掩膜板、蒸镀方法以及显示面板与流程

1.本技术涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种掩膜板、蒸镀方法以及显示面板。


背景技术：

2.随着电子设备的快速发展，用户对显示面板的要求越来越高，并且显示面板的屏占比也越来越大。传统的电子设备如手机、平板电脑等，由于需要集成诸如前置摄像头、听筒以及红外感应元件等，往往在显示面板上设置开孔区，以使外界光线能够通过显示面板上的孔区进入位于屏幕下方的感光元件内。
3.然而，在显示面板的制作过程中，需要通过公共掩膜板进行膜层蒸镀，从而使得上述开孔区也容易被蒸镀上蒸镀材料，导致后续显示面板的封装失效。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供了一种掩膜板、蒸镀方法以及显示面板，能够降低第一连接部对蒸镀效果的影响。
5.第一方面，本技术实施例提供了一种掩膜板，用于在基板上蒸镀膜层，掩膜板具有第一蒸镀状态和张网状态，掩膜板包括边框部、蒸镀开口、遮挡部以及第一连接部。边框部围绕蒸镀开口设置，遮挡部位于蒸镀开口内；第一连接部可转动地连接于边框部和遮挡部之间，第一连接部包括相交设置的第一侧面和第二侧面；
6.在第一蒸镀状态下，第一侧面位于第一连接部沿掩膜板的厚度方向的一侧，且第一侧面在基板上具有第一正投影；在张网状态下，第二侧面位于第一连接部沿厚度方向的一侧，且第二侧面在基板上具有第二正投影，第二正投影的面积大于第一正投影的面积。
7.在一些实施例中，第一连接部上还设置有贯穿第一连接部的第一通孔。
8.在一些实施例中，在第一蒸镀状态下，第一通孔沿厚度方向贯穿第一连接部。
9.在一些实施例中，第一通孔的数量为多个，多个第一通孔沿第一连接部的延伸方向并排设置。
10.在一些实施例中，第一连接部的数量为多个，多个第一连接部连接于遮挡部和边框部之间。
11.在一些实施例中，边框部包括相交设置的第一框条和第二框条，多个第一连接部间隔分布在遮挡部的外周侧，并与第一框条或第二框条连接。
12.在一些实施例中，第一连接部沿厚度方向位于遮挡部背离基板的一侧，掩膜板还包括沿厚度方向延伸成型，并连接第一连接部和遮挡部的第二连接部，遮挡部通过第二连接部与第一连接部转动连接。
13.在一些实施例中，第一连接部还包括与第一侧面相对的第三侧面，在第一蒸镀状态下，第三侧面位于第一侧面背离基板的一侧，且第三侧面在基板上具有第三正投影，第三正投影的面积大于第一正投影的面积。
14.在一些实施例中，第一正投影位于第三正投影之内。
15.在一些实施例中，第一连接部在自身延伸方向上可伸缩设置，以带动遮挡部靠近或远离边框部；
16.掩膜板还包括第二蒸镀状态，第一连接部在第二蒸镀状态下的延伸长度小于在第一蒸镀状态下的延伸长度，且在第二蒸镀状态下的遮挡部在基板的正投影面积，小于第一蒸镀状态下的遮挡部在基板的正投影面积。
17.第二方面，本技术实施例提供了一种蒸镀方法，利用前述实施方式的掩膜板蒸镀，蒸镀方法包括：
18.将张网状态下的掩膜板设置于基板的一侧；
19.转动第一连接部，以减小第一连接部在基板上的正投影面积，使得掩膜板由张网状态转变为第一蒸镀状态；
20.利用第一蒸镀状态下的掩膜板在基板上形成第一蒸镀层。
21.在一些实施例中，蒸镀方法还包括：
22.收缩第一连接部，以减小第一连接部的延伸长度；
23.转动遮挡部，以减小遮挡部在基板上的正投影面积，使得掩膜板由第一蒸镀状态转变为第二蒸镀状态；
24.利用第二蒸镀状态下的掩膜板在基板上形成第二蒸镀层，第二蒸镀层位于第一蒸镀层背离基板的一侧。
25.第三方面，本技术实施例提供了一种显示面板，包括前述任一实施方式的蒸镀方法制备形成的功能层。
26.本技术实施例提供一种掩膜板、蒸镀方法以及显示面板，通过将第一连接部设置为与边框部和遮挡部转动连接，从而减小第一连接部对蒸镀效果的影响，一定程度上提高了显示面板的显示效果。同时还可以确保张网状态下遮挡部与边框部之间的可靠连接，提高掩膜板整体可靠性。
附图说明
27.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1是本技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图；
