电声装置

1.本发明涉及用于产生在载体中传播的超声表面波的装置以及实施该装置以熔化位于载体上的物体和/或使载体上的处于液态的物体移位的方法。


背景技术：

2.在各种领域中，需要克服与液体在表面上的积聚有关的影响，以及当环境温度和/或表面的温度低于液体的凝固温度时与这种液体的凝固有关的影响。
3.为了消除积聚在表面上的液滴，众所周知的做法是对液滴施加机械力，例如通过机动车辆挡风玻璃上的挡风玻璃雨刷来施加机械力。然而，挡风玻璃雨刷限制了驾驶员可看到的视野。此外，它还会使沉积在挡风玻璃表面上的含脂肪颗粒扩散。此外，挡风玻璃雨刷的叶片必须定期更换。
4.此外，现代机动车辆通常包括一个或多个驾驶员辅助系统，其实施多个传感器，例如光学传感器(例如用于评估车辆与物体之间的距离的激光雷达)或探头(例如皮托管探头)。现在，不能轻易地对液滴施加机械力来清洁这种传感器的表面，因为缺乏可用于合适的机械装置的空间，这也可能损坏表面。
5.例如，在机动车辆领域，在冬季条件下，需要对车辆的后视镜的镜子、挡风玻璃或后窗进行除霜，以确保安全驾驶。一种已知的除霜技术在于将热空气吹到挡风玻璃的与上面沉积了霜层和/或冰层的表面相对的表面上。然而，这种技术所需的除霜时间特别长。为了给后窗除霜，已知的做法是在后窗中按质量或按体积布置金属丝，该金属丝遵循由均匀间隔开的线形成的路径。丝中的电流循环通过焦耳效应产生热量，导致丝附近的霜层和/或冰层熔化成水膜的形式，然后水膜蒸发。然而，这种丝限制了车辆驾驶员可看到的后方视野。此外，霜层和/或冰层通常包括在水膜蒸发后仍与载体接触的颗粒。于是需要经常对后窗进行清洁，而这被证明是乏味的。此外，霜和/或冰的形成也会干扰嵌入在驾驶系统中的传感器的操作。
6.此外，在使用时，这种传感器的表面也可能受到外部元素(例如昆虫、灰尘颗粒、泥土)的碰撞，其速度与它们所在的车辆的速度相近。因此，用于这种表面的清洁装置必须足够稳固以承受这种环境。


技术实现要素：

7.因此，需要一种解决这些缺点的装置。
8.根据第一方面，本发明提出一种电声装置，包括：
[0009]-超声波换能器，所述超声波换能器包括压电衬底以及与所述压电衬底接触的第一电极和第二电极，以及
[0010]-载体，
[0011]
所述换能器固定在所述载体上并与所述载体声波耦合，并且所述第一电极和所述第二电极至少部分地夹在所述压电衬底与所述载体之间，
[0012]
所述装置被配置为当电流通过所述第一电极和所述第二电极时产生超声表面波，所述超声表面波在与所述换能器相距一定距离的所述载体中传播。
[0013]
根据本发明的装置是稳固的。由于第一电极和第二电极受到载体和压电衬底的保护，因此限制了其劣化，例如当将换能器放置成与如上所述的外部元素接触时。
[0014]
此外，如将在下文中更清楚地显现的，根据本发明的装置可以有利地实施以清洁被物体(例如液体)覆盖的表面。
[0015]
优选地，换能器被配置为产生导波，该导波转换成在与换能器相距一定距离的载体中的超声表面波。超声“导”波在载体和换能器两者中传播到衬底和载体的彼此面对的相应表面。在下文将描述的所述装置包括位于载体和换能器之间的中间层的变型中，导波也可以在中间层中传播。超声波导波尤其可以是斯通利(stoneley)波。
[0016]
优选地，第一电极和第二电极布置在压电衬底上。优选地，第一电极和第二电极与压电衬底接触。
[0017]
优选地，第一电极和第二电极与载体接触或与布置在载体上的优选由胶水形成的中间层接触。因此促进了超声表面波的产生。中间层的厚度优选小于超声导波的基波波长。特别地，中间层的厚度可以小于导波的所述基波波长的十分之一，以限制通过中间层的传输损耗。
[0018]
所述装置可以被配置为使得超声导波的基频介于0.1mhz和1000mhz之间，优选地介于10mhz和100mhz之间，例如等于40mhz。
[0019]
