一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置的制作方法

1.本发明属于半导体加工技术领域，具体的说是一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。在半导体加工的过程中，需要对原片进行蒸发镀膜的工艺处理。
3.蒸发镀膜是将熔点较低的金属进行加热，使得蒸发台上的金属蒸发并附着于待加工的圆片之上以形成镀膜的工艺。
4.现有技术中也出现了一些关于发电的技术方案，如申请号为cn105316627a的一项中国专利公开了一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，本发明其可通过工作腔室内部夹套以及冷却水的设置，使得金属在蒸发过程中形成的气相金属接触工作腔室的侧端面与上端面之后，受其冷却形成液相金属滴落并可加以回收利用，从而一方面避免工作腔室内壁长时间沾附有气相金属而形成污垢，另一方面亦可改善原料的浪费，以上发明方案中，不具有对放置台进行清洁的功能。
5.针对上述发明中的问题，蒸发台在镀膜的过程中，镀膜产生的废料会堆积在蒸发台的表面，废料凝固后清理不便；而且，在清理的过程中，容易残存清理死角的情况。
6.为此，本发明提供一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置。


技术实现要素：

7.为了弥补现有技术的不足，解决蒸发台在镀膜的过程中，镀膜产生的废料会堆积在蒸发台的表面，废料凝固后清理不便；以及在清理的过程中，容易残存清理死角的情况的问题，本发明提出的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置。
8.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，包括蒸发台本体、移动结构、安装底架、升降气缸、电动基座、竖梁架、清扫结构和除尘结构，所述蒸发台本体的外侧设置有移动结构，所述移动结构的一端安装有安装底架，所述安装底架的端面中央安装有升降气缸，所述升降气缸的顶部上方设置有电动基座，所述电动基座的顶部端面中央固定安装有竖梁架，所述竖梁架的端面一侧设置有清扫结构，所述竖梁架的端面上方设置有除尘结构，且除尘结构与安装底架固定连接；所述清扫结构包括电机支架、第一转动电机、传动端盖、清扫轴、清洁套和清洁毛刷，所述电机支架通过螺栓固定安装在竖梁架的外壁一侧，所述电机支架的内侧端面安装有第一转动电机，所述第一转动电机的一端电机轴通过联轴器固定安装有清扫轴，所述竖梁架的一侧端面通过螺钉固定安装有传动端盖，且清扫轴的一端穿过传动端盖连接安装有清洁套，且清洁套的外侧固定安装有清洁毛刷。
9.优选的，所述移动结构包括调节槽、电动导轨、调节滑座和随动架，所述蒸发台本
体的外壁中央开设有调节槽，所述调节槽的内壁中央固定安装有电动导轨，所述电动导轨的外侧安装有调节滑座，所述调节滑座的外侧端面固定安装有随动架，且安装底架通过螺栓与随动架固定连接。
10.优选的，所述调节槽的顶部和底部端面均贴合安装有耐磨垫。
11.优选的，所述电机支架为l型结构，所述电机支架的内侧端面螺钉固定安装有散热板，且第一转动电机通过螺钉与散热板的端面固定连接。
12.优选的，所述竖梁架的端面中央开设有传动通孔，且传动通的内部固定安装有传动轴套，所述清扫轴的外壁与传动轴套的内壁贴合连接。
13.优选的，所述除尘结构包括固定壁板、输气泵、伸缩管套、喷吹管、调节臂、卡接管、过滤喷嘴、转动座、第二转动电机和第三转动电机，所述安装底架的外壁一侧通过螺钉安装有固定壁板，所述固定壁板的内侧端面中央通过螺钉固定安装有输气泵，所述输气泵的顶部一端连接安装有伸缩管套，且伸缩管套的顶部一端穿过固定壁板的顶部端面连接安装有喷吹管，所述喷吹管的一端经传动端盖连接安装有调节臂，且调节臂安装在竖梁架的顶部端面，所述调节臂的顶部一端内侧设置有转动座，所述转动座的底部端面插接安装有卡接管，所述调节臂的内部开设有连通孔，且喷吹管的一端穿过连通孔与卡接管连接，所述卡接管的底部端面连接安装有过滤喷嘴。
14.优选的，所述调节臂的顶部一端安装有第二转动电机，且第二转动电机的一端电机轴穿过调节臂与转动座固定连接，所述竖梁架的外侧顶部固定安装有第三转动电机，且第三转动电机一端的电机轴穿过竖梁架与调节臂固定连接。
15.优选的，所述传动端盖的一端通过焊接固定安装有两个限位挂钩，且限位挂钩的内壁与喷吹管的外壁贴合连接。
16.本发明的有益效果如下：
