一种用于CVD工艺腔内载板定位的装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，包括：定位机构(1)、传感器(2)和传送机构(3)，所述传送机构(3)用于将载板(4)传送至预设位置，所述传感器(2)用于对载板(4)的位置进行定位，所述定位机构(1)设置在载板(4)前进方向的两侧，并根据传感器(2)反馈的位置信息做出动作，对载板(4)的顶点进行定位，进而将载板(4)限定在目标位置。2.根据权利要求1所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述传感器(2)的数量与定位机构(1)的数量相匹配；所述定位机构(1)以四个为一组，且分别位于载板(4)前进方向的四个顶点处，用于实现对载板(4)的四个顶点进行定位。3.根据权利要求2所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述定位机构(1)包括驱动组件(11)、传动臂(12)、转动组件和定位组件，所述传动臂(12)的一端与驱动组件(11)的输出端连接，传动臂(12)的另一端与转动组件的一端连接，所述转动组件的另一端与定位组件连接；在驱动组件(11)的驱动下，传动臂(12)将转动组件和定位组件推动至预设位置，转动组件带动定位组件旋转，用于实现定位组件卡接在载板(4)的顶点处。4.根据权利要求3所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述转动组件包括磁流体密封组件(13)和转轴(14)，所述磁流体密封组件(13)的一端与传动臂(12)连接，磁流体密封组件(13)的另一端与转轴(14)的一端连接，所述转轴(14)的另一端定位组件连接；所述磁流体密封组件(13)带动转轴(14)转动，进而实现定位组件旋转至卡接在载板(4)的顶点处。5.根据权利要求4所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述定位组件包括摆臂(15)和轮毂(16)，所述摆臂(15)的一端与转轴(14)连接，所述摆臂(15)的另一端设有轮毂(16)，两个所述轮毂(16)平行设置在摆臂(15)端部，用于卡接载板(4)的顶点。6.根据权利要求5所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述摆臂(15)为异形杆或直杆。7.根据权利要求5所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述摆臂(15)的制备材料为金属材料或高分子材料中的至少一种。8.根据权利要求5所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述摆臂(15)上设有腰型孔，所述轮毂(16)安装在腰型孔中。9.根据权利要求3至8中任意一项所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述驱动组件(11)为气缸或旋转电机。10.根据权利要求1至8中任意一项所述的用于cvd工艺腔内载板定位的装置，其特征在于，所述传送机构(3)为滚轮传输装置。

技术总结
本实用新型公开了一种用于CVD工艺腔内载板定位的装置，包括：定位机构、传感器和传送机构，所述传送机构用于将载板传送至预设位置，所述传感器用于对载板的位置进行定位，所述定位机构设置在载板前进方向的两侧，并根据传感器反馈的位置信息做出动作，对载板的顶点进行定位，进而将载板限定在目标位置。本实用新型的用于CVD工艺腔内载板定位的装置具有结构紧凑、操作简单、定位精度高等优点，实现了载板的快速精准定位，提高了电池片镀膜的稳定性和均匀性。匀性。匀性。


技术研发人员：李运华 王随心 陈特超 曾武杨 陈臻阳
受保护的技术使用者：湖南红太阳光电科技有限公司
技术研发日：2021.12.23
技术公布日：2022/7/14