优选地，压电衬底的厚度大于超声导波的基波波长。因此防止了超声导波到达与涂覆有第一电极和第二电极的表面相对的表面。有利地，附加构件，例如下文所述的保护构件，可以布置在所述相对的表面上，而导波不能到达该构件。
[0020]
第一电极和第二电极各自的一部分可以从载体突出。第一电极和第二电极各自的从载体突出的部分可以限定电源连接器。该电源连接器可以配置为电连接到发电机。
[0021]
此外，根据第二方面，本发明提出一种声学装置，包括：
[0022]-超声波换能器，所述超声波换能器包括压电衬底以及与压电衬底接触的第一电极和第二电极，以及
[0023]-载体，
[0024]
所述换能器固定在所述载体上并与所述载体声波耦合，
[0025]
所述换能器从所述载体的边缘突出，所述第一电极和所述第二电极涂覆在所述压电衬底的与所述载体相对的表面上并且布置在所述压电衬底的不叠置在所述载体上的部分上，
[0026]
所述装置被配置为当电流通过所述第一电极和所述第二电极时产生在距所述换能器一定距离的所述载体中传播的超声表面波。
[0027]
因此可以通过压电衬底保护第一电极和第二电极免受外部元素的影响，这限制了其劣化。此外，由于电极布置为从衬底的边缘突出，因此减小了被换能器所涂覆的载体的面积。
[0028]
此外，第一电极和第二电极的特定布置使得可以减少在产生超声波期间装置的加热。特别地，由于电极没有布置在载体上，因此通过传导由电极产生的热量来加热载体受到限制。
[0029]
此外，在通过聚合物粘合剂将换能器粘合到载体上的变型中，降低了换能器和载体之间分离的风险，这种分离可能由于粘合剂吸收的超声波能量的一部分的转换引起对粘合剂的过度加热而导致。
[0030]
优选地，换能器被配置为当电流通过第一电极和第二电极时产生在衬底中传播的超声初波，并且该超声初波转换成在距换能器一定距离的载体中传播的超声表面波。
[0031]
根据本发明的任一方面的所述装置还可以具有以下可选特征中的任一者。
[0032]
换能器可以不同方式固定在载体上。它可以粘合在载体上，尤其是通过聚合物粘合剂粘合在载体上。粘合剂可以通过紫外辐射的照射而交联。粘合剂例如是环氧树脂。换能器可以通过分子粘附或通过薄金属层来固定，以确保载体和衬底之间的粘附。该层也可以由金属或具有低熔点、即具有低于200℃的熔点的合金制成，例如由铟合金制成。作为变型，该金属层可以由金属或熔点高于200℃的合金制成，例如由铝合金和/或金合金制成。
[0033]
通过分子粘附来固定的示例在j.xu等人发表在应用表面科学(applied surface science)459(2018)621
–
629的“glass-on-linbo3 heterostructure formed via a two-step plasma activated low-temperature direct bonding method”，doi：10.1016/j.apsusc.2018.08.031中进行了描述。根据另一变型，换能器可以通过如下方法固定到载体上，该方法包括如下步骤：熔化衬底的一部分和/或载体的一部分，然后将衬底和载体压紧在一起，载体和衬底的相应熔化部分彼此接触。根据另一变型，换能器可以通过以下方法固定到载体上，该方法包括分别在衬底的一部分和载体的一部分上沉积由具有低熔点的合金制成的粘结涂层，至少部分熔化所述粘结涂层，然后将衬底与载体压紧，在压紧期间使与载体和衬底相对的粘结涂层的表面彼此接触。可以通过阴极溅射或通过在薄膜沉积领域中实施的蒸发技术来沉积粘结涂层。优选地，衬底粘合到载体上。衬底的与载体相对的表面优选地通过由胶水形成的中间层粘合到载体上，该中间层还将换能器声波耦合到载体。优选地，胶水层的厚度小于超声初波的波长，以便超声初波能够有效地从换能器传输到载体，也就是说通过限制胶水层中的损耗而使超声初波能够有效地从换能器传输到载体。
[0034]
根据本发明的任一方面的所述装置可以具有以下特征之一。
[0035]
所述装置可以被配置为使得超声表面波的基频介于0.1mhz和1000mhz之间，优选地介于10mhz和100mhz之间，例如等于40mhz。
