半导体级硅单晶炉的底部加热器的制作方法

1.本实用新型属于半导体级硅单晶炉技术领域，具体为半导体级硅单晶炉的底部加热器。


背景技术：

2.单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位，处于新材料发展的前沿。
3.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
4.目前的炉体结构多数以炉壁部分加热位置，通过热量传递实现对多晶熔化，但是，炉体的底部由于需要排放熔化后的产物，所以一般不设置有加热结构，导致整个炉体的加热增加，受热达不到最佳均匀状态。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供半导体级硅单晶炉的底部加热器，以解决炉体底部加热的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：半导体级硅单晶炉的底部加热器，包括底座，所述底座内设置有加热管，所述加热管与底座之间通过隔热板隔热固定，所述底座上设置有铜板，所述铜板与加热管接触贴合，所述铜板上设置有内置孔，所述铜板上放置有炉体，所述炉体的下端设置有贯穿底座的出料口，所述出料口与内置孔滑动贯穿，所述底座内设置有隔热层，加热管为电热管结构，通过导线插头与室内220v电源插排插接通电。
7.优选的，所述底座上固定有对位块，所述炉体的两侧均固定有与对位块滑动套设的对位座，便于炉体和加热管的定位对接。
8.优选的，所述对位块上设置有凹槽，凹槽内滑动套设有卡销，卡销与凹槽通过弹簧连接，保证卡销的伸缩复位稳定。
9.优选的，所述对位座上设置有通孔，所述卡销与通孔滑动套设，便于炉体与底座的装配和分离。
10.优选的，所述铜板上固定嵌入有螺纹套，所述底座上设置有螺纹孔，配合螺纹旋钮能够将铜板与底座固定。
11.优选的，所述螺纹套和螺纹孔通过螺纹旋钮螺纹对接，螺纹旋钮为蝶形结构，便于铜板与底座的装配和拆卸。
12.优选的，所述隔热板和隔热层均由石膏板材料制成，能够起到良好隔热的效果。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过加热管的通电加热能够从炉体的底部对炉体内的材料进行加热，配合铜板，使得加热更加均匀，且底座与炉体方便装配，
便于定期检修加热管。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构示意图；
15.图2为本实用新型的底座内部结构示意图；
16.图3为本实用新型的加热管形状示意图；
17.图4为本实用新型的卡销部分局部放大示意图；
18.图5为本实用新型的螺纹旋钮部分局部放大示意图。
19.图中：1、底座；11、加热管；12、隔热板；13、铜板；14、内置孔；15、炉体；16、出料口；17、隔热层；2、对位座；21、对位块；3、凹槽；31、卡销；32、弹簧；33、通孔；4、螺纹套；41、螺纹槽；42、螺纹旋钮。
具体实施方式
20.请参阅图1、图2和图3，半导体级硅单晶炉的底部加热器，包括底座1，底座1内设置有加热管11，加热管11与底座1之间通过隔热板12隔热固定，底座1上设置有铜板13，铜板13与加热管11接触贴合，铜板13上设置有内置孔14，铜板13上放置有炉体15，炉体15的下端设置有贯穿底座1的出料口16，出料口16与内置孔14滑动贯穿，底座1内设置有隔热层17，加热管11为电热管结构，通过导线插头与室内220v电源插排插接通电。
21.参阅图1和图4，底座1上固定有对位块21，炉体15的两侧均固定有与对位块21滑动套设的对位座2，便于炉体15和加热管11的定位对接。
22.参阅图1和图4，对位块21上设置有凹槽3，凹槽3内滑动套设有卡销31，卡销31与凹槽3通过弹簧32连接，保证卡销31的伸缩复位稳定。
23.参阅图1和图4，对位座2上设置有通孔33，卡销31与通孔33滑动套设，便于炉体15与底座1的装配和分离。
24.参阅图1和图5，铜板13上固定嵌入有螺纹套4，底座1上设置有螺纹孔41，配合螺纹旋钮42能够将铜板13与底座1固定。
25.参阅图1和图5，螺纹套4和螺纹孔41通过螺纹旋钮42螺纹对接，螺纹旋钮42为蝶形结构，便于铜板13与底座1的装配和拆卸。
26.参阅图1和图2，隔热板12和隔热层17均由石膏板材料制成，能够起到良好隔热的效果。
27.本方案的工作原理是：当需要将底座1与炉体15进行装配时，通过对位块21插入到对位座2内，使得两者能够定位，当卡销31的位置与通孔33的位置对应时，通过弹簧32的复位效果，使得卡销31弹入到通孔33内，从而完成炉体15与底座1的固定。
28.当需要对炉体15的底部进行加热时，接通加热管11的电源，通过电加热的方式，对炉体15的底部进行加热，加热管11通过热量传递，使得铜板13受热，铜板13导热效果好，与炉体15底部均匀贴合，保证加热的均匀性。
29.当需要检修加热管11时，通过螺纹旋钮42分别与螺纹套4和螺纹槽41螺纹脱开，完成铜板13的拆卸。


技术特征：
1.半导体级硅单晶炉的底部加热器，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内设置有加热管(11)，所述加热管(11)与底座(1)之间通过隔热板(12)隔热固定，所述底座(1)上设置有铜板(13)，所述铜板(13)与加热管(11)接触贴合，所述铜板(13)上设置有内置孔(14)，所述铜板(13)上放置有炉体(15)，所述炉体(15)的下端设置有贯穿底座(1)的出料口(16)，所述出料口(16)与内置孔(14)滑动贯穿，所述底座(1)内设置有隔热层(17)。2.根据权利要求1所述的半导体级硅单晶炉的底部加热器，其特征在于：所述底座(1)上固定有对位块(21)，所述炉体(15)的两侧均固定有与对位块(21)滑动套设的对位座(2)。3.根据权利要求2所述的半导体级硅单晶炉的底部加热器，其特征在于：所述对位块(21)上设置有凹槽(3)，凹槽(3)内滑动套设有卡销(31)，卡销(31)与凹槽(3)通过弹簧(32)连接。4.根据权利要求3所述的半导体级硅单晶炉的底部加热器，其特征在于：所述对位座(2)上设置有通孔(33)，所述卡销(31)与通孔(33)滑动套设。5.根据权利要求1所述的半导体级硅单晶炉的底部加热器，其特征在于：所述铜板(13)上固定嵌入有螺纹套(4)，所述底座(1)上设置有螺纹孔(41)。6.根据权利要求5所述的半导体级硅单晶炉的底部加热器，其特征在于：所述螺纹套(4)和螺纹孔(41)通过螺纹旋钮(42)螺纹对接，螺纹旋钮(42)为蝶形结构。7.根据权利要求1所述的半导体级硅单晶炉的底部加热器，其特征在于：所述隔热板(12)和隔热层(17)均由石膏板材料制成。

技术总结
本实用新型公开了半导体级硅单晶炉的底部加热器，包括底座，底座内设置有加热管，加热管与底座之间通过隔热板隔热固定，底座上设置有铜板，铜板与加热管接触贴合，铜板上设置有内置孔，铜板上放置有炉体，炉体的下端设置有贯穿底座的出料口，出料口与内置孔滑动贯穿，底座内设置有隔热层。通过加热管的通电加热能够从炉体的底部对炉体内的材料进行加热，配合铜板，使得加热更加均匀，且底座与炉体方便装配，便于定期检修加热管。便于定期检修加热管。便于定期检修加热管。


技术研发人员：顾海浪
受保护的技术使用者：顾海浪
技术研发日：2021.09.03
技术公布日：2022/4/1