29.图2是本技术实施例提供的一种掩膜板在张网状态下的结构示意图；
30.图3是本技术实施例提供的一种掩膜板在第一蒸镀状态下的结构示意图；
31.图4是本技术实施例提供的又一种掩膜板在第一蒸镀状态下的结构示意图；
32.图5是本技术实施例提供的还一种掩膜板在第一蒸镀状态下的结构示意图；
33.图6是本技术实施例提供的还一种掩膜板在第一蒸镀状态下的侧视结构示意图；
34.图7是图6中a-a的剖面结构示意图；
35.图8是本技术实施例提供的还一种掩膜板在第二蒸镀状态下的结构示意图；
36.图9是本技术实施例提供的一种蒸镀方法的流程图；
37.图10是本技术实施例提供的又一种蒸镀方法的流程图。
38.标记说明：
39.1、边框部；11、第一框条；12、第二框条；
40.2、遮挡部；
41.3、第一连接部；31、第一侧面；32、第二侧面；33、第一通孔；34、第三侧面；
42.4、基板；
43.5、第二连接部；
44.6、第三连接部；
45.aa、显示区；hl、透光区。
具体实施方式
46.下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本技术进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本技术，而不是限定本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术更好的理解。
47.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
48.随着显示面板的发展，需要将越来越多的感光器件集成到显示面板中，例如在显示面板中形成有透光孔，并将摄像头等感光元件设置于透光孔中。透光孔通常设置于显示面板的显示区内，外界光线通过透光孔传播至感光元件中，以实现感光功能。
49.目前在显示面板制备过程中，通常采用掩膜板来对显示面板进行蒸镀处理，从而形成对应的功能膜层。而对应于透光孔位置处，往往需要设置遮挡片来避免在透光孔处形成膜层结构。可以理解的是，遮挡片与掩膜板的边框之间需要设置有连接部来实现两者的连接，但是连接部的存在会影响对应位置处的蒸镀效果。
50.为了解决上述问题，请参阅图1至图3，本技术实施例提供了一种掩膜板，用于在基板4上蒸镀膜层，掩膜板具有第一蒸镀状态和张网状态。掩膜板包括边框部1、蒸镀开口、遮挡部2以及第一连接部3，边框部1围绕掩膜板的蒸镀开口设置，遮挡部2位于蒸镀开口内。第一连接部3可转动地连接于边框部1和遮挡部2之间，第一连接部3包括相交设置的第一侧面31和第二侧面32。
51.在第一蒸镀状态下，第一侧面31位于第一连接部沿掩膜板的厚度方向3的一侧，且第一侧面31在基板4上具有第一正投影。在张网状态下，第二侧面32位于第一连接部3沿厚度方向的一侧，且第二侧面32在基板4上具有第二正投影，第二正投影的面积大于第一正投影的面积。
52.掩膜板用于在基板4上蒸镀形成对应的膜层，并最终制备形成显示面板。掩膜板包括张网状态和第一蒸镀状态，掩膜板在使用时通常需要搭配框架组件共同使用，框架组件
主要用于支撑掩膜板。其中，掩膜板的张网状态为本技术实施例提供的掩膜板安装在框架组件时的状态，而第一蒸镀状态则为使用本技术实施例提供的掩膜板对基板4进行蒸镀时的状态。
53.掩膜板包括边框部1、蒸镀开口、遮挡部2以及第一连接部3，遮挡部2对应于显示面板中的透光区hl，即显示面板中用于集成摄像头等感光元件的区域。遮挡部2的尺寸形状取决于显示面板中透光区hl的尺寸形状。示例性地，透光区hl与遮挡部2的形状可以为圆形、方形或者不规则形状等，本技术实施例对此不作限制。
54.掩膜板包括沿厚度方向贯穿的蒸镀开口，同时基板4沿厚度方向位于掩膜板的一侧，以使蒸镀材料能够通过蒸镀开口到达基板4位置处。遮挡部2位于蒸镀开口内并通过第一连接部3实现与边框部1的连接。同时第一连接部3在自身延伸方向上具有第一端和第二端，第一端能够与遮挡部2转动连接，第二端能够与边框部1转动连接，本技术实施例在掩膜板不同状态下通过转动第一连接部3实现第一连接部在基板上正投影面积的转换。
