一种镀锅用晶圆固定组件的制作方法

1.本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种镀锅用晶圆固定组件。


背景技术：

2.在半导体薄膜沉积领域，物理气相沉积(pvd)主要包括真空溅射镀膜(sputter)和真空蒸发镀膜(evaporator)两种工艺。具体的，在晶圆真空蒸镀工艺中，主要是运用蒸镀机来完成晶圆的真空蒸镀。
3.其中，蒸镀机上有一重要装置——镀锅，其功用为放置晶圆，使其在合适的位置完成蒸镀。不同的厂家生产的镀锅，由于需求不同，整体结构有较大差异，不过均以镀锅本体为根本。
4.目前的镀锅主要是以公转镀锅为主，此种镀锅有两种形式：一种为将晶圆直接放置于镀锅本体的晶圆放置口上，无其它固定装置，如evatec公司生产的蒸镀机；一种为晶圆放置于环中，然后在晶圆上盖上盖子，再置于镀锅本体的晶圆放置口上，并以弹簧片压住，如fse公司生产的蒸镀机。
5.然而，经过实际运用，发现两种形式的镀锅各有优劣。前者容易造成晶圆在蒸镀时，由于镀锅旋转而被甩飞出去，尤以平边晶圆、镀锅有形变、晶圆较轻时，晶圆被甩飞发生几率大大增加。而后者由于加了盖子的原因，晶圆规避了被甩出去的风险，但由于晶圆需用盖子盖住，然后用压紧弹片压住，其易造成晶圆压伤、划伤，且其上下货繁琐，不利于生产。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的是提供一种镀锅用晶圆固定组件，通过该组件，能在防止晶圆掉落的同时避免压伤、划伤晶圆，且具有上下货方便、减少报废率及提高生产效率的优点。
7.为实现上述目的，本实用新型提供一种镀锅用晶圆固定组件，包括沿晶圆放置口上边缘设置的弧形卡条，所述弧形卡条至少有两条且围绕晶圆放置口的轴心旋转对称设置，所述弧形卡条上沿其延伸方向依次设有两条竖直穿过弧形卡条与镀锅连接的定位卡销，所述弧形卡条上还设有手柄和供定位卡销穿过的引导弧形卡条向晶圆放置口轴心平移的导向镂空槽。
8.作为本实用新型的更进一步改进，所述导向镂空槽包括沿晶圆放置口径向依次设置的内弧槽和外弧槽，所述内弧槽和外弧槽皆沿弧形卡条的延伸方向设置，所述内弧槽和外弧槽的同一端还设有用于将两者连通的连接槽。
9.作为本实用新型的更进一步改进，所述定位卡销包括从上往下同轴依次设置的防脱帽、卡销杆以及固定螺杆。
10.作为本实用新型的更进一步改进，所述内弧槽、外弧槽以及连接槽的槽宽皆大于卡销杆和固定螺杆的外径。
11.作为本实用新型的更进一步改进，所述卡销杆为方杆，所述防脱帽为圆帽。
12.作为本实用新型的更进一步改进，所述手柄竖直设置在两条定位卡销之间的弧形
卡条上。
13.作为本实用新型的更进一步改进，所述手柄包括从上往下同轴依次设置的握持部、柄杆以及安装螺杆，所述弧形卡条上设有用于固定安装手柄的螺孔。
14.作为本实用新型的更进一步改进，所述握持部为球形。
15.作为本实用新型的更进一步改进，所述弧形卡条的长度为晶圆放置口周长的1/4，所述弧形卡条的厚度为1mm-2mm。
16.作为本实用新型的更进一步改进，所述弧形卡条为光滑的不锈钢弧形卡条。
17.有益效果
18.与现有技术相比，本实用新型的一种镀锅用晶圆固定组件的优点为：
19.1、该组件包括沿晶圆放置口上边缘设置的弧形卡条，所述弧形卡条至少有两条且围绕晶圆放置口的轴心旋转对称设置，所述弧形卡条上沿其延伸方向依次设有两条竖直穿过弧形卡条与镀锅连接的定位卡销，所述弧形卡条上还设有手柄和供定位卡销穿过的引导弧形卡条向晶圆放置口轴心平移的导向镂空槽。
