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蒸镀坩埚的制作方法

2022-05-17 04:32:01 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及显示面板制造技术领域,尤其涉及一种蒸镀坩埚。


背景技术:

2.oled蒸镀设备是指对有机材料进行蒸镀成膜并做成发光器件的装备,oled蒸镀是oled生产工艺环节中的重要工艺技术,是制约产能的关键因素。有机材料需要先装在坩埚中,然后再将坩埚放入oled蒸镀设备内部进行蒸镀操作。如图1所示,现有的一种蒸镀坩埚包括锅体1、盖板2、加热件3和多个喷嘴4,喷嘴4设置于锅体1的顶部,加热件3设置在锅体1的侧面,盖板2上开孔以供喷嘴4穿入,盖板2起到保温作用。现有技术的缺陷在于:盖板2的温度相对较低,从喷嘴4喷出的有机材料接触到温度较低的盖板2后会重新凝结在盖板2上,导致盖板2的上表面发生有机物堆积,因而需要花费额外的人力物力对盖板2进行清洁。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种蒸镀坩埚,能避免盖板上发生有机物堆积。
4.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
5.提供一种蒸镀坩埚,包括锅体、盖板、加热件和至少一个导热件,所述盖板设置于所述锅体的顶面,所述加热件设置于所述锅体的侧面,所述导热件包括呈夹角连接的第一导热板和第二导热板,所述第一导热板与所述盖板连接,所述第二导热板与所述加热件连接。
6.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述导热件包括一个所述第一导热板和两个所述第二导热板,两个所述第二导热板分别设置在所述第一导热板的两端,所述导热件呈u型。
7.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述第一导热板与所述盖板的顶面贴合,所述第二导热板与所述加热件抵接,所述第一导热板上开设有通孔,所述盖板上开设有螺纹孔,所述导热件由穿过所述通孔并旋拧至所述螺纹孔内的螺钉固定在所述盖板上。
8.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述盖板的顶面上还设有第一定位凹槽,所述第一导热板能放入所述第一定位凹槽中,所述螺纹孔开设在所述第一定位凹槽的槽底。
9.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述蒸镀坩埚还包括导热垫,所述导热垫铺设在所述第一定位凹槽的槽底。
10.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述第一导热板与所述盖板的底面贴合,所述第二导热板与所述加热件抵接,所述盖板的底面设有第二定位凹槽,所述第一导热板能放入所述第二定位凹槽中。
11.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述第二定位凹槽的深度等于所述第一导热板的厚度,所述第一导热板背离所述第二定位凹槽槽底的一面与所述盖板的底面平齐。
12.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述盖板呈矩形,所述第二定位凹槽沿所述盖板的宽度方向开设。
13.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述盖板上开设有多个所述第二定位凹槽,多个所述第二定位凹槽在所述盖板的长度方向上等间距设置。
14.作为本实用新型蒸镀坩埚的一种优选方案,所述导热件包括一个所述第一导热板和一个所述第二导热板,所述导热件呈l型。
15.本实用新型的有益效果:
16.由于盖板和加热件分别设置在锅体的不同面上,本实用新型的导热件包括呈夹角连接的第一导热板和第二导热板,使得第一导热板与盖板连接的同时,第二导热板能与加热件连接,从而使加热件的热量能够传导至盖板上,提高盖板的温度,有效避免盖板上发生有机物的堆积,无需再耗费人力物力对盖板进行清洁。
附图说明
17.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
18.图1为现有的一种蒸镀坩埚的立体分解图;
19.图2为本实用新型一实施例的蒸镀坩埚的立体分解图;
20.图3为图2的蒸镀坩埚组装后的正面视图;
21.图4为本实用新型另一实施例的盖板和导热件的侧面视图。
22.图中:
23.1、锅体;2、盖板;21、螺纹孔;22、第一定位凹槽;23、第二定位凹槽;3、加热件;4、喷嘴;5、导热件;51、第一导热板;511、通孔;52、第二导热板;6、螺钉;7、导热垫。
具体实施方式
24.参考下面结合附图详细描述的实施例,本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而,本实用新型不限于以下公开的实施例,而是可以以各种不同的形式来实现,提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围,并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
25.以下,参照附图来详细描述本实用新型。
