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光栅结构、镜片及头戴显示设备的制作方法

2022-03-22 23:24:45 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种光栅结构,所述光栅结构包括基底和设于所述基底一表面的多个光栅部,多个光栅部在所述基底的延伸方向上间隔排布,其特征在于,所述光栅部的至少部分表面镀设有增强层,所述增强层的折射率大于所述光栅部的折射率。2.如权利要求1所述的光栅结构,其特征在于,所述增强层的材料为二氧化钛、氧化铝和氧化镁中的一种;和/或,所述增强层的折射率是所述光栅部的折射率的1.25倍及以上。3.如权利要求2所述的光栅结构,其特征在于,每一所述光栅部包括与所述基底表面相平行的顶面、和连接于所述顶面与所述基底表面的侧面,所述顶面、侧面及所述基底设有所述光栅部的表面均设有所述增强层;和/或,所述基底的材料为二氧化硅或树脂;和/或,所述光栅部的材料为二氧化硅或树脂。4.如权利要求3所述的光栅结构,其特征在于,所述顶面、侧面及所述基底的表面中的至少两者镀设的增强层的厚度不相同。5.如权利要求4所述的光栅结构,其特征在于,在多个所述光栅部的排布方向上,所述光栅部的高度大于所述光栅部的宽度,所述顶面和所述基底的表面镀设的增强层的厚度相同,并小于所述侧面镀设的增强层的厚度。6.如权利要求5所述的光栅结构,其特征在于,所述顶面镀设的增强层的厚度为所述侧面镀设的增强层的厚度的70%~80%。7.如权利要求4所述的光栅结构,其特征在于,在多个所述光栅部的排布方向上,所述光栅部的高度小于所述光栅部的宽度,所述顶面和所述基底的表面镀设的增强层的厚度相同,并大于所述侧面镀设的增强层的厚度。8.如权利要求3所述的光栅结构,其特征在于,设定所述光栅结构的周期为a,所述增强层的厚度d的范围为4%a~6%a。9.如权利要求8所述的光栅结构,其特征在于,每一所述光栅部的高度h的范围为40%a~60%a;和/或,在多个所述光栅部的排布方向上,每一所述光栅部的宽度范围为15%a~35%a。10.如权利要求1至9任一项所述的光栅结构,其特征在于,所述增强层通过原子层沉积、化学气相沉积、物理气相沉积或磁控溅射的方式镀设;和/或,所述光栅结构为耦入光栅或耦出光栅。11.一种镜片,其特征在于,所述镜片包括衬底和如权利要求1至10中任一项所述的光栅结构,所述基底背离所述光栅部的表面贴设于所述衬底的表面。12.一种头戴显示设备,其特征在于,所述头戴显示设备包括图像源和如权利要求11所述的镜片,所述镜片位于所述图像源的出光侧。13.如权利要求12所述的头戴显示设备,其特征在于,所述光栅结构为耦入光栅时,其与所述图像源正对设置;和/或,所述图像源为硅基液晶模块、透射液晶模块、数字光处理模块或激光扫描模块。14.如权利要求12所述的头戴显示设备,其特征在于,所述图像源的视场角的范围为40
°
~60
°

和/或,所述图像源的出射光线波长范围为520nm~530nm。

技术总结
本发明公开了一种光栅结构、镜片及头戴显示设备,所述光栅结构包括基底和设于所述基底一表面的多个光栅部,多个光栅部在所述基底的延伸方向上间隔排布,所述光栅部的至少部分表面镀设有增强层,所述增强层的折射率大于所述光栅部的折射率。本发明的技术方案通过镀膜对光栅结构进行优化,提高光栅结构的折射率,从而提高光栅的衍射效率和均匀性。而提高光栅的衍射效率和均匀性。而提高光栅的衍射效率和均匀性。


技术研发人员:刘立川 饶轶
受保护的技术使用者:歌尔股份有限公司
技术研发日:2021.11.29
技术公布日:2022/3/21
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