[0036]
超声表面波可以是瑞利(rayleigh)波或兰姆(lamb)波。特别是，当载体的厚度大于超声表面波的波长时，超声表面波可以是瑞利波。瑞利波是优选的，因为瑞利波的最大比例的能量集中在其传播的载体的表面上，并且可以被传输到与载体接触的物体。
[0037]
所述装置可以被配置为使超声表面波的波幅介于1皮米和500纳米之间。波幅可以取决于基波的频率。尤其是，频率越高，波幅可以越低。超声表面波的波幅对应于超声表面波在其上传播的载体的表面的法向位移，并且可以通过激光干涉法来测量。
[0038]
载体可以由能够传播超声表面波的任何材料制成。可以选择载体，使载体中表面波的衰减长度大于要使声穿透的区域。
[0039]
载体可以是自支撑的，因为它可以变形，尤其是弹性变形，而不会因自身重量而断裂。
[0040]
纵向表面波在其上传播的载体的表面可以是平坦的。该表面也可以是弯曲的，假设该表面的曲率半径大于超声表面波的波长。
[0041]
该表面可以是粗糙的。优选地，粗糙度小于超声表面波的基波波长，以防止粗糙度显著影响超声表面波的传播。
[0042]
载体尤其可以采取平板或弯曲板的形式。载体的厚度可以小于0.01m。载体的长度可以大于1mm，甚至大于1cm，甚至大于1m。
[0043]
该板的表面的面积可以介于0.01m2和10m2之间。
[0044]“载体的厚度”被认为是在与超声波在其上传播的表面成直角的方向上测量的载体的最小尺寸。
[0045]
载体可以是光学透明的，尤其是对于可见光、或者紫外线或红外线辐射是光学透明的。因此，所述方法特别适合于寻求提高用户通过载体观察他或她的环境的视觉舒适度的应用。
[0046]
载体可由选自压电材料、聚合物(特别是热塑性塑料，尤其是聚碳酸酯)、玻璃、金属和陶瓷的材料制成。
[0047]
优选地，载体由压电材料以外的材料制成。
[0048]
优选地，载体选自由以下构成的组：
[0049]-机动车辆表面，所述机动车辆表面例如选自车辆的挡风玻璃、后视镜的玻璃，或
[0050]-头盔的面罩，
[0051]-建筑物的窗户，
[0052]-传感器，例如光学传感器、热传感器、声学传感器、或者压力传感器或速度传感器，尤其是探头，例如皮托管探头，
[0053]-光学装置的表面，该光学装置例如选自照相机的镜头、眼镜镜片，和
[0054]-这种传感器的保护元件。
[0055]
可以设想其他类型的载体。尤其是，载体可以是芯片实验室的衬底，尤其是用于微流体应用的衬底。
[0056]
载体可以是飞行器的结构元件，例如机翼、机身或尾翼。
[0057]
载体优选是薄的。载体长度与载体厚度之比可以大于10，甚至大于100，甚至大于1000。
[0058]
载体也可以选自热交换器的元件、管道装置、和通风系统的元件。这样的介质通常具有难以接近以消除例如通过凝结而沉积在其上并且可以凝固的液滴的表面。
[0059]
载体可以是食物储存元件，例如冰箱的内壁、或暴露于可凝固的液体的凝结物的壁。例如，在冰箱中，水滴在壁上的凝结和凝固增加了壁与冰箱冷空气量之间的热交换，从而降低了其效率。
[0060]
换能器所覆盖的载体的面积与换能器所固定到的载体的表面的面积之比可以小于15％。
[0061]
换能器优选是薄的。换能器长度与换能器厚度之比可以大于10，甚至大于100，甚至大于1000。
[0062]
换能器可以采用平板或弯曲板的形式。
[0063]
换能器的厚度可以在10皮米和1微米之间。换能器可以具有优选地介于1毫米和20厘米之间的长度和/或宽度。
[0064]
优选地，第一电极和第二电极形成叉指型的第一梳状件和第二梳状件
[0065]
第一梳状件和第二梳状件可以优选地包括一排指状物从其延伸的基部，这些指状物优选地彼此平行。指状物的宽度可以介于超声波的基波波长除以8和超声波的基波波长除以2之间。指状物的宽度部分地决定了超声表面波的基频。此外，较小的指状物宽度会增加换能器的电阻，这可以通过有助于熔化与载体接触的物体或保持物体处于液态的加热来反映。