20.在上货——即将晶圆安装到晶圆放置口上时，先通过手柄调节弧形卡条的位置，使弧形卡条的内侧边缘处于晶圆放置口的边缘上，然后向晶圆放置口中放置待蒸镀的晶圆，晶圆放置好后，再通过手柄调节弧形卡条的位置，使弧形卡条沿导向镂空槽的延伸方向，向着晶圆放置口的轴心平移，进而完成晶圆在晶圆放置口中的防脱固定。之后，即刻进行蒸镀操作。最后，只需沿相反的步骤反向操作该组件，即可完成下货——即取下晶圆。如此即可快速进行晶圆的上、下货，并且亦能保证在不会损坏晶圆的同时，将晶圆限制于镀锅的晶圆放置口中，进而避免镀锅旋转时将晶圆甩出的隐患。
21.通过该组件，能有效防止晶圆掉落。同时，由于弧形卡条是设置在晶圆放置口的上边缘上的，因此只会对晶圆起到限位作用而非压迫作用，进而能避免压伤、划伤晶圆，减少报废率。另外，由于该装置结构简单，使用起来十分方便，因而还具有上下货方便的优点，进而能提高生产效率。
22.2、导向镂空槽包括沿晶圆放置口径向依次设置的内弧槽和外弧槽，内弧槽和外弧槽皆沿弧形卡条的延伸方向设置，内弧槽和外弧槽的同一端还设有用于将两者连通的连接槽。
23.在上货——即将晶圆安装到晶圆放置口上时，先通过手柄调节弧形卡条的位置，使定位卡销处在外弧槽中，然后向晶圆放置口中放置待蒸镀的晶圆，晶圆放置好后，再通过手柄调节弧形卡条的位置，使定位卡销通过连接槽移动到内弧槽中。此时，晶圆在晶圆放置口中完成了防脱固定。之后，即刻进行蒸镀操作。最后，只需沿相反的步骤反向操作该组件，即可完成下货——即取下晶圆。如此即可快速进行晶圆的上、下货，并且亦能保证在不会损坏晶圆的同时，将晶圆限制于镀锅的晶圆放置口中，进而避免镀锅旋转时将晶圆甩出的隐患。
24.3、定位卡销包括从上往下同轴依次设置的防脱帽、卡销杆以及固定螺杆。在防脱帽与固定螺杆配合下，能将弧形卡条稳定的安装在镀锅上，避免弧形卡条脱落。同时，卡销杆能够与内弧槽、外弧槽以及连接槽的内壁滑动配合，从而能够完成弧形卡条的平移，进而保证了对晶圆的固定。
25.4、弧形卡条为光滑的不锈钢弧形卡条，能够避免弧形卡条对晶圆产生划伤，进而
降低了晶圆报废率。
26.通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。
附图说明
27.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1为本实用新型的结构示意图；
29.图2为弧形卡条的结构示意图；
30.图3为手柄的结构示意图；
31.图4为定位卡销的结构示意图。
32.其中：1-弧形卡条；11-螺孔；2-手柄；21-柄杆；22-握持部；23-安装螺杆；3-导向镂空槽；31-内弧槽；32-外弧槽；33-连接槽；4-定位卡销；41-固定螺杆；42-卡销杆；43-防脱帽。
具体实施方式
33.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本实用新型进一步详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.现在参考附图描述本实用新型的实施例。
35.实施例1
36.本实用新型的具体实施方式如图1-4所示，一种镀锅用晶圆固定组件，包括沿晶圆放置口上边缘设置的弧形卡条1。弧形卡条1至少有两条且围绕晶圆放置口的轴心旋转对称设置。弧形卡条1上沿其延伸方向依次设有两条竖直穿过弧形卡条1与镀锅连接的定位卡销4。弧形卡条1上还设有手柄2和供定位卡销4穿过的引导弧形卡条1向晶圆放置口轴心平移的导向镂空槽3。
