凑、操作简单、能够实现载板快速精准定位的用于cvd工艺腔内载板定位的装置。
6.为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
7.一种用于cvd工艺腔内载板定位的装置，包括：定位机构、传感器和传送机构，所述传送机构用于将载板传送至预设位置，所述传感器用于对载板的位置进行定位，所述定位机构设置在载板前进方向的两侧，并根据传感器反馈的位置信息做出动作，对载板的顶点进行定位，进而将载板限定在目标位置。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述传感器的数量与定位机构的数量相匹配；所述定位机构以四个为一组，且分别位于载板前进方向的四个顶点处，用于实现对载板的四个顶点进行定位。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述定位机构包括驱动组件、传动臂、转动组件和定位组件，所述传动臂的一端与驱动组件的输出端连接，传动臂的另一端与转动组件的一端连接，所述转动组件的另一端与定位组件连接；在驱动组件的驱动下，传动臂将转动组件和定位组件推动至预设位置，转动组件带动定位组件旋转，用于实现定位组件卡接在载板
的顶点处。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述转动组件包括磁流体密封组件和转轴，所述磁流体密封组件的一端与传动臂连接，磁流体密封组件的另一端与转轴的一端连接，所述转轴的另一端定位组件连接；所述磁流体密封组件带动转轴转动，进而实现定位组件旋转至卡接在载板的顶点处。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述定位组件包括摆臂和轮毂，所述摆臂的一端与转轴连接，所述摆臂的另一端设有轮毂，两个所述轮毂平行设置在摆臂端部，用于卡接载板的顶点。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述摆臂为异形杆或直杆。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述摆臂的制备材料为金属材料或高分子材料中的至少一种。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述摆臂上设有腰型孔，所述轮毂安装在腰型孔中。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述驱动组件为气缸或旋转电机。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述传送机构为滚轮传输装置。
17.与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
18.本实用新型的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，通过在载板前进方向的两侧均设置了定位机构和位置传感器，且定位机构与位置传感器一一对应配合，利用传感器对载板四个顶点进行定位，当检测到载板运动至预定位置时，定位机构从四周向中心摆动，对载板四个顶点进行夹紧定位，即实现了载板的快速精准定位，且有效防止了载板发生晃动，大大提高了电池片镀膜的稳定性和均匀性。进一步地，定位机构进行载板定位夹紧时，在驱动组件的驱动下，利用传动臂将磁流体密封组件、转轴、摆臂和轮毂推动至预设位置，磁流体密封组件带动转轴旋转，进而带动摆臂旋转，实现轮毂卡接在载板的顶点处；定位机构通过采用扭矩传递力与位移的方式有效降低了载板定位的节拍时间，提高了载板定位的速度，也就提高了电池片镀膜的工作效率；且磁流体密封组件能够很好地适应高温高压环境，有效提高了定位机构的工作稳定性，确保了电池片镀膜的可靠性。
附图说明
19.图1为本实用新型中载板进行定位前的结构原理示意图。
20.图2为本实用新型中定位机构的结构原理示意图。
21.图3为本实用新型中载板完成定位后的结构原理示意图。
22.图例说明：1、定位机构；11、驱动组件；12、传动臂；13、磁流体密封组件；14、转轴；15、摆臂；16、轮毂；2、传感器；3、传送机构；4、载板；5、格栅。
具体实施方式
23.以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述，但并不因此而限制本实用新型的保护范围。
24.实施例
25.如图1至图3所示，本实用新型的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，包括：定位机
