一种靶材组件用沉孔塞的制作方法

1.本实用新型涉及靶材领域，具体涉及一种靶材组件用沉孔塞。


背景技术：

2.目前，靶材作为溅射镀膜的常用材料，用于各行各业的镀膜。
3.如cn112962073a公开了一种靶材溅射镀膜装置及其使用方法，其包括密封箱体，负压空间内设置有镀膜腔，镀膜腔内设置有靶材基座和沉积基底，所述密封箱体的内壁设置有承接清洁装置，承接清洁装置包括承接输送带、靶材刮除装置和两个滚轮，承接输送带用于承接飞向密封箱体内壁的粒子；靶材刮除装置包括负压吸拾嘴和刮刀，刮刀安装于吸拾嘴的内部且刀刃贴合于承接输送带，负压吸拾嘴用于吸拾刮刀从承接输送带刮除的物质；所述承接清洁装置设置有四个，四个承接清洁装置的承接输送带将镀膜腔合围，所述靶材基座和沉积基底的形状相同且呈矩形，四个承接清洁装置的承接输送带分别与靶材基座/沉积基底的四个边贴合。该靶材溅射镀膜装置及其使用方法，四个承接清洁装置的承接输送带将镀膜腔合围，尽可能避免了被轰击出的靶材粒子的外溢。进一步提高了清洁程度。
4.cn205774779u公开了一种真空镀膜设备，包括设置在真空腔室中的靶材、敲击探头和样品基片，所述靶材与电源阴极相连，敲击探头与电源阳极相连，样品基片与靶材平行相对设置，所述敲击探头位于靶材与样品基片之间，所述敲击探头往复运动设置，并敲击靶材表面，所述靶材与敲击探头相对转动设置，使敲击探头能够沿靶材圆周方向均匀敲击靶材表面。该镀膜设备能够实现敲击点从某一固定点改变为360度的敲击轨道，不管是金属/合金，还是石墨靶材，都能够使靶材表面达到稳定的、均匀的和高沉积速率的刻蚀，并提高了靶材利用率，增加了设备的维护周期，降低了成本。
5.然而，靶材在使用过程中通常要安装在溅射机台上，此时靶材的沉孔面需要安装陶瓷法兰圈，而在溅射镀膜过程中因为靶材温度的升高会导致背板变形，进而会磨损陶瓷法兰圈，导致溅射所得镀膜不理想，性能较差。


