一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置的制作方法

一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置
【技术领域】
1.本发明涉及真空镀膜领域，尤其是一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置。


背景技术：

2.传统的连续式镀膜生产一般在一条连续式生产线上完成，其往一条直线方向进行流水式加工。当产品需要镀膜的膜层需求越多时，镀膜加工工艺的流程要求也越多，所需要配置的靶位也需要随之增加，从而导致所需要的镀膜真空室的节数(数量)增多，最终导致生产线线体的长度增加，从而需要占用的厂房空间也随之而增加。而一些厂房受长度的限制，无法摆放总长度过长的连续生产线，因此无法制备膜层要求复杂的产品。
3.为解决上述技术问题，申请人提出一种可缩短镀膜生产线整体长度且可提高镀膜生产效率的用于连续镀膜生产线上的基片架回转设备的技术方案，在该回转设备中，如何实现基片架本体的驱动和在驱动过程中保证气密性正是本发明所需要解决的。


技术实现要素：

4.本发明要解决的技术问题是提供可保证驱动平稳性的同时保证气密性的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置。
5.本发明的目的是这样实现的：
6.一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，包括回转架、设于所述回转架侧部且用于驱动基片架本体送入或送出真空回转室的传送组件以及设于所述回转架的底部且用于驱动所述回转架转动180
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的转动驱动件，所述转动驱动件包括固设于真空回转室底部的定子和可转动地设于所述定子内的转子，所述定子与真空回转室之间设有密封件，所述转子与所述定子之间设有用于填充磁流体的磁流体密封腔。
7.本发明采用上述结构，可将镀膜生产线从中间“翻折”180
°
，从而将镀膜生产线的长度缩短一半，另外转动驱动件能在真空回转室外的大气环境中正常运行，在填充于磁流体密封腔内的磁流体和密封件的密封作用下可保证真空回转室不会在转动驱动件的位置处发生漏气，保证了驱动平稳性的同时保证了气密性。
8.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述回转架的底部设有隔离舱，所述转子设有将其贯穿且与所述隔离舱相连通的转子通道，所述转子与所述隔离舱的底部固定连接且其二者之间也设有密封件，从而保证隔离舱与真空回转室内的真空环境隔离，为转子通道的设置可保证隔离舱与外接大气接通以便于穿入相应的管线。
9.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述传送组件包括若干传送轮和设于所述隔离舱内且用于驱动所述传送轮转动的磁传动组，所述磁传动组包括分别固设于所述隔离舱的内侧和外侧的内磁座和外磁座，所述内磁座和所述外磁座上分别可转动地设有主动轴和从动轴，所述内磁座和所述外磁座内分别设有可随所述主动轴和所述从动轴转动的主动磁体和从动磁体。隔离舱通过转子通道与外界大气相通，使得内磁座
和主动轴在大气环境中正常运行，主动轴转动即可驱动从动轴和传送轮转动，从而平稳地驱动基片架本体送入或送出真空回转室。
10.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述回转架的顶部设有用于对基片架本体进行导向的磁导轨，所述磁导轨的两侧设有磁性相同的磁铁，从而进一步保证基片架本体在送入或送出真空回转室的过程中的传动平稳性和效率。
11.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述传送组件和所述磁导轨倾斜设置，从而适配大尺寸产品的回转设备。
12.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述传送组件和所述磁导轨水平设置，从而适配小尺寸产品的回转设备。
13.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述隔离舱与基片架本体之间限位装置，所述限位装置包括设于所述隔离舱外侧的电磁铁和设于基片架本体上且用于供所述电磁铁吸住的定位片，从而对基片架本体进行有效的定位，防止基片架本体因倾斜而甩出。
14.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述回转架的前后两侧均设有中空支撑杆，所述中空支撑杆的顶部设有加热密封舱，两所述加热密封舱的外侧均设有所述磁导轨，相应的，所述回转架的前后两侧均设有所述传送组件。回转架的前后两侧均设有传送组件、磁导轨、中空支撑杆，从而可进一步提高镀膜生产线的加工效率。
15.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述中空支撑杆的外侧设有用于对承载于基片架本体上的基片进行加热的加热组件，所述加热组件与所述中空支撑杆之间设有隔热板。
16.如上所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，所述隔离舱和所述加热密封腔上均设有冷却水道，所述密封舱通过所述中空支撑杆与所述隔离舱相连通，从而方便传送组件和加热组件的电源线路和冷却水道的水管路通过转子通道引出，并有效与真空回转室内的真空环境相隔离。
【附图说明】
17.下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细说明，其中：
18.图1为本发明所述传送组件和所述磁导轨倾斜设置的结构示意图；
19.图2为本发明所述转动驱动件的结构示意图；
20.图3为本发明所述传送组件(倾斜设置)的结构示意图；
21.图4为本发明所述限位装置的结构示意图；
22.图5为本发明所述定位片的结构示意图；
23.图6为本发明所述回转架(所述中空支撑杆倾斜设置)的结构示意图；
24.图7为本发明所示传送组件和所述磁导轨水平设置的结构示意图；
