电极及其制备方法、发光器件、显示面板与流程

1.本公开涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种电极及其制备方法、发光器件、显示面板。


背景技术：

2.使用oled器件作为显示材料的有机发光显示面板具有自发光、广视角、高对比度等优点，广泛应用于手机、电视、笔记本电脑等产品智能产品中。
3.目前，oled器件的结构较复杂，包含多种功能层，造成光在其中传播时会阻碍光取出。现有发光器件的电极的光损耗多，出光效率低，影响发光器件的发光效果。
4.需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。


技术实现要素：

5.本公开的目的在于克服现有发光器件的电极的光损耗多，出光效率低的问题，提供一种电极及其制备方法、发光器件、显示面板。
6.根据本公开的一个方面，提供一种电极，包括至少一层第一透明导电膜层和至少一层第二透明导电膜层，第二透明导电膜层与第一透明导电膜层的材质相同，第二透明导电膜层的折射率小于第一透明导电膜层的折射率，第一透明导电膜层与第二透明导电膜层交替叠设。
7.在本公开的一个实施例中，电极的出光面为光散射面。
8.在本公开的一个实施例中，光散射面设置为微观结构为凹凸不平的起伏结构。
9.在本公开的一个实施例中，第一透明导电膜层的折射率大于2，第二透明导电膜层的折射率小于1.8。
10.在本公开的一个实施例中，第一透明导电膜层和第二透明导电膜层均为氧化铟锌薄膜。
11.在本公开的一个实施例中，第一透明导电膜层和第二透明导电膜层的层数相同。
12.在本公开的一个实施例中，第一透明导电膜层的厚度和第二透明导电膜层的厚度均大于10纳米小于50纳米。
13.在本公开的一个实施例中，电极为阴极。
14.根据本公开的另一个方面，提供一种电极的制备方法，包括：
15.形成至少一层第一透明导电膜层；
16.形成至少一层第二透明导电膜层，第二透明导电膜层与第一透明导电膜层的材质相同，第二透明导电膜层的折射率小于第一透明导电膜层的折射率；
17.第一透明导电膜层和第二透明导电膜层交替叠设。
18.在本公开的一个实施例中，该方法还包括：利用等离子体轰击电极的出光面，形成微观结构为凹凸不平的起伏结构。
19.在本公开的一个实施例中，等离子体为氩等离子体。
20.在本公开的一个实施例中，第一透明导电膜层的形成条件为：功率大于3kw，气压小于0.6pa，反应气为ar；第二透明导电膜层的形成条件为：功率小于0.5kw，气压大于1pa，反应气ar和o2。
21.根据本公开的又一个方面，提供一种发光器件，包括：
22.本公开的一个方面所述的电极，该电极为第一电极；
23.第二电极；
24.发光层，发光层设置于第一电极与第二电极之间。
25.根据本公开的再一个方面，提供一种显示面板，包括根据本公开的又一个方面所述的发光器件。
26.本公开的电极包括至少一层第一透明导电膜层和至少一层第二透明导电膜层，第一透明导电膜层与第二透明导电膜层交替叠设。第二透明导电膜层的折射率小于第一透明导电膜层的折射率，通过不同折射率的透明导电膜层形成高低折射率的谐振腔，可以提升发光器件整体的出光效果。第二透明导电膜层与第一透明导电膜层的材质相同，不同折射率的透明导电膜的材质相同，可以简化电极的制备工艺。
27.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
28.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1为本公开实施例涉及的一种电极的结构示意图。
30.图2为本公开实施例涉及的另一种电极的结构示意图。
31.图3为本公开实施例涉及的电极的制备方法的流程图。
32.图4为本公开实施例涉及的发光器件的结构示意图。
33.图5为本公开实施例涉及的一种显示面板的结构示意图。
34.图6为本公开实施例涉及的另一种显示面板的结构示意图。
35.图中：10-第一电极，101-第一透明导电膜层，102-第二透明导电膜层，103-光散射面；20-发光层，201-空穴注入层，202-空穴传输层，203-电致发光层，204-电子传输层，205-电子注入层，21-蓝光发光区域，22-红光发光区域，23-绿光发光区域；30-第二电极，40-阵列基板。
具体实施方式
