一种隔热装置及PECVD设备的制作方法

一种隔热装置及pecvd设备
技术领域
1.本技术各实施例属于清洁辅助设备技术领域，更具体地说，是涉及一种隔热装置及pecvd设备。


背景技术：

2.随着太阳能发电的普及，相关的光伏产品需求量越来越大，因此对光伏设备的要求越来越高，不仅要增加产能，而且需要更好的控制质量，管式pecvd 设备是太阳能电池片生产中重要的设备，主要是用于完成硅片表面的镀膜工作。
3.目前，管式pecvd清洁的主要手段是借助耙子形状的石英装置，通过人工进行清理。每次清理炉管内的碎片时，首先打开炉门，然后靠手动将石英耙子慢慢放到炉管内，然后缓慢将碎片拉到炉口，进行清理，之后再用气管吹扫角落处，进一步清理不能或者难于耙出的碎片，此种清洁方法由于炉管内的温度较高，人员操作存在极大安全隐患。


技术实现要素：

4.本技术的目的在于提供一种隔热装置，以解决现有技术中存在的具有安全隐患的问题。
5.为了实现上述的目的，第一方面，本技术提供了一种隔热装置，包括，挡板；
6.所述挡板上设置有开口，所述挡板上设置有用于遮盖所述开口的遮挡机构，所述遮挡机构可转动的设置在所述挡板上。
7.作为本技术的优选实施例，所述挡板上设置有第一固定件，所述遮挡机构一端与所述第一固定件转动连接。
8.作为本技术的优选实施例，所述挡板上还设置有第二固定件，所述遮挡机构远离第一固定件的一端设置有连接件，当所述遮挡机构围绕所述第一固定件转动远离所述开口时，所述连接件远离所述遮挡机构的一端与所述第一固定件连接以拉起遮挡机构。
9.作为本技术的优选实施例，所述遮挡机构包括多个依次并列设置的可分离的遮挡件，且每个所述遮挡件对应设置一个连接件。
10.作为本技术的优选实施例，所述遮挡件靠近第一固定件的一端设有套设在第一固定件上的轴套，所述遮挡件通过所述轴套与所述第一固定件转动连接，所述遮挡件远离第一固定件的一端设有与所述连接件配合使用的开孔。
11.作为本技术的优选实施例，所述遮挡机构为片状结构，且所述遮挡机构的面积不小于所述开口的面积。
12.作为本技术的优选实施例，所述挡板上还设置有透明的观察窗。
13.作为本技术的优选实施例，所述挡板上还设置有握持机构。
14.作为本技术的优选实施例，所述挡板上设有至少二个用于固定所述挡板的第三固定件。
15.与现有技术相比，第一方面，本技术提供的一种隔热装置，能够较好地将热源与人
体隔离开来，清洁时安全性较好，使用方便。
16.第二方面，本技术实施例还提供了一种pecvd设备，所述pecvd设备的炉管上设置有第一方面所述的隔热装置。
17.与现有技术相比，第二方面提供的pecvd设备的有意效果与第一方面相同，在此不在赘述。
附图说明
18.此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分，本领域技术人员应该理解的是，这些附图未必是按比例绘制的，在附图中：
19.图1是本技术实施例的结构示意图；
20.图2是本技术实施例的立体示意图。
21.附图标记：
22.1-挡板，2-观察窗，3-遮挡机构，4-连接件，5-第一固定件，6-第二固定件，7-套管，8-开口，9-窗框，10-第三固定件，11-握持机构，31-遮挡件。
具体实施方式
23.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
24.第一方面，如图1-2所示，在本技术的一具体实施例中，提出了一种隔热装置，用于清洁管式pecvd设备炉管内的碎片，所述隔热装置包括挡板1，遮挡机构3和第一固定件5，所述挡板1上设有用于伸入洁具的开口8，所述第一固定件5设于开口8上方，第一固定件5两端分别通过套管7与挡板1连接，在本技术实施例中，所述第一固定件5为柱状结构，所述遮挡机构3可转动的设置于第一固定件5上，遮挡机构3用于遮盖开口8，为了防止第一固定件5移位，所述的两个套管7的外侧分别设有螺母，所述螺母与第一固定件5对应的端部螺纹连接。
25.在本技术实施例中，所述挡板1上还设置有第二固定件6，所述第二固定件 6设于第一固定件5远离开口8的一侧，所述遮挡机构3远离第一固定件5的一端设置有连接件4，当所述遮挡机构3围绕所述第一固定件5转动远离所述开口 8时，所述连接件4远离所述遮挡机构3的一端与所述第一固定件5连接以拉起遮挡机构3，将洁具伸入开口8对管式pecvd设备炉管内的碎片进行清洁，所述连接件4远离所述遮挡机构3的一端与第二固定件6可拆卸连接，在本技术实施例中，所述连接件4两端为勾状结构，且所述连接件4的本体为条状结构，在本技术实施例中，洁具包括耙子，扫把等。
26.在本技术实施例中，挡板1用于遮挡管式pecvd设备炉管的热量，挡板1 优选采用含保温棉的镜面板制作，具有有效隔热的功能，当在高温下清扫管式 pecvd设备炉管内碎
片时，不会对清洁人员造成伤害，减少了安全隐患。
27.在本技术优选实施例中，所述遮挡机构3包括多个依次并列设置的可分离的遮挡件31，且每个所述遮挡件31对应设置一个连接件4，本技术通过可分离的遮挡件31可以防止更多的热量外溢，清洁时安全性较好，使用方便，本技术可以根据管式pecvd设备炉管内的待清洁的碎片位置，针对性的将部分遮挡件31拉起远离开口8进行清洁管式pecvd设备炉管内的碎片。
28.在本技术优选实施例中，所述遮挡件31靠近第一固定件5的一端设有轴套，所述轴套套设在第一固定件5上且与第一固定件5转动连接，所述遮挡件31远离第一固定件5的一端设有与连接件4配合使用的开孔。通过遮挡件31上的开孔，连接件4可以将遮挡件31的下端拉起远离所述开口8，从而将开口8敞开，便于清洁人员将洁具通过开口8伸入管式pecvd设备炉管内的碎片进行清洁，使用时，可以同时通过连接件4拉起与其对应一个或多个遮挡件31对管式 pecvd设备炉管内的碎片进行清洁，遮挡件31遮挡开口8时，可以遮挡管式 pecvd炉管内的热量外溢，遮挡件3拉起开口8时，具有洁具活动的空间，便于对管式pecvd设备炉管的碎片进行清洁，使用方便。
29.在本技术实施例中，所述遮挡机构3为片状结构，且所述遮挡机构3的面积不小于所述开口8的面积，便于遮挡机构3将开口8全部遮挡，防止管式 pecvd内的热量外溢。
30.为了便于观察开口8或管式pecvd内部的情况，所述挡板1上设有透明的观察窗2，该观察窗2设置在第一固定件5远离开口8的一侧，所述观察窗2 通过窗框9与挡板1固定连接。
31.在本技术优选实施例中，为了便于把持或拿取挡板1，所述挡板1上设有握持机构11，所述握持机构11为手柄。
32.在本技术优选实施例中，为了方便将挡板1挂在管式pecvd的炉口法兰上，所述挡板1上设有至少二个用于挂住或固定挡板1的第三固定件10，在本技术实施中，第三固定件10可以为销钉，螺丝等。
33.第二方面，本技术还提供了一种pecvd设备，所述pecvd设备的炉管上设置有第一方面所述的隔热装置。
34.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。