一种分区加热式扩散泵的制作方法

1.本发明涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种分区加热式扩散泵。


背景技术：

2.扩散泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度，产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以，被抽气体分子就不断地扩散到蒸气流中。油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流方向流向泵壁，经过几次碰撞又反射回来，再受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到底真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，最后由前级真空泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。
3.现有扩散泵存在以下不足：1、扩散泵靠喷口间隙调整喷油量改变抽速特性，出厂一经确定便不可更改，很难满足不同需要；2、加热部分集中在一起很难做节能处理，改变功率会引起抽气特性的改变。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于针对现有扩散泵的不足，提供一种分区加热式扩散泵，解决以上技术问题。
5.为解决上述问题，本发明所采用的技术方案是：
6.一种分区加热式扩散泵，其喷射塔内从外向内依次设置有第一喷射区、第二喷射区、第三喷射区、第四喷射区；所述喷射塔的底部设置有与四个喷射区分别相对应的加热装置，每个喷射区所对应的加热装置分别配置有可单独调整加热功率的调功器；
7.各个调功器分别连接plc控制装置或微处理器处理，或者根据功能调整至最佳状态并节能；通过调功器改变加热功率，进而改变每级喷气压力和供气量，从而改变泵的特性，同时，所有加热装置分别通过相对应的调功器调整功率从而组合成扩散泵的多种抽气状态，以适于不同使用条件。
8.作为上述技术方案的优选之一，所述的加热装置为内置加热管，所述喷射塔的四个喷射区的底部分别装配有内置加热管，每个内置加热管分别连接调功器；内置加热管直接与油接触，加热效率高，热量损失小。
9.作为上述技术方案的优选之二，所述的加热装置为加热底盘，所述加热底盘包括加热板和顶板，所述加热板上均匀分布有导热槽，加大散热面积，加热效率高；所述顶板上设置有用于卡装固定喷射塔的喷射塔固定槽；所述加热底盘设置有分别与第一喷射区、第二喷射区、第三喷射区、第四喷射区相对应的第一油喷射区、第二油喷射区、第三油喷射区、第四油喷射区；所述第一油喷射区、第二油喷射区、第三油喷射区、第四油喷射区所对应的顶板上分别设置有第一喷油口、第二喷油口、第三喷油口、第四喷油口；所述第一油喷射区、第二油喷射区、第三油喷射区所对应的加热板为扇形加热板；所述第四油喷射区所对应的
加热板为圆形加热板；各个扇形加热板与中心的圆形加热板以及各个扇形加热板之间均设置有绝热槽，所述绝热槽内装配有绝热支撑隔板，以减少加热板的相互影响；所述圆形加热板和各个扇形加热板分别连接调功器。
10.作为上述技术方案的优选之三，所述的加热装置为加热底盘，所述加热底盘的顶板上设置有用于卡装固定喷射塔的喷射塔固定槽；所述加热底盘设置有分别与第一喷射区、第二喷射区、第三喷射区、第四喷射区相对应的第一油喷射区、第二油喷射区、第三油喷射区、第四油喷射区；所述第一油喷射区、第二油喷射区、第三油喷射区、第四油喷射区所对应的顶板上分别设置有第一喷油口、第二喷油口、第三喷油口、第四喷油口；所述加热底盘的每个油喷射区均设置有加热棒，各个加热棒上均安装有加热翅片；每个油喷射区的加热棒分别连接调功器；加热翅片散热面积大，效率高。
11.有益效果：与现有技术相比，本发明所述扩散泵的喷射塔底部设置有与每个喷射区分别相对应的加热装置，每个喷射区所对应的加热装置分别配置可单独调整加热功率的调功器，通过改变加热功率调整各个喷射区的喷气压力，改变供气量，从而改变泵的特性；所有加热装置通过单独调整功率从而组合成各种泵的抽气状态，以适于不同使用条件，同时，可通过plc控制或微处理器处理，根据功能调整至最佳状态，达到节能效果。
附图说明
12.图1为实施例1的结构示意图；
13.图2为实施例2的结构示意图；
14.图3为实施例2中所述加热底盘的俯视结构示意图；
15.图4为实施例2中所述加热底盘的立体结构示意图；
16.图5为实施例3的结构示意图；
17.图6为实施例3中所述加热底盘的俯视结构示意图；
18.图7为实施例3中所述加热底盘的立体结构示意图。