25.图8为本发明适配适配大尺寸产品的回转设备时(所述传送组件和所述磁导轨倾斜设置)的使用状态参考图；
26.图9为本发明适配适配小尺寸产品的回转设备时(所述传送组件和所述磁导轨水平设置)的使用状态参考图。
【具体实施方式】
27.一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，包括回转架31、设于回转架31侧部且用于驱动基片架本体10送入或送出真空回转室1的传送组件4以及设于回转架31的底部且用于驱动回转架31转动180
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的转动驱动件5，转动驱动件5包括固设于真空回转室1底部的定子51和可转动地设于定子51内的转子52，定子51与真空回转室1之间设有密封件50，转子52与定子51之间设有用于填充磁流体的磁流体密封腔53。
28.为作整体支撑，回转架31的底部设有隔离舱6，为保证隔离舱6与外接大气接通并便于穿入相应的管线，转子52设有将其贯穿且与隔离舱6相连通的转子通道521，为保证气密性，转子52与隔离舱6的底部固定连接且其二者之间也设有密封件50。
29.传送组件4包括若干传送轮41和设于隔离舱6内且用于驱动传送轮41转动的磁传动组42，磁传动组42包括分别固设于隔离舱6的内侧和外侧的内磁座421和外磁座422，内磁座421和外磁座422上分别可转动地设有主动轴423和从动轴424，内磁座421和外磁座422内分别设有可随主动轴423和从动轴424转动的主动磁体和从动磁体。隔离舱6通过转子通道521与外界大气相通，使得内磁座421和主动轴423在大气环境中正常运行，主动轴423转动即可驱动从动轴424和传送轮41转动，从而驱动基片架本体10送入或送出真空回转室11。优选的，传送轮41采用摩擦轮，主动轴423通过同步带驱动机构同步驱动。隔离舱6可作为磁传动系统的载体，使得基片架本体10的行走采用无泄漏的磁传动方式进行，其具有传动简单可靠和无泄漏的优点。
30.为保证基片架本体10在送入或送出真空回转室1的过程中的传动平稳性和效率，回转架31的顶部设有用于对基片架本体10进行导向的磁导轨7，磁导轨7的两侧设有磁性相同的磁铁，从而保证磁导轨7可对基片架本体10进行无接触式传动导向。可在导轨7的内侧设置用于检测基片架本体10位置的光电(可检测基片架本体10是否完全送入或完全送出真空回转室)，其采用镜面反射的方式，单边使用4对光电，使得起始，加速，减速，停止等动作都能很好的加以控制。
31.为适配大尺寸产品的回转设备，传送组件4和磁导轨7倾斜设置，此时磁导轨7内位于外侧的磁铁的磁力大于位于内侧的磁铁的磁力。
32.为适配小尺寸产品的回转设备，传送组件4和磁导轨7水平设置。
33.为对基片架本体10进行有效的定位，隔离舱6与基片架本体10之间限位装置8，限位装置8包括设于隔离舱6外侧的电磁铁81和设于基片架本体10上且用于供电磁铁81吸住的定位片82。限位装置8可有效防止基片架本体10在旋转180
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时因倾斜而甩出。限位装置8尤为适用于传送组件4和磁导轨7倾斜设置的具体实施例中。
34.在传送组件4和磁导轨7倾斜设置的具体实施例中，回转架31的前后两侧均设有中空支撑杆8(也为倾斜设置，如图1和图6所示)，中空支撑杆8的顶部设有加热密封舱80，两所述加热密封舱80的外侧均设有所述磁导轨7，相应的，回转架31的前后两侧均设有所述传送组件4。中空支撑杆8的外侧设有用于对承载于基片架本体10上的基片进行加热的加热组件9，为防止两侧的加热组件9所产生的热量相互影响，加热组件9与中空支撑杆8之间设有隔热板90。在传送组件4和磁导轨7水平设置的具体实施例中，其回转架31仅在中部设置竖直的中空支撑杆8，中控支撑杆8的顶部也设有加热密封舱80，其加热密封舱80的两侧均设有磁导轨7，回转架31的前后两侧也设有两所述传送组件4和加热组件9及隔热板90，不过为了
使得整体结构更为紧凑，可将隔离舱6一分为三(如图7所示)，两所述传送组件4分别设于两侧的舱内(两侧舱与中间舱通过连通管连通，连通管可穿水管和电线)，且传送轮41朝向内侧，这样可缩小真空回转室1的整体尺寸。
35.为对隔离舱6和加热密封舱80进行冷却防止温升对传送组件4和内部线路的正常运作造成影响，隔离舱6和加热密封腔80上均设有冷却水道60，为有效解决水电引出的技术问题，密封舱80通过中空支撑杆8与隔离舱6相连通，传送组件4和加热组件9等用电器的电源线路和冷却水道60的水管路可加热密封舱80、中空支撑杆8、隔离舱6和转子通道521引出，并有效与真空回转室1内的真空环境相隔离。中空支撑杆8采用不锈钢双圆管制作，管内可通冷却水，另外还可以通气管和电线，隔离舱6作为整个回转架31的支撑，也是水电气引入后的集中布置腔室，加热组件9则集中在加热密封舱80进行固定和引电。
36.本发明使用时，传送组件4工作并驱动传送轮41转动，在镀膜生产线上完成上一工序的产品随基片架本体10进入真空回转室1时，基片架本体10底侧承托于传送轮41上，随后传送轮41将该基片架本体10送入真空回转室1内，送入过程中，磁导轨7对基片架本体10进行磁导向，当该基片架本体10完全送入真空回转室1内时，传送组件4停止工作，同时电磁铁81得电并将该基片架本体10上的定位片82吸住，随后转动驱动件5驱动回转架31转动180
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(可设置行程开关来检测回转架31是否转动到位)，此时电磁铁81失电并释放该基片架本体10，同时传送组件开始工作并驱动该基片架本体10送出真空回转室1(磁导轨7对基片架本体10进行磁导向)。值得注意的是，两侧的传送组件4可同时工作，即在传送组件4将前一基片架本体10送出的同时另一传送组件4将后一基片架本体10送入真空回转室1内，当完成前一基片架本体10的送出动作时，后一基片架本体10也完成送入动作，此时转动驱动件5再次驱动回转架31回转180
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以送入再后一件基片架本体10，如此重复循环。