技术实现要素：

6.鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种靶材组件用沉孔塞，解决了沉孔塞无法和沉孔锁紧导致沉孔塞容易脱落的问题，同时避免了法兰圈的磨损，保证了溅射所得镀膜具有良好的性能。
7.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
8.本实用新型提供了一种靶材组件用沉孔塞，所述靶材组件用沉孔塞为凸型结构，包括凸端和底端；
9.所述沉孔塞凸端的直径为靶材组件中沉孔直径的1.15-1.3倍；
10.所述凸端的顶部设置有凹槽；
11.所述凸端的侧壁设置有盲孔；
12.所述盲孔的等效圆直径为所述凸端高度的1-3％；
13.所述凸端和所述底端采用螺纹结构进行连接；
14.所述凸端和所述底端的连接为过盈配合。
15.本实用新型提供的沉孔塞，通过对沉孔塞的设计，采用过盈配合及凸端侧面设置盲孔的形式，保证了沉孔塞和沉孔可以良好的锁紧，避免溅射过程中法兰圈的磨损，从而保证溅射所得薄膜的性能。同时采用过盈配合的螺纹结构，可以实现沉孔塞高效的装卸，避免沉孔塞的损坏。通过在侧壁设置盲孔，避免了背板变形过程中对沉孔塞的损伤，也有利于沉孔塞的固定。
16.本实用新型中，所述沉孔塞凸端的直径为靶材组件中沉孔直径的1.15-1.3倍，例如可以是1.15倍、1.16倍、1.17倍、1.18倍、1.19倍、1.2倍、1.21倍、1.22倍、1.23倍、1.24倍、1.25倍、1.26倍、1.27倍、1.28倍、1.29倍或1.3倍等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
17.本实用新型中，所述盲孔的等效圆直径为所述凸端高度的1-3％，例如可以是1％、1.1％、1.2％、1.3％、1.4％、1.5％、1.6％、1.7％、1.8％、1.9％、2％、2.1％、2.2％、2.3％、2.4％、2.5％、2.6％、2.7％、2.8％、2.9％或3％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
18.作为本实用新型优选的技术方案，所述凹槽的深度为所述凸端高度的30-35％，例如可以是30％、30.2％、30.4％、30.6％、30.8％、31％、31.2％、31.4％、31.6％、31.8％、32％、32.2％、32.4％、32.6％、32.8％、33％、33.2％、33.4％、33.6％、33.8％、34％、34.2％、34.4％、34.6％、34.8％或35％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
19.作为本实用新型优选的技术方案，所述凹槽的等效圆直径为所述凸端直径的0.27-0.3倍，例如可以是0.27倍、0.272倍、0.274倍、0.276倍、0.278倍、0.28倍、0.282倍、0.284倍、0.286倍、0.288倍、0.29倍、0.292倍、0.294倍、0.296倍、0.298倍或0.3倍等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
20.作为本实用新型优选的技术方案，所述盲孔的深度为所述凸端直径的0.2-0.5倍，例如可以是0.2倍、0.21倍、0.22倍、0.23倍、0.24倍、0.25倍、0.26倍、0.27倍、0.28倍、0.29倍、0.3倍、0.31倍、0.32倍、0.33倍、0.34倍、0.36倍、0.37倍、0.38倍、0.39倍、0.4倍、0.41倍、0.42倍、0.43倍、0.44倍、0.45倍、0.46倍、0.47倍、0.48倍、0.49倍或0.5倍等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
21.作为本实用新型优选的技术方案，所述凸端和所述底端之间的过渡段为倒角结构。
22.本实用新型中，采用倒角结构进行过度，可以进一步强化沉孔塞和沉孔的锁紧效果。
23.作为本实用新型优选的技术方案，所述倒角结构的倒角为半径r＝0.2-0.4mm的倒角，例如可以是0.2mm、0.21mm、0.22mm、0.23mm、0.24mm、0.25mm、0.26mm、0.27mm、0.28mm、0.29mm、0.3mm、0.31mm、0.32mm、0.33mm、0.34mm、0.35mm、0.36mm、0.37mm、0.38mm、0.39mm或0.4mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
24.作为本实用新型优选的技术方案，所述底端的直径为所述凸端直径的2.5-3倍，例如可以是2.5倍、2.51倍、2.52倍、2.53倍、2.54倍、2.55倍、2.56倍、2.57倍、2.58倍、2.59倍、
2.61倍、2.62倍、2.63倍、2.64倍、2.65倍、2.66倍、2.67倍、2.68倍、2.69倍、2.7倍、2.71倍、2.72倍、2.73倍、2.74倍、2.75倍、2.76倍、2.77倍、2.78倍、2.79倍、2.8倍、2.81倍、2.82倍、2.83倍、2.84倍、2.85倍、2.86倍、2.87倍、2.88倍、2.89倍、2.9倍、2.91倍、2.92倍、2.93倍、2.94倍、2.95倍、2.96倍、2.97倍、2.98倍、2.99倍或3倍等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
25.作为本实用新型优选的技术方案，所述凸端的高度为所述底端厚度的1.5-2倍，例如可以是1.5倍、1.51倍、1.52倍、1.53倍、1.54倍、1.55倍、1.56倍、1.57倍、1.58倍、1.59倍、1.6倍、1.61倍、1.62倍、1.63倍、1.64倍、1.65倍、1.66倍、1.67倍、1.68倍、1.69倍、1.7倍、1.71倍、1.72倍、1.73倍、1.74倍、1.75倍、1.76倍、1.77倍、1.78倍、1.79倍、1.8倍、1.81倍、1.82倍、1.83倍、1.84倍、1.85倍、1.86倍、1.87倍、1.88倍、1.89倍、1.9倍、1.91倍、1.92倍、1.93倍、1.94倍、1.95倍、1.96倍、1.97倍、1.98倍、1.99倍或2倍等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
26.作为本实用新型优选的技术方案，所述凸端的顶部为渐扩结构，以凸端的顶部端面为基准。
