一种蒸发台的等离子清洗装置的制作方法

技术特征：
1.一种蒸发台的等离子清洗装置，其特征在于：所述等离子清洗装置安装于蒸发台的真空腔的内部且位于下隔板的底部，所述真空腔的下隔板的底部滑动安装有滑台，所述蒸发台的金属坩埚和等离子清洗装置安装于所述滑台上，所述滑台由工位切换装置驱动使金属坩埚或者等离子清洗装置处于工作工位，当金属坩埚处于工作工位时与下隔板上的工作口位置对应用于金属蒸发镀膜；当等离子清洗装置处于工作工位时与下隔板上的工作口位置对应，等离子清洗装置产生等离子体从工作口溢出用于清洗真空腔上部的晶圆。2.如权利要求1所述的一种蒸发台的等离子清洗装置，其特征在于：所述等离子清洗装置包括固定于滑台上的筒体，所述筒体上端设置有出口，所述筒体内部安装有阳极端，所述筒体的上端安装用于发射电子的阴极灯丝，所述筒体的底部设置有通入氩气的进气管，所述筒体内还设置有用于对等离子体进行加速的加速磁场。3.如权利要求2所述的一种蒸发台的等离子清洗装置，其特征在于：所述阳极端为一个阳极筒，所述阳极筒固定在筒体的底部，所述进气管安装于筒体的底部且与阳极筒的内孔连通，所述阳极筒的中心线与工作口的中心线以及磁场方向平行。4.如权利要求3所述的一种蒸发台的等离子清洗装置，其特征在于：所述筒体的底部由上而下设置有第一底板和第二底板，所述阳极筒固定在第一底板上，所述第一底板上设置有环形布置的若干个通气孔，所述第一底板和第二底板之间安装有所述进气管，所述进气管与所述通气孔连通，所述通气孔与阳极筒的内孔连通。5.如权利要求4所述的一种蒸发台的等离子清洗装置，其特征在于：所述筒体的上部可拆卸固定有两对接线柱，所述每对接线柱之间可拆卸固定了所述的阴极灯丝。6.如权利要求5所述的一种蒸发台的等离子清洗装置，其特征在于：所述工位切换装置包括伺服电机，所述伺服电机固定在真空腔的下隔板的底部，所述伺服电机通过丝杠螺母机构与所述滑台传动连接。

技术总结
本实用新型公开了一种蒸发台的等离子清洗装置，所述等离子清洗装置安装于蒸发台的真空腔的内部且位于下隔板的底部，所述真空腔的下隔板的底部滑动安装有滑台，所述蒸发台的金属坩埚和等离子清洗装置安装于所述滑台上，所述滑台由工位切换装置驱动使金属坩埚或者等离子清洗装置处于工作工位，当金属坩埚处于工作工位时与下隔板上的工作口位置对应用于金属蒸发镀膜；当等离子清洗装置处于工作工位时与下隔板上的工作口位置对应，等离子清洗装置产生等离子体从工作口溢出用于清洗真空腔上部的晶圆，该装置能够有效清洁晶圆表面，减少加热时间，改善镀膜表面，提高了生产质量，提升效率。效率。效率。


技术研发人员：张雪奎 牛立久 刘增增 周一雷 徐金鑫
受保护的技术使用者：山东华楷微电子装备有限公司
技术研发日：2021.12.14
技术公布日：2022/6/6