17.本发明所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，工作时，通过移动结构使得安装底架能够在蒸发台本体的外侧进行移动，在移动的过程中，通过升降气缸和电动基座能够调节竖梁架的高度和转动角度，从而使得竖梁架外侧的清扫结构和除尘结构的位置能够发生调节，使得清扫结构和除尘结构能够将蒸发台本体顶部的不同位置进行清洁除尘，有效避免残留清洁死角的问题；
18.通过电机支架和散热板使得第一转动电机固定安装在电机支架的内侧，使得第一转动电机能够具有稳定的结构和良好的散热效果，第一转动电机工作时，通过电机轴和联轴器使得清扫轴转动，清扫轴在传动轴套的内部转动时，能够有效避免清扫轴对竖梁架造成磨损，在传动端盖的外侧，清扫轴带动清洁套和清洁毛刷转动时，使得清洁毛刷能够将蒸发台本体表面外侧位置的灰尘进行打扫，通过传动端盖能够对传动轴套进行防护，避免灰尘进入到传动轴套的内部，影响清扫轴的传动稳定性；固定壁板内部的输气泵工作，能够将外界空气通过伸缩管套输送到喷吹管的内部，竖梁架外侧的第三转动电机工作时，通过电机轴使得调节臂在竖梁架顶部的角度发生改变，进而使得调节臂一端的喷吹管拉动伸缩管套，通过伸缩管套能够使得喷吹管具有一定的位移效果，通过限位挂钩能够对喷吹管进行限位，避免喷吹管在移动的过程中，发生错位的情况；调节臂顶部的第二转动电机工作时，通过电机轴能够调节转动座的角度，进而使得转动座底部的卡接管和过滤喷嘴将喷吹的位置发生改变，经喷吹管输送到卡接管内部的气流，通过过滤喷嘴吹向蒸发台本体的顶部端
面，使得蒸发台本体端面的灰尘和废料能够脱离蒸发台本体的表面，过滤喷嘴也能够有效避免废料溅射到卡接管的内部；调节滑座在电动导轨的外侧进行移动，由于电动导轨安装在调节槽的内部，使得调节滑座在移动时能够安装圆形的轨迹进行移动，由于调节滑座外侧的随动架与安装底架固定连接，从而使得安装底架顶部上方的清扫结构能够对蒸发台本体的表面外侧位置进行清扫；并使得除尘结构能够对蒸发台本体表面内侧的位置进行喷吹除尘，再通过升降气缸和电动基座将竖梁架的高度和角度进行调节，从而能够对蒸发台本体的表面具有良好的清洁效果，避免存在清洁死角的情况。
附图说明
19.下面结合附图对本发明作进一步说明。
20.图1是本发明的整体正视立体图；
21.图2是本发明的整体侧视立体图；
22.图3是本发明的整体主视图；
23.图4是本发明的整体后视图；
24.图5是本发明的整体俯视图；
25.图6是本发明的整体剖视图；
26.图中：1、蒸发台本体；2、移动结构；3、安装底架；4、升降气缸；5、电动基座；6、竖梁架；7、清扫结构；8、除尘结构；21、调节槽；22、电动导轨；23、调节滑座；24、随动架；71、电机支架；72、第一转动电机；73、传动轴套；74、传动端盖；75、清扫轴；76、清洁套；77、清洁毛刷；81、固定壁板；82、输气泵；83、伸缩管套；84、喷吹管；85、调节臂；86、卡接管；87、过滤喷嘴；88、转动座；89、第二转动电机；810、第三转动电机。
具体实施方式
27.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
28.实施例
29.如图1至图6所示，本发明所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，包括蒸发台本体1、移动结构2、安装底架3、升降气缸4、电动基座5、竖梁架6、清扫结构7和除尘结构8，蒸发台本体1的外侧设置有移动结构2，移动结构2的一端安装有安装底架3，安装底架3的端面中央安装有升降气缸4，升降气缸4的顶部上方设置有电动基座5，电动基座5的顶部端面中央固定安装有竖梁架6，竖梁架6的端面一侧设置有清扫结构7，竖梁架6的端面上方设置有除尘结构8，且除尘结构8与安装底架3固定连接；工作时，通过移动结构2使得安装底架3能够在蒸发台本体1的外侧进行移动，在移动的过程中，通过升降气缸4和电动基座5能够调节竖梁架6的高度和转动角度，从而使得竖梁架6外侧的清扫结构7和除尘结构8的位置能够发生调节，使得清扫结构7和除尘结构8能够将蒸发台本体1顶部的不同位置进行清洁除尘，有效避免残留清洁死角的问题。
30.清扫结构7包括电机支架71、第一转动电机72、传动端盖74、清扫轴75、清洁套76和清洁毛刷77，电机支架71通过螺栓固定安装在竖梁架6的外壁一侧，电机支架71的内侧端面安装有第一转动电机72，第一转动电机72的一端电机轴通过联轴器固定安装有清扫轴75，