19.图中：1-喷射塔；11-第一喷射区；12-第二喷射区；13-第三喷射区；14-第四喷射区；2-内置加热管；3-调功器；41-圆形加热板；42-扇形加热板；43-绝热支撑隔板；51-第一油喷射区；52-第二油喷射区；53-第三油喷射区；54-第四油喷射区；61-第一喷油口；62-第二喷油口；63-第三喷油口；64-第四喷油口；7-喷射塔固定槽；81-加热翅片；82-加热棒。
具体实施方式
20.下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明。
21.实施例1：
22.参照图1，本实施例所述的分区加热式扩散泵，其喷射塔1内从外向内依次设置有第一喷射区11、第二喷射区12、第三喷射区13、第四喷射区14；所述喷射塔1的底部设置有与四个喷射区分别相对应的加热装置，每个喷射区所对应的加热装置分别配置有可单独调整加热功率的调功器3。所述的加热装置为内置加热管2，所述喷射塔1的四个喷射区的底部分别装配有内置加热管2，每个内置加热管2分别连接调功器3。
23.本实施例所述扩散泵的喷射塔底部设置有与每个喷射区分别相对应的内置加热管2，内置加热管2直接与油接触，加热效率高，热量损失小。每个内置加热管2分别配置可单
独调整加热功率的调功器，通过改变加热功率调整各个喷射区的喷气压力，改变供气量，从而改变泵的特性；所有加热装置通过单独调整功率从而组合成各种泵的抽气状态，以适于不同使用条件，同时，可通过plc控制或微处理器处理，根据功能调整至最佳状态，达到节能效果。
24.实施例2：
25.参照图2-4，本实施例所述的本实施例所述的分区加热式扩散泵，其喷射塔1内从外向内依次设置有第一喷射区11、第二喷射区12、第三喷射区13、第四喷射区14；所述喷射塔1的底部设置有与四个喷射区分别相对应的加热装置，每个喷射区所对应的加热装置分别配置有可单独调整加热功率的调功器3。所述的加热装置为加热底盘，所述加热底盘包括加热板和顶板，所述加热板上均匀分布有导热槽44，加大散热面积，加热效率高。所述顶板上设置有用于卡装固定喷射塔1的喷射塔固定槽7；所述加热底盘设置有分别与第一喷射区11、第二喷射区12、第三喷射区13、第四喷射区14相对应的第一油喷射区51、第二油喷射区52、第三油喷射区53、第四油喷射区54；所述第一油喷射区51、第二油喷射区52、第三油喷射区53、第四油喷射区54所对应的顶板上分别设置有第一喷油口61、第二喷油口62、第三喷油口63、第四喷油口64；所述第一油喷射区51、第二油喷射区52、第三油喷射区53所对应的加热板为扇形加热板42；所述第四油喷射区54所对应的加热板为圆形加热板41；各个扇形加热板42与中心的圆形加热板41以及各个扇形加热板42之间均设置有绝热槽，所述绝热槽内装配有绝热支撑隔板43，以减少各喷射区加热板间的相互影响；所述圆形加热板41和各个扇形加热板42分别连接调功器3。
26.本实施例所述扩散泵的喷射塔底部设置有与每个喷射区分别相对应的加热板，各喷射区对应的加热板分别配置可单独调整加热功率的调功器，通过改变加热功率调整各个喷射区的喷气压力，改变供气量，从而改变泵的特性；所有加热装置通过单独调整功率从而组合成各种泵的抽气状态，以适于不同使用条件，同时，可通过plc控制或微处理器处理，根据功能调整至最佳状态，达到节能效果。
27.实施例3：
28.参照图5-7，本实施例所述的本实施例所述的本实施例所述的分区加热式扩散泵，其喷射塔1内从外向内依次设置有第一喷射区11、第二喷射区12、第三喷射区13、第四喷射区14；所述喷射塔1的底部设置有与四个喷射区分别相对应的加热装置，每个喷射区所对应的加热装置分别配置有可单独调整加热功率的调功器3。所述的加热装置为加热底盘，所述加热底盘的顶板上设置有用于卡装固定喷射塔1的喷射塔固定槽；所述加热底盘设置有分别与第一喷射区11、第二喷射区12、第三喷射区13、第四喷射区14相对应的第一油喷射区、第二油喷射区、第三油喷射区、第四油喷射区；所述第一油喷射区、第二油喷射区、第三油喷射区、第四油喷射区所对应的顶板上分别设置有第一喷油口61、第二喷油口62、第三喷油口63、第四喷油口64；所述加热底盘的每个油喷射区均设置有加热棒82，各个加热棒82上均安装有加热翅片81，加热翅片81的散热面积大，效率高。每个油喷射区的加热棒82分别连接调功器3。
29.本实施例所述扩散泵的喷射塔底部设置有与每个喷射区分别相对应的加热棒和加热翅片，各喷射区对应的加热棒分别配置可单独调整加热功率的调功器，通过改变加热功率调整各个喷射区的喷气压力，改变供气量，从而改变泵的特性；所有加热装置通过单独
调整功率从而组合成各种泵的抽气状态，以适于不同使用条件，同时，可通过plc控制或微处理器处理，根据功能调整至最佳状态，达到节能效果。
30.以上仅为本发明的实施方式，并非因此限制另一方面通过本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本发明的专利保护范围之内。