一种分体式单晶硅CZ炉热场石墨加热器的制作方法

一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器
技术领域
1.本实用新型涉及石墨加热器技术领域，具体为一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器。


背景技术：

2.在大尺寸单晶硅生产中，为了提高热场的均匀性，缩短化料时间，解决热场控制难和熔硅再结晶的问题，通常会在原有的环形加热器的基础上增加底部加热器。
3.现有的石墨材料加热装置在制造过程中由于需要设计成较长的回路结构，从而会浪费大量的材料，且需要单独定制使用，适用性较差。
4.另一方面，现有的石墨材料加热装置底端通透性较差，与底面的间隙较小，从而影响了空气的流通，降低了加热时的效果。


技术实现要素：

5.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器，以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型安装简单便捷，适用范围更广，贴合度更高，支撑稳固，通风性强。
6.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器，包括石墨加热器本体，所述石墨加热器本体包括长石墨柱、短石墨柱、撑板、导线和支撑脚，所述短石墨柱的顶端设置有正极接线夹块，所述短石墨柱的底端设置有撑板，所述撑板的另一端连接有长石墨柱，所述长石墨柱的顶端设置有负极接线夹块，所述正极接线夹块和负极接线夹块的中间均开设有卡槽，所述卡槽的两端设置有孔洞一，所述孔洞一的内部安装有螺栓二，所述卡槽的中间安装有接线板，所述接线板的中间开设有孔洞二，所述接线板的一端设置有导线，所述撑板的底端设置有绝缘层，所述绝缘层的底端设置有支撑脚。
7.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述撑板整体呈“v”型结构，所述撑板的两端分别与短石墨柱和长石墨柱的底端相连接。
8.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述短石墨柱和长石墨柱两者相互平行，且均垂直于撑板进行安装。
9.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述螺栓二依次贯穿了孔洞一和孔洞二将接线板固定在卡槽的内部。
10.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述接线板整体采用铜金属材质，所述导线的两端均设置有规格相同的接线板。
11.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述接线板通过螺栓一穿过孔洞二进行连接贴合。
12.本实用新型的有益效果：本实用新型的一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器，包括石墨加热器本体，所述石墨加热器本体包括短石墨柱、长石墨柱、正极接线夹块、负极
接线夹块、孔洞一、导线、接线板、孔洞二、撑板、支撑脚、绝缘层、螺栓一、螺栓二、卡槽。
13.1.该分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器由四部分结构规格相同的石墨加热组件组成，从而可以根据具体的使用环境要求和单晶硅的加热锅炉尺寸对该加热器的加热直径进行调整，使其适用的范围更广。
14.2.该分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器的底端设置为v型的支撑板，大大提高了通透性，空气流通性更强，加热效果更好，且底端通过多个支撑脚进行支撑，保证其稳固性。
15.3.该分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器通过导线接通正负极和电源，利用多个接线板叠加在一起可以同时对该加热器的四组加热组件进行通电。
附图说明
16.图1为本实用新型一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器的外形的侧面结构示意图；
17.图2为本实用新型一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器的局部结构示意图；
18.图3为本实用新型一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器的俯视图；
19.图4为本实用新型一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器的负极接线夹块部分的结构示意图；
20.图中：1、短石墨柱；2、长石墨柱；3、正极接线夹块；4、负极接线夹块；5、孔洞一；6、导线；7、接线板；8、孔洞二；9、撑板；10、支撑脚；11、绝缘层；12、螺栓一；13、螺栓二；14、卡槽。
具体实施方式
21.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
22.请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器，包括石墨加热器本体，所述石墨加热器本体包括长石墨柱2、短石墨柱1、撑板9、导线6和支撑脚10，所述短石墨柱1的顶端设置有正极接线夹块3，所述短石墨柱1的底端设置有撑板9，所述撑板9的另一端连接有长石墨柱2，所述长石墨柱2的顶端设置有负极接线夹块4，所述正极接线夹块3和负极接线夹块4的中间均开设有卡槽14，所述卡槽14的两端设置有孔洞一5，所述孔洞一5的内部安装有螺栓二13，所述卡槽14的中间安装有接线板7，所述接线板7的中间开设有孔洞二8，所述接线板7的一端设置有导线6，所述撑板9的底端设置有绝缘层11，所述绝缘层11的底端设置有支撑脚10。
23.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述撑板9整体呈“v”型结构，所述撑板9的两端分别与短石墨柱1和长石墨柱2的底端相连接，使三者形成单线路径。
24.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述短石墨柱1和长石墨柱2两者相互平行，且均垂直于撑板9进行安装，从而可以将锅炉进行包围。
25.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述螺栓二13依次贯穿了孔洞一5和孔洞二8将接线板7固定在卡槽14的内部，利用接线板7进行导电。
26.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述接线板7整体采用铜金属材质，所述导线6的两端均设置有规格相同的接线板7，使两端可以交换通用。
27.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述接线板7通过螺栓一12穿过孔洞二8进行连接贴合，连接后即可进行集中供电，单个电源即可满足需求。
28.工作原理：该分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器由正极接线夹块3和负极接线夹块4接通外部电源为本装置提供电能，主要由长石墨柱2、短石墨柱1、撑板9、导线6和支撑脚10组成，使用时，先将四组相同规格的加热组件对称式的放置，并包围呈一个圆柱形结构，将单晶硅的制备锅炉放置在加热组件底端的撑板9上，然后将正极接线夹块3和负极接线夹块4中间的卡槽14插入一根导线6的接线板7，并用螺栓二13拧紧，把与正极接线夹块3连接的四个导线6另一端的接线板7相互重叠在一起，利用螺栓一12进行连接固定，用同样的方式将负极接线夹块4连接的四个导线6另一端的接线板7相互重叠在一起再固定，最后把两个叠加后的接线板7接上电源，即可通电进行加热，该加热器由四部分结构规格相同的石墨加热组件组成，从而可以根据具体的使用环境要求和单晶硅的加热锅炉尺寸对该加热器的加热直径进行调整，使其适用的范围更广，且能够确保与锅炉进行贴合，提高热传导效率，加热器的底端设置为v型的支撑板9，大大提高了通透性，空气流通性更强，加热效果更好，且底端通过多个支撑脚10进行支撑，保证其稳固性，接线板7叠加在一起可以同时对该加热器的四组加热组件进行通电，从而使用一个电源即可满足使用需求。
29.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
30.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。