55.具体地说，第一连接部3包括相交设置的第一侧面31和第二侧面32，第一侧面31和第二侧面32分别为第一连接部3的两个外表面，并且第一侧面31和第二侧面32可以连接设置。由于第一连接部3能够相对边框部1和遮挡部2转动，因此第一侧面31与第二侧面32的位置能够实现改变。从而在第一蒸镀状态下，第一侧面31位于连接部沿厚度方向的一侧；在张网状态下，第二侧面32位于连接部沿厚度方向的一侧。其中，第一蒸镀状态下的第一侧面31可以位于第一连接部远离基板4的一侧，也可以位于第一连接部靠近基板4的一侧，本技术实施例对此不作限制，并且张网状态下的第二侧面32同理。
56.在第一蒸镀状态下，第一侧面31在基板4上能够形成第一正投影；在张网状态下，第二侧面32在基板4上能够形成第二正投影。第一正投影的面积大小与第一连接部3对于蒸镀效果的影响呈正相关，即第一正投影的面积越大，对于蒸镀效果的影响也越大，从而导致对显示面板中显示区域aa的显示效果变差。
57.因此本技术实施例将第一侧面31的尺寸减小，使得第二正投影的面积大于第一正投影的面积，从而降低第一连接部3的存在对于蒸镀效果的影响。可选地，第一正投影位于第二正投影的外轮廓内。
58.进一步地，蒸镀部通常为薄片结构，因此在张网状态下，第二侧面32与遮挡部2相当于共面设置，而由于第二侧面32的尺寸相对较大，因此第一连接部3可以在张网状态下实现遮挡部2与边框部1之间的可靠连接，提高掩膜板整体可靠性。
59.本技术实施例通过将第一连接部3设置为与边框部1和遮挡部2转动连接，从而减小第一连接部3对蒸镀效果的影响，一定程度上提高了显示面板的显示效果。同时还可以确保张网状态下遮挡部2与边框部1之间的可靠连接，提高掩膜板整体可靠性。
60.需要说明的是，本技术实施例提供的掩膜板可以用于形成不同的膜层，其中膜层包括但不限于空穴注入层、空穴传输层、电子传输层、电子注入层以及阴极层等共通层，本技术实施例对此不作限定。
61.在一些实施例中，请参阅图4，第一连接部3上还设置有贯穿第一连接部3的第一通孔33。
62.第一通孔33贯穿第一连接部3，第一连接部3除第一侧面31和第二侧面32外，还可以包括有多个侧面，因此对于第一通孔33具体位于哪个侧面上，本技术实施例不作限制。在
本技术实施例中，部分蒸镀材料能够通过第一通孔33到达基板，从而进一步降低第一连接件对蒸镀效果的影响。
63.在一些实施例中，在第一蒸镀状态下，第一通孔33沿厚度方向贯穿第一连接部3。由于第一通孔33在第一蒸镀状态下贯穿第一连接部3，因此在第一通孔33对应基板的位置处可以进行蒸镀。可选地，第一通孔33设置于第一侧面31上。
64.在一些实施例中，如图4所示，第一通孔33的数量为多个，多个第一通孔33沿第一连接部3的延伸方向并排设置。
65.由前述内容可知，第一连接部3在自身延伸方向上具有第一端和第二端，第一端能够与遮挡部2转动连接，第二端能够与边框部1转动连接，其中第一端与第二端的连线方向即为第一连接部3的延伸方向。在本技术实施例中，第一通孔33设置有多个，多个第一通孔33在第一连接部3的延伸方向并排设置，这样可以进一步降低第一连接部3对蒸镀效果的影响，提高显示面板的显示效果。
66.在一些实施例中，请参阅图5，第一连接部3的数量为多个，多个第一连接部3连接于遮挡部2和边框部1之间。
67.第一连接部3主要用于连接遮挡部2和边框部1，本技术实施例对第一连接部3的结构进行了改进，降低了第一连接部3对蒸镀效果的影响。在此基础上，本技术实施例还可以将第一连接部3设置有多个，多个第一连接部3均用于连接遮挡部2和边框部1，从而能够提高边框部1和遮挡部2的连接可靠性。
68.在一些实施例中，如图5所示，边框部1包括相交设置的第一框条11和第二框条12，多个第一连接部3间隔分布在遮挡部2的外周侧，并与第一框条11或第二框条12连接。
69.边框部1包括第一框条11和第二框条12，第一框条11和第二框条12的数量均为两个，两个第一框条11沿第二框条12的延伸方向并排设置，两个第二框条12沿第一框条11的延伸方向并排设置，同时两个第一框条11和两个第二框条12包围蒸镀开口设置。
