一种蒸发台的等离子清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种清洗装置，尤其涉及一种蒸发台的等离子清洗装置。


背景技术：

2.蒸发台是一种蒸发镀膜设备，其工作原理是高压电子枪发射电子，在强磁场作用下形成高能量电子束至坩埚上的金属铝粒，铝粒吸收热量由固态变为液态，其中有一部分变为气态，蒸发沉积至晶圆表面上。此过程中需要持续加热至230℃镀膜，膜层附着力才会符合工艺技术要求，不仅耗时时间长(通常一批晶圆完成镀膜要3-4个小时)，效率低，且此种膜表面发白，膜质较差，因此本实用新型设计一种等离子清洗装置来有效改善上述现象。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种蒸发台的等离子清洗装置，该装置能够有效清洁晶圆表面，减少加热时间，改善镀膜表面，提高了生产质量，提升效率。
4.为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种蒸发台的等离子清洗装置，所述等离子清洗装置安装于蒸发台的真空腔的内部且位于下隔板的底部，所述真空腔的下隔板的底部滑动安装有滑台，所述蒸发台的金属坩埚和等离子清洗装置安装于所述滑台上，所述滑台由工位切换装置驱动使金属坩埚或者等离子清洗装置处于工作工位，当金属坩埚处于工作工位时与下隔板上的工作口位置对应用于金属蒸发镀膜；当等离子清洗装置处于工作工位时与下隔板上的工作口位置对应，等离子清洗装置产生等离子体从工作口溢出用于清洗真空腔上部的晶圆。
5.作为一种优选的方案，所述等离子清洗装置包括固定于滑台上的筒体，所述筒体上端设置有出口，所述筒体内部安装有阳极端，所述筒体的上端安装用于发射电子的阴极灯丝，所述筒体的底部设置有通入氩气的进气管，所述筒体内还设置有用于对等离子体进行加速的加速磁场。
6.作为一种优选的方案，所述阳极端为一个阳极筒，所述阳极筒固定在筒体的底部，所述进气管安装于筒体的底部且与阳极筒的内孔连通，所述阳极筒的中心线与工作口的中心线以及磁场方向平行。
7.作为一种优选的方案，所述筒体的底部由上而下设置有第一底板和第二底板，所述阳极筒固定在第一底板上，所述第一底板上设置有环形布置的若干个通气孔，所述第一底板和第二底板之间安装有所述进气管，所述进气管与所述通气孔连通，所述通气孔与阳极筒的内孔连通。
8.作为一种优选的方案，所述筒体的上部可拆卸固定有两对接线柱，所述每对接线柱之间可拆卸固定了所述的阴极灯丝。
9.作为一种优选的方案，所述工位切换装置包括伺服电机，所述伺服电机固定在真空腔的下隔板的底部，所述伺服电机通过丝杠螺母机构与所述滑台传动连接。
10.采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于蒸发台的等离子清洗装置，所
述等离子清洗装置安装于蒸发台的真空腔的内部且位于下隔板的底部，所述真空腔的下隔板的底部滑动安装有滑台，所述蒸发台的金属坩埚和等离子清洗装置安装于所述滑台上，所述滑台由工位切换装置驱动使金属坩埚或者等离子清洗装置处于工作工位，当金属坩埚处于工作工位时与下隔板上的工作口位置对应用于金属蒸发镀膜；当等离子清洗装置处于工作工位时与下隔板上的工作口位置对应，等离子清洗装置产生等离子体从工作口溢出用于清洗真空腔上部的晶圆，通过滑台能够自由切换金属坩埚或者等离子清洗装置处于工作工位，此时先把真空腔进行抽真空，腔体进行升温，到达一定温度后再由等离子清洗装置移动至工作工位，通过等离子持续持续轰击晶圆表面，去除表面氧化物、有机残留及微颗粒等污染物，同时进行表面活化能，最后由金属坩埚移动至工作工位，开始镀膜，镀膜完成后，腔体自然降温至常温，一批晶圆就镀膜完毕，加入离子源后，镀膜加热温度由230℃降至130℃、总耗时减少一半，1.5-2个小时就可完成，膜质好，膜层附着力强，该装置能够有效清洁晶圆表面，减少加热时间，改善镀膜表面，提高了生产质量，提升效率。
11.又由于所述等离子清洗装置包括固定于滑台上的筒体，所述筒体上端设置有出口，所述筒体内部安装有阳极端，所述筒体的上端安装用于发射电子的阴极灯丝，所述筒体的底部设置有通入氩气的进气管，所述筒体内还设置有用于对等离子体进行加速的加速磁场，由于所述阳极端为一个阳极筒，所述阳极筒固定在筒体的底部，所述进气管安装于筒体的底部且与阳极筒的内孔连通，所述阳极筒的中心线与工作口的中心线以及磁场方向平行，氩气由于阴极热发射电子持续放电，在磁场的作用下，被电离，最终形成等离子体，而阳极做成筒形，中心线和磁场方向平行，磁场能很好地约束阴极所发射的电子流，进气管里的氩气进入阳极筒的内孔，在阳极筒中使气体的原子(或分子)电离，形成等离子体密度很高的弧柱。
12.又由于所述筒体的底部由上而下设置有第一底板和第二底板，所述阳极筒固定在第一底板上，所述第一底板上设置有环形布置的若干个通气孔，所述第一底板和第二底板之间安装有所述进气管，所述进气管与所述通气孔连通，所述通气孔与阳极筒的内孔连通，方便了氩气的进入。