27.作为本实用新型优选的技术方案，所述渐扩结构的高度为所述凹槽深度的90-95％，例如可以是90％、90.1％、90.2％、90.3％、90.4％、90.5％、90.6％、90.7％、90.8％、90.9％、91.1％、91.2％、91.3％、91.4％、91.5％、91.6％、91.7％、91.8％、91.9％、92％、92.1％、92.2％、92.3％、92.4％、92.5％、92.6％、92.7％、92.8％、92.9％、93％、93.1％、93.2％、93.3％、93.4％、93.5％、93.6％、93.7％、93.8％、93.9％、94％、94.1％、94.2％、94.3％、94.4％、94.5％、94.6％、94.7％、94.8％、94.9％或95％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
28.本实用新型中，所述盲孔或凹槽的截面形状可以是圆形或多边形，如三角形，正方形，长方形，五边形，六边形等。
29.与现有技术方案相比，本实用新型至少具有以下有益效果：
30.本实用新型提供的沉孔塞，通过对沉孔塞的设计，采用过盈配合及凸端侧面设置盲孔的形式，保证了沉孔塞和沉孔可以良好的锁紧，避免溅射过程中法兰圈的磨损，从而保证溅射所得薄膜的性能。同时采用过盈配合的螺纹结构，可以实现沉孔塞高效的装卸，避免沉孔塞的损坏。通过在侧壁设置盲孔，避免了背板变形过程中对沉孔塞的损伤，也有利于沉孔塞的固定。
附图说明
31.图1是本实用新型实施例1提供的一种靶材组件用沉孔塞的示意图。
32.图中：1-凸端，2-底端，1.1-凹槽，1.2-盲孔，3-倒角结构。
33.下面对本实用新型进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本实用新型的简易例子，并不代表或限制本实用新型的权利保护范围，本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
具体实施方式
34.为更好地说明本实用新型，便于理解本实用新型的技术方案，本实用新型的典型
但非限制性的实施例如下：
35.实施例1
36.本实施例提供一种靶材组件用沉孔塞，如图1所示，所述靶材组件用沉孔塞为凸型结构，包括凸端1和底端2；
37.所述沉孔塞凸端1的直径为靶材组件中沉孔直径的1.22倍；
38.所述凸端1的顶部设置有凹槽1.1；
39.所述凹槽1.1的深度为所述凸端1高度的33％。
40.所述凹槽1.1的等效圆直径为所述凸端1直径的0.88倍。
41.所述凸端1的侧壁设置有盲孔1.2；
42.所述盲孔1.2的深度为所述凸端1直径的0.35倍。
43.所述盲孔1.2的等效圆直径为所述凸端1高度的2％；
44.所述凸端1和所述底端2采用螺纹结构进行连接；
45.所述凸端1和所述底端2的连接为过盈配合。
46.所述凸端1和所述底端2之间的过渡段为倒角结构3。
47.所述倒角结构3的倒角为半径r＝0.3mm的倒角。
48.所述底端2的直径为所述凸端1直径的2.86倍。
49.所述凸端1的高度为所述底端2厚度的1.77倍。
50.所述凸端1的顶部为渐扩结构，以凸端1的顶部端面为基准。
51.所述渐扩结构的高度为所述凹槽1.1深度的93％。
52.将该沉孔塞安装于靶材面的沉孔中，然后开始溅射作业。
53.溅射过程中可以避免法兰圈的磨损，保证溅射所得镀膜具有良好的性能，避免了因为法兰圈磨损而导致镀膜过程不达标的问题。
54.实施例2
55.本实施例提供一种靶材组件用沉孔塞，所述靶材组件用沉孔塞为凸型结构，包括凸端1和底端2；
56.所述沉孔塞凸端1的直径为靶材组件中沉孔直径的1.15倍；
57.所述凸端1的顶部设置有凹槽1.1；
58.所述凹槽1.1的深度为所述凸端1高度的30％。
59.所述凹槽1.1的等效圆直径为所述凸端1直径的0.3倍。
60.所述凸端1的侧壁设置有盲孔1.2；
61.所述盲孔1.2的深度为所述凸端1直径的0.5倍。
62.所述盲孔1.2的等效圆直径为所述凸端1高度的3％；
63.所述凸端1和所述底端2采用螺纹结构进行连接；
64.所述凸端1和所述底端2的连接为过盈配合。
65.所述凸端1和所述底端2之间的过渡段为倒角结构3。
66.所述倒角结构3的倒角为半径r＝0.4mm的倒角。
67.所述底端2的直径为所述凸端1直径的3倍。
68.所述凸端1的高度为所述底端2厚度的1.5倍。
69.所述凸端1的顶部为渐扩结构，以凸端1的顶部端面为基准。
70.所述渐扩结构的高度为所述凹槽1.1深度的90％。
71.将该沉孔塞安装于靶材面的沉孔中，然后开始溅射作业。
72.溅射过程中可以避免法兰圈的磨损，保证溅射所得镀膜具有良好的性能，避免了因为法兰圈磨损而导致镀膜过程不达标的问题。
73.实施例3
74.本实施例提供一种靶材组件用沉孔塞，所述靶材组件用沉孔塞为凸型结构，包括凸端1和底端2；
75.所述沉孔塞凸端1的直径为靶材组件中沉孔直径的1.3倍；
76.所述凸端1的顶部设置有凹槽1.1；
77.所述凹槽1.1的深度为所述凸端1高度的35％。
78.所述凹槽1.1的等效圆直径为所述凸端1直径的0.27倍。
79.所述凸端1的侧壁设置有盲孔1.2；
80.所述盲孔1.2的深度为所述凸端1直径的0.2倍。
81.所述盲孔1.2的等效圆直径为所述凸端1高度的1％；
82.所述凸端1和所述底端2采用螺纹结构进行连接；
83.所述凸端1和所述底端2的连接为过盈配合。
84.所述凸端1和所述底端2之间的过渡段为倒角结构3。
85.所述倒角结构3的倒角为半径r＝0.2mm的倒角。
86.所述底端2的直径为所述凸端1直径的2.5倍。
87.所述凸端1的高度为所述底端2厚度的2倍。
88.所述凸端1的顶部为渐扩结构，以凸端1的顶部端面为基准。
89.所述渐扩结构的高度为所述凹槽1.1深度的95％。
90.将该沉孔塞安装于靶材面的沉孔中，然后开始溅射作业。
91.溅射过程中可以避免法兰圈的磨损，保证溅射所得镀膜具有良好的性能，避免了因为法兰圈磨损而导致镀膜过程不达标的问题。
92.申请人声明，本实用新型通过上述实施例来说明本实用新型的详细结构特征，但本实用新型并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本实用新型必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本实用新型的任何改进，对本实用新型所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。
93.以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。
94.另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
95.此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。