70.多个第一连接部3在遮挡部2的外周侧间隔排布，并且与距离较近的第一框条11或第二框条12连接。第一连接部3在遮挡部2的具体排布方式需要根据遮挡部2的具体结构决定，示例性地，若遮挡部2为多边形结构，则多个第一连接部3可以分别设置于遮挡部2的不同边上；若遮挡部2为圆形结构，则多个第一连接部3可以以相同的角度均匀排布在遮挡部2的外周。
71.在一些实施例中，请参阅图6，第一连接部3沿厚度方向位于遮挡部2背离基板4的一侧，掩膜板还包括沿厚度方向延伸成型，并连接第一连接部3和遮挡部2的第二连接部5，遮挡部2通过第二连接部5与第一连接部3转动连接。其中，在图6中遮挡部2以虚线的形式示出。
72.在厚度方向上，第一连接部3与遮挡部2交错分布，第一连接部3位于遮挡部2远离基板4的一侧。在蒸镀过程中，第一连接部3与基板4之间能够存在一定的空间，以供蒸镀材料的进入，因此在基板4对应于第一连接部3的位置处同样可以进行蒸镀，从而能够进一步降低第一连接部3对蒸镀效果的影响。
73.第一连接部3与遮挡部2之间通过第二连接部5实现连接，第二连接部5沿厚度方向延伸，并与第一连接部3转动连接。第二连接部5可以与遮挡部2固定连接，并且两者可以一体式形成。
74.此外，边框部1可以与遮挡部2位于厚度方向上的相同位置，也可以与第一连接部3位于厚度方向上的相同位置，本技术实施例对此不作限制。需要说明的是，如图6所示，当边框部1与遮挡部2位于厚度方向上的相同位置时，边框部1与第一连接部3之间可以设置有第三连接部6实现连接，第三连接部6与第一连接部3转动连接。
75.在一些实施例中，请参阅图6和图7，第一连接部3还包括与第一侧面31相对的第三侧面34，在第一蒸镀状态下，第三侧面34位于第一侧面31背离基板的一侧，且第三侧面34在基板上具有第三正投影，第三正投影的面积大于第一正投影的面积。
76.在第一蒸镀状态下，第一侧面31位于靠近基板的一侧，而第三侧面34位于靠近蒸镀源的一侧。由于第三侧面34对应的第三正投影与第一侧面31对应的第一正投影的面积并不相同，因此连接部的截面可以采用类似梯形等形状，此时第二侧面32与第一侧面31之间夹角为钝角，第二侧面32与第三侧面34之间的夹角为锐角。
77.在蒸镀过程中，蒸镀材料可以顺着第二侧面32倾斜移动并到达基板上，这样可以进一步增大基板上的可蒸镀面积，从而降低第一连接部3对蒸镀效果的影响。同时由于第三侧面34尺寸较大，因此还可以提高第一连接件与遮挡部2之间的连接可靠性。
78.在一些实施例中，请参阅图1、图3和图8，第一连接部3在自身延伸方向上可伸缩设置，以带动遮挡部2靠近或远离边框部1。掩膜板还包括第二蒸镀状态，第一连接部3在第二蒸镀状态下的延伸长度小于在第一蒸镀状态下的延伸长度，且在第二蒸镀状态下的遮挡部2在基板4的正投影，小于第一蒸镀状态下的遮挡部2在基板4的正投影面积。
79.本技术实施例的蒸镀过程分为两步，分别利用第一蒸镀状态和第二蒸镀状态下的掩膜板进行蒸镀。第一蒸镀状态下的掩膜板用于形成第一蒸镀层，第二蒸镀状态下的掩膜板用于形成第二蒸镀层，第一蒸镀层和第二蒸镀层层叠形成所需的膜层结构。其中，对于第一蒸镀状态下的掩膜板，本技术实施例不再赘述。
80.第一连接部3自身可伸缩设置，掩膜板在由第一蒸镀状态转换为第二蒸镀状态的过程中，第一连接部3先带动遮挡部2移动，并令遮挡部2移动至边框部1附近，此时第一连接部3延伸长度较小，因此第一连接部3对于后续蒸镀过程的影响较小。
81.然后转动遮挡部2使得遮挡部2的侧面与蒸镀源相对设置，由前述内容可知，由于遮挡部2为类似薄片的设计，因此遮挡部2侧面尺寸较小，即第二蒸镀状态下的遮挡部2在基板的正投影，远小于第一蒸镀状态下的遮挡部2在基板的正投影面积。在第二蒸镀状态下，遮挡部2的存在对于蒸镀效果几乎没有影响。
82.需要说明的是，掩膜板在由第一蒸镀状态装换为第二蒸镀状态的过程中，第一连接部3仅在自身延伸方向上发生收缩，不相对边框部1产生转动。而遮挡部2则会相对第一连接部3产生转动，使得自身在基板上的正投影面积减小。
83.综上，第二蒸镀状态下的第一连接部3与遮挡部2对于蒸镀过程几乎不存在影响，因此使用第二蒸镀状态下的掩膜板可以同时在显示面板的显示区aa以及透光区hl同时实现蒸镀，即第二蒸镀层同时覆盖显示面板的显示区aa以及透光区hl。