37.在上货——即将晶圆安装到晶圆放置口上时，先通过手柄2调节弧形卡条1的位置，使弧形卡条1的内侧边缘处于晶圆放置口的边缘上，然后向晶圆放置口中放置待蒸镀的晶圆，晶圆放置好后，再通过手柄2调节弧形卡条1的位置，使弧形卡条1沿导向镂空槽3的延伸方向，向着晶圆放置口的轴心平移，进而完成晶圆在晶圆放置口中的防脱固定。之后，即刻进行蒸镀操作。最后，只需沿相反的步骤反向操作该组件，即可完成下货——即取下晶圆。如此即可快速进行晶圆的上、下货，并且亦能保证在不会损坏晶圆的同时，将晶圆限制于镀锅的晶圆放置口中，进而避免镀锅旋转时将晶圆甩出的隐患。
38.通过该组件，能有效防止晶圆掉落。同时，由于弧形卡条1是设置在晶圆放置口的上边缘上的，因此只会对晶圆起到限位作用而非压迫作用，进而能避免压伤、划伤晶圆，减少报废率。另外，由于该装置结构简单，使用起来十分方便，因而还具有上下货方便的优点，
进而能提高生产效率。
39.其中，导向镂空槽3包括沿晶圆放置口径向依次设置的内弧槽31和外弧槽32。内弧槽31和外弧槽32皆沿弧形卡条1的延伸方向设置，内弧槽31和外弧槽32的同一端还设有用于将两者连通的连接槽33。
40.在上货——即将晶圆安装到晶圆放置口上时，先通过手柄2调节弧形卡条1的位置，使定位卡销4处在外弧槽32中，然后向晶圆放置口中放置待蒸镀的晶圆，晶圆放置好后，再通过手柄2调节弧形卡条1的位置，使定位卡销4通过连接槽33移动到内弧槽31中。此时，晶圆在晶圆放置口中完成了防脱固定。之后，即刻进行蒸镀操作。最后，只需沿相反的步骤反向操作该组件，即可完成下货——即取下晶圆。如此即可快速进行晶圆的上、下货，并且亦能保证在不会损坏晶圆的同时，将晶圆限制于镀锅的晶圆放置口中，进而避免镀锅旋转时将晶圆甩出的隐患。
41.具体的，定位卡销4包括从上往下同轴依次设置的防脱帽43、卡销杆42以及固定螺杆41。本实施例中，卡销杆42的长度需略大于弧形卡条1的厚度。在防脱帽43与固定螺杆41配合下，能将弧形卡条1稳定的安装在镀锅上，避免弧形卡条1脱落。同时，卡销杆42能够与内弧槽31、外弧槽32以及连接槽33的内壁滑动配合，从而能够完成弧形卡条1的平移，进而保证了对晶圆的限位固定。
42.本实施例中，内弧槽31、外弧槽32以及连接槽33的槽宽皆大于卡销杆42和固定螺杆41的外径。且卡销杆42为方杆，防脱帽43为圆帽。这是为了使定位卡销4能够顺利的穿过导向镂空槽3并完成固定螺杆41的拧紧固定。
43.同时，手柄2竖直设置在两条定位卡销4之间的弧形卡条1上。手柄2包括从上往下同轴依次设置的握持部22、柄杆21以及安装螺杆23。弧形卡条1上设有用于固定安装手柄2的螺孔11。如此设计手柄2，能使其稳定的安装在弧形卡条1上，同时也方便了其对弧形卡条1平移的操控。
44.本实施例中，握持部22为球形，能方便工作人员握持。当然，在实际生产制造过程中，也可以根据需要将握持部22设计为其它形状。
45.另外，弧形卡条1的长度为晶圆放置口周长的1/4，弧形卡条1的厚度为1mm-2mm。如此设计弧形卡条1，能够稳定的完成对晶圆的限位目的。
46.需要注意的是：
47.弧形卡条1为光滑的不锈钢弧形卡条。采用光滑的不锈钢制作弧形卡条1，弧形卡条1与晶圆的接触面光滑，能避免晶圆被弧形卡条1划伤、压伤。并且，弧形卡条1的形状为弧形，能使其只处于晶圆的无效区内，不会损伤晶圆上的有效芯片。
48.以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。