[0066]
此外，第一梳状件和第二梳状件各自的一排的两个连续相邻的指状物之间的间距可以介于超声波的基波波长除以8和超声波的基波波长除以2之间。
[0067]
可以增加叉指型指状物的数量以提高换能器的质量因数。
[0068]
每个梳状件优选地包括2至50个指状物。
[0069]
衬底可以是例如通过化学气相沉积或通过物理气相沉积而沉积在载体上的薄层。作为变型，衬底可以是自支撑的，也就是说，其刚性足以在其自身重量的作用下不会弯曲。可以将自支撑的衬底固定(例如粘合)到载体上。
[0070]
压电材料可以选自由铌酸锂、氮化铝、锆钛酸铅、氧化锌及其混合物构成的组。压电材料对可见光可以是不透明的。
[0071]
在一变型中，载体由压电材料形成并且换能器包括载体。第一梳状件和第二梳状件优选地布置为与载体接触。
[0072]
在另一变型中，载体由压电材料以外的材料制成，并且电极布置在中间衬底上。
[0073]
第一电极和第二电极可以通过光刻沉积在载体和/或衬底上。
[0074]
物体可以位于与换能器相距一定距离的载体的表面上。
[0075]
物体的距换能器最远的部分的最大距离可以为1米。
[0076]
载体的温度可以低于0℃，甚至低于-10℃，并且物体可以是含水的。
[0077]
物体可以与换能器所固定到的载体表面接触，或在与换能器所固定到的载体表面相对的表面上。一物体可以与换能器所固定到的载体表面接触，并且另一物体可以与上述物体所在的表面接触。
[0078]
物体可以包括处于固态的部分和处于液态的部分。例如，物体可以是水，并且由霜、冰或雪部分、和分别与霜、冰或雪部分接触的液体部分形成。
[0079]
处于液态的物体可以采取至少一个液滴或至少一层膜的形式。“膜”被理解为是指形成在载体上的薄膜。膜可以是连续的或不连续的。
[0080]
物体可以是含水的。特别是，物体可以是雨水或露水。雨水和/或露水尤其可以包含颗粒。露水在载体表面上形成雾(sludge)。它是由于在特定的压力和温度条件下，空气中所含的水蒸气形式的水在载体上凝结而产生的。物体可以在凝固在载体上之前通过凝结而沉积。
[0081]
处于固态的物体可以从霜、冰和雪中选择。处于液态的物体可以是片状物或至少一个液滴，例如雾。“霜”是由水滴形成的，这些水滴在沉积在载体上之前已经凝固。“冰”是由水滴在载体上凝结然后在载体上凝固形成的。
[0082]
此外，为了保护换能器，尤其是保护换能器免受如上所述的外部元素的影响，所述装置优选地包括叠置在压电衬底上的保护构件。
[0083]
优选地，换能器容纳在由保护构件和载体限定的腔室中。
[0084]
特别地，在根据本发明的第一方面的装置中，衬底的未被第一电极和第二电极涂
覆的表面中的至少一个、甚至全部可以与保护构件接触。
[0085]
保护构件优选地与载体相距一定距离，以便不干扰超声表面波的传播。
[0086]
保护构件可以与换能器的未被第一电极和第二电极涂覆的表面接触。于是保护构件不与导波或初波相互作用。优选地，保护构件与换能器的与沉积有第一电极和第二电极的表面相对的表面接触。特别地，保护构件可以固定(例如粘合)到换能器上。因此简化了装置的制造。
[0087]
此外，所述装置可以电连接到发电机以为换能器供电。发电机可以被配置为传递优选地介于1毫瓦和500瓦之间的电力供应。
[0088]
此外，本发明涉及一种用于制造根据本发明的装置的方法，包括以下连续步骤：
[0089]
a)在压电衬底的表面上形成第一电极和第二电极以获得波换能器，
[0090]
b)将波换能器固定在载体上，以获得所述装置。
[0091]
优选地，载体和/或波换能器涂覆有一层胶水，然后将适当涂覆的载体和/或波换能器组装起来。
[0092]
本发明还涉及第一方法，包括通过根据本发明的电声装置合成超声表面波，该超声表面波在载体中传播到液体物体，该液体物体位于载体的表面上并且与换能器相距一定距离，超声波的能量足以引起载体上的物体的移位。