36.现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本公开将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。此外，附图仅为本公开的示意性
图解，并非一定是按比例绘制。
37.虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。
38.用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”和“第三”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。
39.有机电致发光二极管(organic light-emitting diodes，oled)当有电流通过时，正极产生的空穴和负极产生的电子，在发光层复合并释放光，根据激发能量的不同可以发出不同能量的光子，对应不同颜色的光。使用oled器件作为显示材料的有机发光显示面板具有自发光、广视角、高对比度等优点，广泛应用于手机、电视、笔记本电脑等产品智能产品中。
40.本公开实施方式提供了一种电极。如图1和图2所示，该电极包括至少一层第一透明导电膜层101和至少一层第二透明导电膜层102，第二透明导电膜层102与第一透明导电膜层101的材质相同，第二透明导电膜层102的折射率小于第一透明导电膜层101的折射率，第一透明导电膜层101与第二透明导电膜层102交替叠设。
41.第二透明导电膜层102的折射率小于第一透明导电膜层101的折射率，通过不同折射率的透明导电膜层形成高低折射率的谐振腔，可以提升发光器件整体的出光效果。第二透明导电膜层102与第一透明导电膜层101的材质相同，不同折射率的透明导电膜的材质相同，可以简化电极的制备工艺。
42.如图1所示，该电极包括包括三层第一透明导电膜层101和三层第二透明导电膜层102，第一层第一透明导电膜层101上叠设第一层第二透明导电膜层102，第一层第二透明导电膜层102上叠设第二层第一透明导电膜层101，在第二层第一透明导电膜层101上叠设第二层第二透明导电膜层102，在第二层第二透明导电膜层102上叠设第三层第一透明导电膜层101，在第三层第一透明导电膜层101上叠设第三层第二透明导电膜层102，即三层第一透明导电膜层101与三层第二透明导电膜层102交替叠设。
43.其中，第一透明导电膜层101的折射率大于第二透明导电膜层102的折射率，第一透明导电膜层101的折射率大于2，第二透明导电膜层102的折射率小于1.8，第一透明导电膜层101的折射率与第二透明导电膜层102的折射率之比可以为6：5，具体第一透明导电膜层101的折射率可以为2.1，第二透明导电膜层102的折射率可以为1.75。通过不同折射率的透明导电膜层形成高低折射率的谐振腔，谐振腔的作用是选择频率一定、方向一致的光作最优先的放大，而把其他频率和方向的光加以抑制，提高电极对某一波长的光的出光效率，从而改善发光器件的出光效果。
44.第一层第一透明导电膜层101和第一层第二透明导电膜层102构成第一谐振腔，发光器件的发光层发出的光线在第一谐振腔内经过折射和反射会相互干涉，产生微腔共振效
应，从而将发光层发出的光线中的特定波长的光线发射出去，窄化发射光谱，并增强特定波长的光线的发光强度。经过第一层第一透明导电膜层101的特定波长的光线进入第二层第一透明导电膜层101，第二层第一透明导电膜层101与第一层第二透明导电膜层102构成了第二谐振腔，第二谐振腔进一步将经过第一层第一透明导电膜层101的特定波长的光线进行窄化，并进一步增强特定波长的光线的发光强度。
45.可以理解的是，三层第一透明导电膜层101和三层第二透明导电膜层102可以形成五个谐振腔，通过五个谐振腔将特定波长光进行增强，从而改善发光器件的出光效果。
46.第二透明导电膜层102与第一透明导电膜层101的材质相同，例如：第二透明导电膜层102和第一透明导电膜层101均采用氧化铟锌(indium zinc oxide，izo)薄膜。通过同一种物质形成高低折射率的谐振腔，使工艺简化同时达到出光谐振增强的效果。需要强调的是，所述第一透明导电膜层101的厚度和所述第二透明导电膜层102的厚度均大于10纳米小于50纳米。