构1、传感器2和传送机构3。传送机构3用于将载板4传送至预设位置，载板4为方形结构，且载板4上排列设有多个用于存放电池片的格栅5。本实施例，传送机构3为滚轮传输装置，具有结构简单、传送稳定的优点。可以理解，在其他实施例中，传送机构3也可以为其他种类的可以实现将载板4传送至预定位置的传输机构。传感器2设置在cvd工艺腔外侧，并且朝向载板4，用于对载板4的位置进行探测。当传感器2检测到载板4传送至预设位置后，传送机构3停止传输。定位机构1设置在载板4前进方向的两侧，并根据传感器2反馈的位置信息做出动作，对载板4的顶点进行定位，进而将载板4限定在目标位置。
26.进一步地，传感器2的数量与定位机构1的数量相匹配。定位机构1以四个为一组，且分别位于载板4前进方向的四个顶点处，用于实现对载板4的四个顶点进行定位。相应的，传感器2也是以四个为一组，并且两两分布在载板4前进方向的两侧，用于对载板4的四个顶点位置进行检测。当传感器2检测到载板4的四个顶点传输到预设位置时，定位机构1做出相应的动作，从四周向中心摆动，将载板4的四个顶点进行定位夹紧。
27.本实施例中，定位机构1设置在cvd工艺腔内侧板与载板4之间，设置在载板4相对两侧的定位机构的动作方向相反，即位于载板4一侧的定位机构1通过顺时针转动进行载板4顶点定位，位于载板4相对一侧的定位机构1则通过逆时针转动进行载板4顶点定位。
28.本实施例中，定位机构1包括驱动组件11、传动臂12、转动组件和定位组件。传动臂12的一端与驱动组件11的输出端连接，传动臂12的另一端与转动组件的一端连接，转动组件的另一端与定位组件连接。在驱动组件11的驱动下，传动臂12将转动组件和定位组件推动至预设位置，转动组件带动定位组件旋转，进而实现定位组件卡接在载板4的顶点处。进一步地，驱动组件11安装在cvd工艺腔外，驱动组件11可以为气缸，具有安装方便、驱动稳定的优点。可以理解，在其他实施例中，驱动组件11也可以采用旋转电机。可以理解，定位机构1中可以设置多个驱动组件11进行驱动，以提高工作效率。
29.本实施例中，转动组件包括磁流体密封组件13和转轴14，磁流体密封组件13安装在cvd工艺腔底部，磁流体密封组件13的一端与传动臂12连接，磁流体密封组件13的另一端与转轴14的一端连接，转轴14的另一端定位组件连接。磁流体密封组件13带动转轴14转动，进而实现定位组件旋转至卡接在载板4的顶点处。磁流体密封组件13具有磨损低、使用寿命长、高性能、高适应性等优点，能够很好地满足高温高压环境的使用需求，提高定位机构1的使用可靠性。通过转轴14进行顺时针或逆时针转动以传递力与位移，有效降低了载板4定位的工作节拍，提高生产效率，提高电池片镀膜的稳定性。
30.本实施例中，定位组件包括摆臂15和轮毂16。摆臂15的一端与转轴14连接，通过转轴14转动，以实现摆臂15摆动角度的调整，以提高载板4夹持的牢固性；摆臂15的另一端设有轮毂16。两个轮毂16平行设置在摆臂15端部，用于卡接载板4的顶点。进一步地，摆臂15上并排设有两个腰型孔，两个轮毂16分别安装在两个腰型孔中，进行定位时，载板4的顶点被卡接在两个轮毂16之间，避免载板4发生晃动或偏移。可以理解，定位机构1中可以设置多个摆臂15进行载板定位，以提高工作效率。
31.本实施例中，摆臂15为金属材料制备的直杆。可以理解，在其他实施例中，摆臂15也可以采用异形杆，摆臂15的制备材料也可以是高分子材料或者是高分子材料与金属材料两者的结合。
32.本实施例中，通过在载板4前进方向的两侧均设置了定位机构1和传感器2，且定位
机构1与传感器2一一对应配合，利用传感器2对载板4四个顶点进行定位，当检测到载板4运动至预定位置时，定位机构1从四周向中心摆动，对载板4四个顶点进行夹紧定位，即实现了载板4的快速精准定位，且有效防止了载板4发生晃动，大大提高了电池片镀膜的稳定性和均匀性。进一步地，定位机构1进行载板4定位夹紧时，在驱动组件11的驱动下，利用传动臂12将磁流体密封组件13、转轴14、摆臂15和轮毂16推动至预设位置，磁流体密封组件13带动转轴14旋转，进而带动摆臂15旋转，实现轮毂16卡接在载板的顶点处。定位机构1通过采用扭矩传递力与位移的方式有效降低了载板4定位的节拍时间，提高了载板4定位的速度和精度，也就提高了电池片镀膜的工作效率；且磁流体密封组件13能够很好地适应高温高压环境，有效提高了定位机构1的工作稳定性，确保了电池片镀膜的可靠性。
33.虽然本实用新型以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神实质和技术方案的情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。