溅镀靶材的制作方法

技术特征：
1.一种溅镀靶材，其特征在于：在铝母相中以10～70mol％的含量存在以下材料或相，即，(1)包含铝且还包含稀土类元素及钛族元素中任一种或两种的材料或相、或者(2)包含稀土类元素及钛族元素中任一种或两种的材料或相。2.根据权利要求1所述的溅镀靶材，其特征在于：(条件1)或(条件2)时的所述溅镀靶材的溅镀面内方向及靶材厚度方向的组成与基准组成的差均在
±
3％以内，且所述基准组成为按照(条件1)或(条件2)所测得的总计18处的组成的平均值，(条件1)溅镀面内方向：所述溅镀靶材是中心为o、半径为r的圆板状靶材，且使组成分析的测定部位处于以中心o为交点而正交的假想十字线上，设中心o为1处，与中心o距离0.45r合计4处，及与中心o距离0.9r合计4处的总计9处；靶材厚度方向：形成穿过假想十字线中任一条线的截面，该截面是纵向为t(也就是靶材的厚度为t)、横向为2r的长方形，且关于组成分析的测定部位，设以下总计9处作为测定地点：穿过中心o的垂直横截线上的中心x及在上下与中心x距离0.45t合计3处(称为a地点、x地点、b地点)，在所述截面上从a地点朝向左右的侧边离开0.9r合计2处，从x地点朝向左右的侧边离开0.9r合计2处，以及从b地点朝向左右的侧边离开0.9r合计2处；(条件2)溅镀面内方向：所述溅镀靶材是纵向长度为l1，横向长度为l2的长方形(其中，包括l1与l2相等的正方形；或者长方形包括将长度j、周长k的圆筒形侧面展开而得的长方形，在此形态中，l2与长度j对应，l1与周长k对应，长度j与周长k是j＞k、j＝k或j＜k的关系成立)，且使组成分析的测定部位处于以重心o为交点而正交的假想十字线上，且假想十字线与长方形的边正交时，设为如下的总计9处：重心o为1处，在假想十字线上纵向上与重心o相隔0.25l1的距离合计2处，横向上与重心o相隔0.25l2的距离合计2处，纵向上与重心o相隔0.45l1的距离合计2处，以及横向上与重心o相隔0.45l2的距离合计2处；靶材厚度方向：形成穿过假想十字线中与纵向l1及横向l2的任一边平行的线的截面，在一边为横向l2的情况下，该截面是纵向为t(也就是所述靶材的厚度为t)、横向为l2的长方形，且关于组成分析的测定部位，设以下总计9处作为测定地点：穿过重心o的垂直横截线上的中心x及在上下与中心x距离0.45t合计3处(称为a地点、x地点、b地点)，在所述截面上从a地点朝向左右的侧边离开0.45l2合计2处，从x地点朝向左右的侧边离开0.45l2合计2处，以及从b地点朝向左右的侧边离开0.45l2合计2处。3.根据权利要求1或2所述的溅镀靶材，其特征在于：在所述溅镀靶材中存在包含选自铝、稀土类元素及钛族元素中的至少2种元素的金属间化合物。4.根据权利要求3所述的溅镀靶材，其特征在于：在所述溅镀靶材中存在1种、2种、3种或4种所述金属间化合物。5.根据权利要求1至4中任一项所述的溅镀靶材，其特征在于：在所述溅镀靶材中存在1种以上的选自铝、稀土类元素及钛族元素中的至少1种元素的氮化物。6.根据权利要求1至5中任一项所述的溅镀靶材，其特征在于：所述稀土类元素是钪及钇中至少任一种。7.根据权利要求1至6中任一项所述的溅镀靶材，其特征在于：所述钛族元素是钛、锆及
铪中至少任一种。8.根据权利要求1至7中任一项所述的溅镀靶材，其特征在于：氧含量为500ppm以下。

技术总结
本发明的目的在于提供一种导电性得到提高，例如在使用DC溅镀装置成膜时使生产性提高的溅镀靶材。本发明的溅镀靶材的特征在于：在铝母相中以10～70mol％的含量存在以下材料或相，即，(1)包含铝且还包含稀土类元素及钛族元素中任一种或两种的材料或相、或者(2)包含稀土类元素及钛族元素中任一种或两种的材料或相。相。相。


技术研发人员：丸子智弘 鈴木雄 大友将平 中村紘暢
受保护的技术使用者：株式会社古屋金属
技术研发日：2020.06.26
技术公布日：2022/3/1