[0093]
物体可以在超声表面波的传播方向上移位。
[0094]
本发明还涉及第二方法，包括：
[0095]-提供根据本发明的电声装置，以及
[0096]-为波换能器供电以合成超声表面波，该超声表面波在载体中传播到物体，所述物体位于载体的表面上并与换能器相距一定距离，供电电能的至少一部分被换能器转化为热量的形式，
[0097]
为换能器供电的电能足以产生所述热量或超声表面波的能量，以引起：
[0098]-当物体处于固态时，熔化物体，和/或
[0099]-当载体的温度低于物体的凝固温度时，将物体保持在液态。
[0100]
此外，超声波的能量可以足以引起融化物体或在表面上保持液态的物体的移位。
[0101]
本发明还涉及第三方法，包括：
[0102]-提供一种装置，该装置包括：
[0103]
超声波换能器和载体，所述超声波换能器包括压电衬底、与所述压电衬底接触的第一电极和第二电极，所述换能器固定在所述载体上并与所述载体声波耦合，所述第一电极和所述第二电极至少部分地夹在所述压电衬底与所述载体之间，所述装置被配置为当电流通过所述第一电极和所述第二电极时产生超声表面波，所述超声表面波在与所述换能器相距一定距离的所述载体中传播，换能器被配置为产生导波，该导波转换成在与换能器相距一定距离的载体中的超声表面波，
[0104]-通过所述装置合成超声表面波，该超声表面波在载体中传播到液体物体，该液体物体位于载体的表面上并且与换能器相距一定距离，超声波的能量足以引起载体上的物体的移位，
[0105]
所述物体为直径小于或等于5mm的片状物或液滴。
[0106]
物体的“直径”被理解为是指物体的最小外接球面的直径。在合成超声波之前确定
物体的直径。
[0107]
第一方法和/或第二方法和/或第三方法可以包括以下特征。
[0108]
物体可以具有上述特征中的任一者。
[0109]
物体可以是片状物。片状物可以在载体上在大于或等于2cm2、甚至大于或等于5cm2、甚至大于或等于10cm2、甚至大于或等于100cm2、甚至大于或等于500cm2的表面积上延伸。片状物的厚度可以介于10μm和10mm之间，甚至介于50μm和5mm之间。
[0110]
物体可以是直径小于或等于5mm的液滴。液滴的直径可以小于或等于1mm，甚至小于或等于0.1mm。液滴可以具有介于2mm和5mm之间的直径。液滴可以具有介于0.1mm和2mm之间的直径。
[0111]
物体可以在超声表面波的传播方向上移位。
[0112]
物体可以沿其所在的载体的表面移位。
[0113]
此外，载体的温度可以低于0℃，并且物体优选是含水的。
[0114]
最后，本发明涉及根据本发明的装置用于清洁载体的表面和/或为载体的表面除雾和/或为载体的表面除霜的用途，所述载体的表面尤其是机动车辆表面。
附图说明
[0115]
通过阅读以下详细描述、其非限制性示例性实施方式以及研究附图，将能够更好地理解本发明，其中：
[0116]
[图1]图1示意性地表示根据本发明的电声装置的示例的截面图，
[0117]
[图2]图2以透视图表示图1所示的电声装置的波换能器，
[0118]
[图3]图3表示根据本发明的电声装置的另一个示例，以及
[0119]
[图4]图4表示根据本发明的电声装置的又一示例。
[0120]
为了清楚起见，附图的构成元件未按比例表示。
具体实施方式
[0121]
图1示出了根据本发明的第一方面的电声装置5的第一示例。
[0122]
电声装置5包括载体10，换能器15通过胶层20固定在该载体10上。胶层将载体声波耦合到换能器。
[0123]
换能器包括衬底25以及第一电极30和第二电极35，第一电极30和第二电极35涂覆在衬底的表面40上。
[0124]
衬底由压电材料制成，例如由128
°
y切割的铌酸锂制成。衬底采用板的形式，其厚度e大于换能器产生的波的波长。因此，由换能器产生的波直接在载体中传输并且不会到达衬底的与安装有载体的表面相对的表面45。
[0125]