竖梁架6的一侧端面通过螺钉固定安装有传动端盖74，且清扫轴75的一端穿过传动端盖74连接安装有清洁套76，且清洁套76的外侧固定安装有清洁毛刷77；电机支架71为l型结构，电机支架71的内侧端面螺钉固定安装有散热板，且第一转动电机72通过螺钉与散热板的端面固定连接；竖梁架6的端面中央开设有传动通孔，且传动通的内部固定安装有传动轴套73，清扫轴75的外壁与传动轴套73的内壁贴合连接；在工作时，通过电机支架71和散热板使得第一转动电机72固定安装在电机支架71的内侧，使得第一转动电机72能够具有稳定的结构和良好的散热效果，第一转动电机72工作时，通过电机轴和联轴器使得清扫轴75转动，清扫轴75在传动轴套73的内部转动时，能够有效避免清扫轴75对竖梁架6造成磨损，在传动端盖74的外侧，清扫轴75带动清洁套76和清洁毛刷77转动时，使得清洁毛刷77能够将蒸发台本体1表面外侧位置的灰尘进行打扫，通过传动端盖74能够对传动轴套73进行防护，避免灰尘进入到传动轴套73的内部，影响清扫轴75的传动稳定性。
31.移动结构2包括调节槽21、电动导轨22、调节滑座23和随动架24，蒸发台本体1的外壁中央开设有调节槽21，调节槽21的内壁中央固定安装有电动导轨22，电动导轨22的外侧安装有调节滑座23，调节滑座23的外侧端面固定安装有随动架24，且安装底架3通过螺栓与随动架24固定连接；调节槽21的顶部和底部端面均贴合安装有耐磨垫；在工作时，调节滑座23在电动导轨22的外侧进行移动，由于电动导轨22安装在调节槽21的内部，使得调节滑座23在移动时能够安装圆形的轨迹进行移动，由于调节滑座23外侧的随动架24与安装底架3固定连接，从而使得安装底架3顶部上方的清扫结构7能够对蒸发台本体1的表面外侧位置进行清扫；并使得除尘结构8能够对蒸发台本体1表面内侧的位置进行喷吹除尘，再通过升降气缸4和电动基座5将竖梁架6的高度和角度进行调节，从而能够对蒸发台本体1的表面具有良好的清洁效果，避免存在清洁死角的情况。
32.除尘结构8包括固定壁板81、输气泵82、伸缩管套83、喷吹管84、调节臂85、卡接管86、过滤喷嘴87、转动座88、第二转动电机89和第三转动电机810，安装底架3的外壁一侧通过螺钉安装有固定壁板81，固定壁板81的内侧端面中央通过螺钉固定安装有输气泵82，输气泵82的顶部一端连接安装有伸缩管套83，且伸缩管套83的顶部一端穿过固定壁板81的顶部端面连接安装有喷吹管84，喷吹管84的一端经传动端盖74连接安装有调节臂85，且调节臂85安装在竖梁架6的顶部端面，调节臂85的顶部一端内侧设置有转动座88，转动座88的底部端面插接安装有卡接管86，调节臂85的内部开设有连通孔，且喷吹管84的一端穿过连通孔与卡接管86连接，卡接管86的底部端面连接安装有过滤喷嘴87；调节臂85的顶部一端安装有第二转动电机89，且第二转动电机89的一端电机轴穿过调节臂85与转动座88固定连接，竖梁架6的外侧顶部固定安装有第三转动电机810，且第三转动电机810一端的电机轴穿过竖梁架6与调节臂85固定连接；，通过第二转动电机89工作时，能够调节转动座88与调节臂85之间的角度，通过第三转动电机810工作时，能够调节调节臂85与竖梁架6之间的角度，通过调节调节臂85以及调节卡接管86的角度，进而调节卡接管86底部过滤喷嘴87的喷吹角度，从而对蒸发台本体1顶部端面的不同位置进行喷吹；传动端盖74的一端通过焊接固定安装有两个限位挂钩，且限位挂钩的内壁与喷吹管84的外壁贴合连接；通过限位挂钩对喷吹管84的位置进行限位，避免喷吹管84发生脱落，影响喷吹清洁；工作时，固定壁板81内部的输气泵82工作，能够将外界空气通过伸缩管套83输送到喷吹管84的内部，竖梁架6外侧的第三转动电机810工作时，通过电机轴使得调节臂85在竖梁架6顶部的角度发生改变，进而使
得调节臂85一端的喷吹管84拉动伸缩管套83，通过伸缩管套83能够使得喷吹管84具有一定的位移效果，通过限位挂钩能够对喷吹管84进行限位，避免喷吹管84在移动的过程中，发生错位的情况；调节臂85顶部的第二转动电机89工作时，通过电机轴能够调节转动座88的角度，进而使得转动座88底部的卡接管86和过滤喷嘴87将喷吹的位置发生改变，经喷吹管84输送到卡接管86内部的气流，通过过滤喷嘴87吹向蒸发台本体1的顶部端面，使得蒸发台本体1端面的灰尘和废料能够脱离蒸发台本体1的表面，过滤喷嘴87也能够有效避免废料溅射到卡接管86的内部，再通过清扫结构7进行清扫，从而完成自清洁。
33.上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
34.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
35.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。