47.电极的出光面为光散射面103。如图2所示，所述光散射面103的微观结构为凹凸不平的起伏结构，起伏结构可以提升界面的散射，减少光在界面的损失。可以理解的是，该电极的两侧分别为第一透明导电膜层101和第二透明导电膜层102，第一透明导电膜层101和第二透明导电膜层102均可以为出光面，因此光散射面103可以为位于所述电极其中一侧的所述第一透明导电膜层101，也可以为位于所述电极另一侧的所述第二透明导电膜层102的表面。在本实施例中，所述光散射面103形成于所述第一透明导电膜层101。
48.需要说明的是，电极中第一透明导电膜层101和第二透明导电膜层102的层数也可以设为不同，一种情况是，将第一透明导电膜层101的层数比第二透明导电膜层102的层数多一层，也可以将电极设为第二透明导电膜层102的层数比第一透明导电膜层101的层数多一层。
49.以第二透明导电膜层102的层数比第一透明导电膜层101的层数多一层为例进行说明：第一透明导电膜层101设为三层，第二透明导电膜层102设为四层。三层第一透明导电膜层101设于四层第二透明导电膜层102之间，即电极的两侧均为第二透明导电膜层102，无论电极的哪一侧作为出光面，光散射面103均位于第二透明导电膜层102的表面。当第一透明导电膜层101的层数比第二透明导电膜层102的层数多一层时，光散射面103均位于第一透明导电膜层101的表面。
50.该电极可以为第一电极10。需要说明的是，第一电极10在此具体指的是发光器件的阴极。
51.本公开实施方式提供一种电极的制备方法。如图3所示，该方法包括：
52.步骤s10，形成至少一层第一透明导电膜层101；
53.步骤s20，形成至少一层第二透明导电膜层102，第二透明导电膜层102与第一透明导电膜层101的材质相同，第二透明导电膜层102的折射率小于第一透明导电膜层101的折射率；
54.第一透明导电膜层101和第二透明导电膜层102交替叠设。
55.采用该方法制得的电极，第二透明导电膜层102的折射率小于第一透明导电膜层101的折射率，通过不同折射率的透明导电膜层形成高低折射率的谐振腔，可以提升发光器件整体的出光效果。第二透明导电膜层102与第一透明导电膜层101的材质相同，不同折射
率的透明导电膜的材质相同，可以简化电极的制备工艺。
56.前面已经提到，第一透明导电膜层101和第二透明导电膜层102均为氧化铟锌薄膜，第一透明导电膜层101和第二透明导电膜可以利用溅射设备来制备，在溅镀之前对形成发光层后的阵列基板进行预加热，通过加热板将形成发光层后的阵列基板预加热到溅镀所要求的温度；将形成发光层后的阵列基板送入溅射室，在氩气(ar)导入与冷凝泵排气两者作用下，溅射室达到稳定工作压强，阴极加直流电，氩气(ar)电离；氩离子(ar )入射靶面，靶材粒子沉积于所述发光层上交替形成氧化铟锌薄膜。
57.在氧化铟锌薄膜制备过程中，可以通过调整的o2含量来改变氧化铟锌薄膜的折射率，使得氧化铟锌薄膜的折射率在1.75-2.1之间变化，在发光层上交替形成折射率不同的氧化铟锌薄膜。第一透明导电膜层101的折射率大于2，其形成条件为：功率大于3kw，气压小于0.6pa，反应气为ar；第二透明导电膜层102的折射率小于1.8，其形成条件为：功率小于0.5kw，气压大于1pa，反应气ar和o2。
58.利用等离子体轰击电极的出光面，形成微观结构为凹凸不平的起伏结构。即利用等离子体轰击位于所述电极其中一侧的所述第一透明导电膜层101或所述第二透明导电膜层102的表面，在第一透明导电膜层101或所述第二透明导电膜层102的表面形成微观结构为凹凸不平的起伏结构。在本实施例中，电极的出光面可以位于第一透明导电膜层101，等离子体可以为氩等离子体。
59.本公开实施方式提供一种发光器件。如图4，该发光器件包括本公开的上面任一项所述的电极，该电极为第一电极10；发光器件还包括第二电极40和发光层20，发光层20设置于第一电极10与第二电极40之间。
60.第一电极10可以为阴极，第二电极40可以为阳极。从第二电极40至第一电极10，发光层20包括依次设置的空穴注入层201、空穴传输层202、电致发光层203、电子传输层204和电子注入层205。该电子注入层205设于第一电极10上，该空穴注入层201设于第二电极40上。第一电极10产生的电子经过电子注入层205和电子传输层204进入电致发光层203，第二电极40产生的空穴经过空穴注入层201和空穴传输层202进入电致发光层203，电子和空穴在电致发光层203复合后发光。