84.由第一蒸镀状态的掩膜板形成的第一蒸镀层在透光区hl内存在通孔，因此由第一蒸镀层和第二蒸镀层共同形成的膜层在透光区hl的透光率会大于显示区aa的透光率，从而能够实现透光区hl的感光功能，同时由于第二蒸镀层的存在，显示面板还可以实现透光区hl的显示功能。这种设计适用于全面屏，即需要在透光区hl同时实现显示以及感光功能的
显示面板。可选地，第一蒸镀层的厚度大于第二蒸镀层的厚度。
85.本技术实施例仅需单一掩膜板便可蒸镀出第一蒸镀层和第二蒸镀层两种膜层结构，因此采用本技术实施例提供的掩膜板所蒸镀出的膜层能够在透光区hl同时实现感光与显示功能，适用于全面屏等显示面板，并且能够降低成本。
86.第二方面，请参阅图9，本技术实施例提供了一种蒸镀方法，利用前述实施方式的掩膜板蒸镀，蒸镀方法包括：
87.s100：将张网状态下的掩膜板设置于基板一侧。
88.在步骤s100中，在使用掩膜板蒸镀之前，需要先对掩膜板进行张网处理，以使掩膜板与框架组件配合安装。框架组件主要用于对掩膜板起到支撑作用。
89.s110：转动第一连接部，以减小第一连接部在基板上的正投影面积，使得掩膜板由张网状态转变为第一蒸镀状态。
90.在步骤s110中，第一连接部分别与遮挡部以及边框部转动连接，在使用掩膜板进行蒸镀时，需要转动第一连接部，使得第一连接部在基板上的正投影面积变小，从而减少第一连接部对蒸镀效果的影响。
91.s120：利用第一蒸镀状态下的掩膜板在基板上形成第一蒸镀层。
92.在步骤s120中，由第一蒸镀状态下的掩膜板所形成的第一蒸镀层，由于遮挡部的存在，会在显示面板的透光区内形成通孔。而由于本技术实施例对于第一连接部的改进，使得第一蒸镀层在第一连接部对应位置处的膜层厚度基本与显示区中其他位置处的膜层厚度基本一致，从而能够在一定程度上提高显示面板的显示效果。
93.在一些实施例中，请参阅图10，蒸镀方法还包括：
94.s130：收缩第一连接部，以减小第一连接部的延伸长度。
95.在步骤s130中，首先减小第一连接部的延伸长度，从而在后续蒸镀过程中，能够进一步降低第一连接部对于蒸镀效果的影响。
96.s140：转动遮挡部，以减小遮挡部在基板上的正投影面积，使得掩膜板由第一蒸镀状态转变为第二蒸镀状态。
97.在步骤s140中，由于遮挡部为类似薄片的设计，因此遮挡部侧面尺寸较小。通过转动遮挡部，从而在后续蒸镀过程中，能够降低遮挡部对蒸镀效果的影响。
98.s150：利用第二蒸镀状态下的掩膜板在基板上形成第二蒸镀层，第二蒸镀层位于第一蒸镀层背离基板的一侧。
99.在步骤s150中，使用第二蒸镀状态下的掩膜板可以同时在显示面板的显示区以及透光区同时实现蒸镀，即第二蒸镀层同时覆盖显示面板的显示区以及透光区。而由第一蒸镀层和第二蒸镀层共同形成的膜层可以同时满足透光区的显示以及感光功能，适用于全面屏显示面板。
100.第三方面，请参阅图1，本技术实施例提供了一种显示面板，包括前述任一实施方式的蒸镀方法制备形成的功能层。
101.需要说明的是，本技术实施例中提到的功能层可以仅包括第一蒸镀层，也可以同时包括第一蒸镀层和第二蒸镀层，具体情况需要根据显示面板实际需要决定，本技术实施例对此不作限制。
102.虽然本技术所公开的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本技术而采
用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本技术所属技术领域内的技术人员，在不脱离本技术所公开的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本技术的保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
103.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的其他连接方式的替换等，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。应理解，本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本技术的保护范围之内。