碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构的制作方法

技术特征：
1.碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，包括升降机构，所述升降机构的升降滑台上安装有旋转机构，其特征在于，所述旋转机构包括一旋转杆，所述旋转杆与籽晶杆可拆卸连接；所述旋转杆与所述籽晶杆上下插接，所述旋转杆的外壁上螺纹连接有锁紧螺母，所述锁紧螺母的外壁上设有一环状凹槽；还包括一锁紧圈，所述锁紧圈包括两个夹紧圈，两个夹紧圈的一端相互铰接，两个夹紧圈的另一端可拆卸连接，所述两个夹紧圈的内壁设有嵌入所述环状凹槽的突起；两个夹紧圈的下端设有下端台阶；所述籽晶杆的顶部设有与所述下端台阶的顶部相抵的上端台阶，所述上端台阶的下侧面与所述下端台阶的顶面相抵。2.根据权利要求1所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述升降机构包括升降滑台，所述升降滑台上安装有横向运动的调整板，所述调整板通过一水平调节机构连接一集装板；所述集装板安装有磁流体旋转装置，所述磁流体旋转装置安装在所述旋转杆的外侧，且与所述旋转轴同心密封连接，所述集装板、调整板以及所述升降滑台从上至下排布，且所述集装板、所述调整板以及所述升降滑台上开设有用于旋转杆穿过的通孔；所述水平调节机构包括至少三个周向排布的中空调整螺钉，所述中空调整螺钉与所述集装板的螺纹连接，所述中空调整螺钉与螺母螺纹连接；所述螺母与所述集装板的下端面相抵；所述中空调整螺钉上插设有一螺栓，所述螺栓的头部与中空调整螺钉之间夹设有上下设置的球面垫圈以及锥面垫圈，且球面垫圈以及锥面垫圈套设在所述中空调整螺钉的外围；所述螺栓的底部与所述调整板螺纹连接，所述螺栓的外围且所述中空调整螺钉与所述调整板之间设有上下设置的球面垫圈以及锥面垫圈。3.根据权利要求2所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述螺栓与所述中空调整螺钉之间存有间隙。4.根据权利要求2所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述升降滑台上安装有一调心机构；所述调心机构包括所述调整板、调整块以及压板，所述压板抵靠在所述调整板和调整块的上方，所述压板压设在所述调整块的外边缘的上方；所述调整块高度与调整板高度一致，所述调整块通过螺栓锁紧固定在所述升降滑台上；所述压板上开设有并排设置的腰形孔，所述压板通过穿过所述腰形孔的螺栓与所述升降滑台相连；所述调整块竖直设置，所述调整块上螺纹连接有水平设置的调节螺栓，所述调节螺栓与所述调整板的外边缘的侧壁相抵；所述调节螺栓上螺纹连接有螺母，所述螺母与所述调整块相抵。5.根据权利要求2所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述集装板的下方安装有密封轴，所述密封轴与所述集装板之间安装有密封圈；所述密封轴的下方与波纹管的上端密封连接，所述波纹管的下端与长晶腔体密封连
接。6.根据权利要求2所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述旋转机构包括伺服电机以及减速机，所述伺服电机的动力输出轴与所述减速机的动力输入端相连，所述减速机的动力输出轴通过皮带与所述旋转杆的传动连接；所述减速机安装在减速机支座上，所述减速机支座安装在所述集装板上。7.根据权利要求2所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述升降机构包括一升降电机、第一减速机、第二减速机、球减速机、升降模组；所述升降电机的动力输出轴与所述第一减速器的动力输入轴相连，所述第一减速机的动力输出轴与所述第二减速机的动力输入轴相连，所述第二减速机的动力输出轴通过皮带与所述球减速机的动力输入轴相连；所述球减速机的动力输出轴与所述升降模组的丝杆传动连接；所述升降滑台上安装有与丝杆相匹配的螺母。8.根据权利要求7所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述第二减速机带有电磁离合器，所述电磁离合器用于第二减速机进行1:1与1:249的减速比的切换。9.根据权利要求2所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述升降机构包括一安装座，所述安装座的侧面固定有一竖直设置的标尺；所述升降滑台连接有一指针，所述安装座上开设有用于所述指针外露的开口，所述指针指向所述标尺。10.根据权利要求1所述的碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，其特征在于：所述旋转杆的上端螺纹连接有旋转接头，所述旋转杆是中空旋转杆，所述中空旋转杆与所述旋转接头内部安装有一轴内水冷管，所述轴内水冷管的顶部与所述旋转接头相连，所述轴内水冷管与所述中空旋转杆之间存有导流通道，所述导流通道与所述轴内水冷管的内孔导通；所述旋转接头上开设有与所述轴内水冷管对接导通的第一开口与所述导流通道对接导通的第二通道。

技术总结
本发明涉及半导体设备领域。碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构，包括升降机构，升降机构的升降滑台上安装有旋转机构，旋转机构包括一旋转杆，旋转杆与籽晶杆可拆卸连接；旋转杆与籽晶杆上下插接，旋转杆的外壁上螺纹连接有锁紧螺母，锁紧螺母的外壁上设有一环状凹槽；还包括一锁紧圈，锁紧圈包括两个夹紧圈，两个夹紧圈的一端相互铰接，两个夹紧圈的另一端可拆卸连接，两个夹紧圈的内壁设有嵌入环状凹槽的突起；两个夹紧圈的下端设有下端台阶；籽晶杆的顶部设有与下端台阶的顶部相抵的上端台阶，上端台阶的下侧面与下端台阶的顶面相抵。本专利实现了籽晶杆的快速更换。实现了籽晶杆的快速更换。实现了籽晶杆的快速更换。


技术研发人员：徐淑文 贺贤汉 夏孝平 赖章田 刘海 曹豪杰
受保护的技术使用者：上海汉虹精密机械有限公司
技术研发日：2021.10.08
技术公布日：2022/3/21