26.如图1所示,现有的一种蒸镀坩埚包括锅体1、盖板2、加热件3和多个喷嘴4,盖板2设置于锅体1的顶面,加热件3设置于锅体1的侧面,盖板2能减少锅体1内的热量散失,但盖板2的温度较低,有机材料从喷嘴4喷出后如果接触到温度较低的盖板2,容易在盖板2上重新凝结,使得蒸镀作业完成后,盖板2的表面堆积了较多的有机物,需要花费额外的人力物力对盖板2进行清洁。
27.为了解决上述问题,如图2和图3所示,一实施例的蒸镀坩埚还包括导热件5,导热件5包括呈夹角连接的第一导热板51和第二导热板52,第一导热板51与盖板2连接,第二导热板52与加热件3连接。导热件5的数量至少为一个,如果盖板2的面积较大,可以设置较多数量的导热件5。
28.由于盖板2和加热件3分别设置在锅体1的不同面上,本实施例中的导热件5包括呈
夹角连接的第一导热板51和第二导热板52,使得第一导热板51与盖板2连接的同时,第二导热板52能与加热件3连接,从而使加热件3的热量能够传导至盖板2上,提高盖板2的温度,有效避免盖板2上发生有机物的堆积,无需再耗费人力物力对盖板2进行清洁。
29.进一步的,导热件5包括一个第一导热板51和两个第二导热板52,两个第二导热板52分别设置在第一导热板51的两端,导热件5呈u型。通常情况下,锅体1相对的两侧上都设有加热件3,因而设置两个第二导热板52,每个第二导热板52分别与锅体1一侧的加热件3连接,最后将热量汇聚到第一导热板51并传递给盖板2,使盖板2能够较快的升温。
30.当加热件3仅设置在锅体1的一侧时,导热件5只包括一个第一导热板51和一个第二导热板52,此时的导热件5呈l型。第一导热板51和一个第二导热板52的连接角度可以选择90度,也可以选择其他角度。
31.如图2和图3所示,第一导热板51与盖板2的顶面贴合,第二导热板52与加热件3抵接,第一导热板51上开设有通孔511,盖板2上开设有螺纹孔21,导热件5通过穿过通孔511并旋拧至螺纹孔21内的螺钉6固定在盖板2上。由于第一导热板51设置在盖板2上方,当盖板2与锅体1连接后,并不能固定住导热件5,因而要采用额外的手段来对导热件5进行固定,保证导热件5与盖板2之间的良好且稳定的接触。采用螺钉6进行固定,使导热件5能够方便的进行拆装,当蒸镀作业完成后,需要将盖板2从锅体1上拆卸下来,对锅体1内残留的有机材料进行清理,由于导热件5并没有直接固定在加热件3上,只是存在接触,采用这种方式进行固定的导热件5并不会对盖板2的拆卸造成阻碍。
32.根据加热件3形态的不同,第二导热板52与加热件3接触部位的形态也可能不同,在本实施例中,由于加热件3呈板状,第二导热板52也做成平板状就能与加热件3实现良好的接触。若加热件3呈管状,则第二导热板52可以进行弯曲,以实现较大的接触面积。
33.进一步的,盖板2的顶面上还设有第一定位凹槽22,第一导热板51能放入第一定位凹槽22中,螺纹孔21开设在第一定位凹槽22的槽底。第一定位凹槽22一方面能引导导热件5的安装,使螺纹孔21能够快速与通孔511对齐,另外一方面还能限制导热件5发生位移,使导热件5更稳定地固定在盖板2上。
34.更进一步的,在第一导热板51与盖板2之间还设有导热垫7,导热垫7铺设在第一定位凹槽22的槽底。第一导热板51与盖板2很难严丝合缝地贴合,一旦存在空隙将大大降低热传递的效率,而导热垫7质地较软,能够填充第一导热板51与盖板2之间可能存在的空隙,保证较好的热传递效率。
35.如图4所示,在另一个实施例中,盖板2的底面设有第二定位凹槽23,第一导热板51能放入第二定位凹槽23中,使第一导热板51与盖板2的底面贴合,第二导热板52与加热件3抵接。由于导热件5是设置在盖板2下方的且被盖板2压住,当盖板2装配到锅体1后,导热件5也完成了固定,因而不用单独对导热件5进行固定工作,且第二定位凹槽23能够有效防止导热件5与盖板2之间发生相对移动。
36.进一步的,第二定位凹槽23的深度等于第一导热板51的厚度,第一导热板51背离第二定位凹槽23槽底的一面与盖板2的底面平齐。由于第一导热板51并未凸出于盖板2的底面,导热件5并不会干扰到盖板2与锅体1的连接,盖板2和锅体1仍然可以采用原有的连接方式进行连接。
37.进一步的,盖板2呈矩形,第二定位凹槽23沿盖板2的宽度方向开设,使第一导热板
51的长度能做到最短,避免导热件5的整体体积和重量较大,便于进行导热件5的安装和拆卸。
38.更进一步的,盖板2上开设有多个第二定位凹槽23,多个第二定位凹槽23在盖板2的长度方向上等间距设置,使得盖板2上的各处能较为均匀地被加热,避免出现局部温度过低的区域而发生有机物的凝结。
39.当然,第一定位凹槽22也可以开设有多个,且也采用在盖板2的长度方向上等间距设置的方式进行布置,也起到相同的作用。
40.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例,但是本实用新型不限于以上实施例,而是可以以各种形式制造,并且本领域技术人员将理解,在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下,可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此,应该理解,上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。
再多了解一些

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