第一电极和第二电极夹在载体和衬底之间，并连接到为它们供电的电压发生器50。第一电极和第二电极因此被布置为面向载体，并受到载体、衬底和胶层的保护。
[0126]
所示示例中的载体采用板的形式并且具有与外部环境60接触的顶表面55。在所示示例中，顶表面55被水膜形式的物体65覆盖。物体65可以是液滴或片状物。例如，片状物是通过液滴、例如雨水在载体上聚集而形成的。
[0127]
为了制造所述装置，第一电极和第二电极可以通过蒸发或溅射方法形成并通过光
刻成形。然后可以由铬、铝、或粘结涂层(例如钛)和导电层(例如金)的组合制成。然后可以将适当覆盖的衬底粘合到载体上。为了促进粘合操作，自支撑载体是优选的。
[0128]
如图2所示，第一电极30和第二电极35分别形成第一梳状件70和第二梳状件75。各个梳状件包括基部80、85和从基部彼此平行延伸的一排指状物90、95。第一梳状件和第二梳状件是叉指型的。
[0129]
第一梳状件和第二梳状件各自的每个指状物的宽度l等于超声表面波的基波波长除以4，并且一个梳状件的两个连续指状物之间的间距s等于超声表面波的基波波长除以4。
[0130]
指状物之间的间距决定了本领域技术人员可以容易地确定的换能器的谐振频率。交流电压由发生器50施加并且可以被放大，使得换能器产生超声表面波。
[0131]
第一电极和第二电极的交流供电引起压电材料的机械响应，这导致产生表面导波g，其沿传播方向p在载体中传播，尤其是朝向位于载体上的物体传播。
[0132]
对于被配置为产生预定基频的波的换能器，确定由换能器产生的足以使物体移位或熔化和/或将其保持在液态的能量对于本领域技术人员来说是容易的。尤其是，本领域技术人员可以将超声导波的基频与用于产生波的电信号的频率联系起来。然后他或她可以改变电信号的幅度以便确定要提供给换能器的足够的电能。
[0133]
当换能器由电压发生器供电时，该换能器会产生超声波。由于第一电极和第二电极夹在载体和衬底之间，因此由换能器产生的波g在载体和衬底之间的界面处被引导和传播，该界面由被电极涂覆的衬底的表面和面向电极的载体的表面限定。当导波沿其传播方向到达衬底的横向端部98时，该导波以在载体表面上传播的超声波表面波w的形式在载体中传播。导波到表面波的转换是由于在没有被换能器覆盖的载体部分中两个固体之间没有界面而产生的。然后，表面波与覆盖载体的物体相互作用。对于液体物体，合成基频介于0.1mhz和1000mhz之间、优选介于10mhz和100mhz之间、例如等于40mhz的表面波的换能器非常适合于确保水膜的移位。在水膜为冰或霜形式的变型中，该换能器也非常适合于通过输入超声表面波的能量和通过转移其产生的热量、尤其是通过电极的电阻加热来引起水膜的熔化。
[0134]
图3所示的装置与图1所示的装置的不同之处在于它还包括叠置在载体和换能器上的保护构件100。保护构件100与载体一起限定了容纳换能器的腔室105。换能器、更具体地是衬底，因此受到保护以免受外部因素(例如降水和灰尘)的影响。保护构件被固定在衬底的未被第一电极和第二电极涂覆的表面45上。由于衬底的厚度大于导波的波长，因此保护构件不与导波相互作用。保护构件可以由抗冲击材料(例如金属或热塑性塑料)制成。在所示示例中，保护构件与载体相距一定距离。因此，保护构件不会妨碍超声表面波在载体中的传播。
[0135]
最后，图4所示的装置与图1所示的装置的不同之处在于，它包括从载体边缘突出的部分，并且第一电极和第二电极布置在压电衬底的不叠置在载体上的部分108上。由于第一电极和第二电极与载体相距一定距离，因此很容易将它们电连接到电压发生器。
[0136]
当衬底被供电时，所述装置产生初波q，其在衬底的表面上传播，然后在衬底和载体之间的界面110处传播。当初波沿其传播方向到达衬底的横向端部98时，它以在载体的表面上传播的超声表面波的形式在载体中传播。如在图1的示例中的，超声表面波可以引起载体上的液体的移位。
[0137]
当然，本发明不限于所述方法的实施方式，尤其是不限于本说明书中呈现的示例。