13.又由于所述工位切换装置包括伺服电机，所述伺服电机固定在真空腔的下隔板的底部，所述伺服电机通过丝杠螺母机构与所述滑台传动连接，方便了工位的切换。
附图说明
14.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
15.图1是金属坩埚和等离子清洗装置位于滑台上的结构示意图；
16.图2是本实用新型实施例的剖示图；
17.图中：1、蒸发台；101、真空腔；2、下隔板；3、伺服电机；4、丝杠螺母机构；5、滑台；6、工作口；7、工作工位；8、金属坩埚；9、等离子清洗装置；10、筒体；11、进气管；12、通气孔；13、内孔；14、阳极端；1041、阳极筒；15、第一底板；16、第二底板；17、加速磁场； 18、接线柱；19、阴极灯丝。
具体实施方式
18.下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。
19.如图1和图2所示，一种蒸发台1的等离子清洗装置9，所述等离子清洗装置9安装于蒸发台1的真空腔101的内部且位于下隔板2的底部，所述真空腔101的下隔板2的底部滑动安装有滑台5，所述蒸发台 1的金属坩埚8和等离子清洗装置9安装于所述滑台5上，所述滑台5 由工位切换装置驱动使金属坩埚8或者等离子清洗装置9处于工作工位 7，当金属坩埚8处于工作工位7时与下隔板2上的工作口6位置对应用于金属蒸发镀膜；当等离子清洗装置9处于工作工位7时与下隔板2 上的工作口6位置对应，等离子清洗装置9产生等离子体从工作口6溢出用于清洗真空腔101上部的晶圆。
20.在本实施例中，所述工位切换装置包括伺服电机3，所述伺服电机 3固定在真空腔101的下隔板2的底部，所述伺服电机3通过丝杠螺母机构4与所述滑台5传动连接。
21.所述等离子清洗装置9包括固定于滑台5上的筒体10，所述筒体 10上端设置有出口，所述筒体10内部安装有阳极端14，所述筒体10 的上端安装用于发射电子的阴极灯丝19，所述筒体10的底部设置有通入氩气的进气管11，所述筒体10内还设置有用于对等离子体进行加速的加速磁场17，所述阳极端14为一个阳极筒1041，所述阳极筒1041 固定在筒体10的底部，所述进气管11安装于筒体10的底部且与阳极筒1041的内孔13连通，所述阳极筒1041的中心线与工作口6的中心线以及磁场方向平行，氩气由于阴极热发射电子持续放电，在磁场的作用下，被电离，最终形成等离子体，而阳极做成筒形，中心线和磁场方向平行，磁场能很好地约束阴极所发射的电子流，进气管11里的氩气进入阳极筒1041的内孔13，在阳极筒1041中使气体的原子(或分子) 电离，形成等离子体密度很高的弧柱；因此，通过滑台5能够自由切换金属坩埚8或者等离子清洗装置9处于工作工位7，接着把真空腔101 进行抽真空，腔体进行升温至130℃，到达一定温度后再由等离子清洗装置9移动至工作工位7，通过上述形成的等离子体持续轰击晶圆表面，去除表面氧化物、有机残留及微颗粒等污染物，同时进行表面活化能，最后由金属坩埚8移动至工作工位7，开始镀膜，镀膜完成后，让腔体自然降温至常温，一批晶圆就镀膜完毕，通过等离子提的清理，能够使镀膜加热温度由230℃降至130℃、总耗时减少一半，1.5-2个小时就可完成，膜质好，膜层附着力强，该装置能够有效清洁晶圆表面，减少加热时间，改善镀膜表面，提高了生产质量，提升效率。
22.如图2所示，所述筒体10的底部由上而下设置有第一底板15和第二底板16，所述阳极筒1041固定在第一底板15上，所述第一底板15 上设置有环形布置的若干个通气孔12，所述第一底板15和第二底板16 之间安装有所述进气管11，所述进气管11与所述通气孔12连通，所述通气孔12与阳极筒1041的内孔13连通，方便了氩气的进入。
23.在本实施例中，所述筒体10的上部可拆卸固定有两对接线柱18，所述每对接线柱18之间可拆卸固定了所述的阴极灯丝19，由于阴极灯丝19不断发射电子，容易损耗，因此将阴极灯丝19设置成可拆卸固定。
24.本实用新型的工作原理：首先进行真空腔101进行抽真空，腔体进行升温至130℃，到达该温度后再由等离子清洗装置9通过伺服电机3 驱动丝杠螺母机构4带动滑台5移动至工作工位7，接着氩气通过进气管11进入阳极筒1041的内孔13，氩气由于阴极热发射电子持续放电，在磁场的作用下，被电离，最终形成等离子体，该等离子持续持续轰击晶圆表面，等待晶圆表面完成清洗，再通过伺服电机3驱动丝杠螺母机构4带动滑台5将金属坩埚8移动至工作工位7，开始镀膜，等待镀膜完成，再将腔体自然降温至常温，一批晶圆就镀膜完毕。
25.以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限
定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。