一种研磨砂浆罐的制作方法

技术特征：
1.一种研磨砂浆罐，其特征在于，包括罐体(1)及搅拌机构(2)；所述罐体(1)为回转体结构，所述罐体(1)的内部设有放置砂浆的砂浆腔，所述罐体(1)的壁面内部设有与所述砂浆腔间隔的容纳腔(11)，在所述容纳腔(11)内设有冷却液，在所述罐体(1)的外壁面上开设有连通所述容纳腔(11)的进液口(12)和出液口(13)；所述搅拌机构(2)包括搅拌组件(21)及驱动所述搅拌组件(21)转动的搅拌泵(22)；所述搅拌组件(21)设置在所述砂浆腔中，所述搅拌组件(21)与所述罐体(1)沿同一中心轴线设置。2.如权利要求1所述的研磨砂浆罐，其特征在于；所述罐体(1)包括第一筒体(14)和第二筒体(15)，所述第二筒体(15)套设在所述第一筒体(14)的外侧，所述第一筒体(14)和所述第二筒体(15)之间的间隙形成所述容纳腔(11)。3.如权利要求1所述的研磨砂浆罐，其特征在于；还包括抽吸泵(3)，所述抽吸泵(3)的吸入口与所述砂浆腔连通，所述抽吸泵(3)的吸出口用于与研磨机的入口连通。4.如权利要求3所述的研磨砂浆罐，其特征在于；还包括盖体(4)，所述盖体(4)盖设在所述罐体(1)的顶端；所述搅拌泵(22)及所述抽吸泵(3)均设置在所述盖体(4)的顶端。5.如权利要求4所述的研磨砂浆罐，其特征在于；所述盖体(4)包括第一连接盖(41)和第二连接盖(42)，所述第一连接盖(41)和所述第二连接盖(42)拼接形成所述盖体(4)；所述第一连接盖(41)上设有第一连接通孔(411)和第二连接通孔(412)，所述第一连接通孔(411)设置在所述搅拌组件(21)的中心轴线上；所述搅拌泵(22)设置在所述第一连接盖(41)上，所述搅拌泵(22)的输出端穿过所述第一连接通孔(411)与所述搅拌组件(21)连接；所述抽吸泵(3)设置在所述第一连接盖(41)上，所述抽吸泵(3)的吸入口穿过所述第二连接通孔(412)与所述砂浆腔连接。6.如权利要求5所述的研磨砂浆罐，其特征在于；在所述第一连接盖(41)和所述第二连接盖(42)上均设有把手(43)。7.如权利要求1-6任一项所述的研磨砂浆罐，其特征在于；还包括多组滚轮组件(5)；所述滚轮组件(5)设置在所述罐体(1)的外壁面上，且多组所述滚轮组件(5)以所述罐体(1)的所述中心轴线为中心周向等间距布置。8.如权利要求7所述的研磨砂浆罐，其特征在于；所述滚轮组件(5)包括底板(51)及与所述底板(51)底端转动连接的滚轮(52)；所述底板(51)与所述罐体(1)的外壁面连接；所述滚轮组件(5)还包括加强筋(53)，所述加强筋(53)的一侧与所述罐体(1)的外壁面连接，所述加强筋(53)的另一侧与所述底板(51)连接。9.如权利要求1所述的研磨砂浆罐，其特征在于；所述罐体(1)的底部为锥形结构。
10.如权利要求1所述的研磨砂浆罐，其特征在于；所述砂浆腔的体积大于等于150l。

技术总结
本实用新型涉及硅片切割设备技术领域，尤其涉及一种研磨砂浆罐。该一种研磨砂浆罐包括罐体及搅拌机构，罐体为回转体结构，罐体的内部设有放置砂浆的砂浆腔，罐体的壁面内部设有与砂浆腔间隔的容纳腔，在容纳腔内设有冷却液，在罐体的外壁面上开设有连通容纳腔的进液口和出液口，搅拌机构包括搅拌组件及驱动搅拌组件转动的搅拌泵，搅拌组件设置在砂浆腔中，搅拌组件与罐体沿同一中心轴线设置。由于在罐体的壁面内部设有容纳腔，在容纳腔内设有冷却液，进而降低了罐体内砂浆的温度，保证了砂浆排出的温度，避免了进入研磨机内的砂浆温度过高进而保证了硅片的平坦度，提高了硅片生产的良品率。良品率。良品率。


技术研发人员：季军 李猛
受保护的技术使用者：锦州神工半导体股份有限公司
技术研发日：2021.10.27
技术公布日：2022/5/16