61.在发光器件的实际制作过程中，在阵列基板上采用溅射工艺形成第二电极40，在第二电极40上采用真空蒸镀或打印等工艺形成发光层20，在发光层20上采用溅射工艺形成第一电极10。
62.本公开实施方式提供一种显示面板。如图5和图6所示，该显示面板包括根据本公开实施方式上面任一项所述的发光器件。
63.该显示面板还可以包括阵列基板40，该发光器件设于该阵列基板40上。具体地，该发光器件的第二电极40设于该阵列基板40上。该有发光器件的空穴注入层201设于第二电极40远离阵列基板40的一侧。除此之外，显示面板还可以包括触感控制层。当然，显示面板还可以设有其它部件，例如：偏光片和盖板，在此不再一一列举。本公开实施方式的显示面板采用的发光器件与上述实施方式中的发光器件相同，因此，具有相同的有益效果，在此不再赘述。
64.针对有色偏的显示面板，例如micro oled显示面板在大视角时存在色偏的问题或柔性显示面板的弯折显示区出现显示色偏等不良现象。可以针对性地采用本公开实施方式
的阴极替换相应显示区域的现有阴极。
65.发光器件的发光层20可以包括红光发光区域22、绿光发光区域23和蓝光发光区域21，红光发光区域22、绿光发光区域23和蓝光发光区域21所使用的发光材料不同，对应发出的光的颜色也不同，不同颜色的发光区域彼此之间通过像素界定层隔开。在实际制作过程中，根据色偏情况，首先需要确定rgb色块中哪一种颜色的光需要增强。
66.如图5所示，当显示面板的相应显示区发青时，红光发光区域22的发光效果较差，因此在红光发光区域22上的发光器件的第一电极10采用本公开实施方式上面任一项所提到的电极。本公开实施方式上面任一项所提到的电极在发光层20上的正投影覆盖红光发光区域22，增强红光发光区域22发出的红光的发光强度，而绿光发光区域23和蓝光发光区域21上只需形成现有的电极，红光发光区域22的发光器件的发光效果增强，而绿光发光区域23和蓝光发光区域21的发光器件的发光效果不变。可以改善或消除显示面板的相应显示区发青的现象。
67.当显示面板的相应显示区发紫时，绿光发光区域23的发光效果较差，因此在绿光发光区域23上的发光器件的第一电极10采用本公开实施方式上面任一项所提到的电极。本公开实施方式上面任一项所提到的电极在发光层20上的正投影覆盖绿光发光区域23，增强绿光发光区域23发出的绿光的发光强度，而红光发光区域22和蓝光发光区域21上只需形成现有的电极，绿光发光区域23的发光器件的发光效果增强，而红光发光区域22和蓝光发光区域21的发光器件的发光效果不变。可以改善或消除显示面板的相应显示区发紫的现象。
68.当显示面板的相应显示区发黄时，蓝光发光区域21的发光效果较差，因此在蓝光发光区域21上的发光器件的第一电极10采用本公开实施方式上面任一项所提到的电极。本公开实施方式上面任一项所提到的电极在发光层20上的正投影覆盖蓝光发光区域21，增强蓝光发光区域21发出的蓝光的发光强度，而红光发光区域22和绿光发光区域23上只需形成现有的电极，蓝光发光区域21的发光器件的发光效果增强，而红光发光区域22和绿光发光区域23的发光器件的发光效果不变。可以改善或消除显示面板的相应显示区发黄的现象。
69.可以理解的是，显示面板的相应显示区发红时，在绿光发光区域23和蓝光发光区域21上的发光器件的第一电极10设置本公开实施方式上面任一项所提到的电极。显示面板的相应显示区发绿时，在红光发光区域22和蓝光发光区域21上的发光器件的第一电极10设置本公开实施方式上面任一项所提到的电极。显示面板的相应显示区发蓝时，在红光发光区域22和绿光发光区域23上的发光器件的第一电极10设置本公开实施方式上面任一项所提到的电极。
70.如图6所示，在改善色偏的同时为了便于简化工艺，在电极包括不同折射率的氧化铟锌薄膜的前提下，可以将电极设置为：在需要增强的发光区域所包括氧化铟锌薄膜多于无需增强的发光区域的氧化铟锌薄膜。例如，当显示面板的相应显示区发青时，因此电极在红光发光区域22所包括的氧化铟锌薄膜的层数大于绿光发光区域23和蓝光发光区域21所包括的氧化铟锌薄膜的层数。可以理解的是，红光发光区域22的发光器件的发光效果增强程度较高，而绿光发光区域23和蓝光发光区域21的发光器件的发光效果增强程度较低，因此可以改善或消除显示面板的相应显示区发青的现象。至于电极在红光发光区域22所包括的氧化铟锌薄膜的层数比绿光发光区域23和蓝光发光区域21所包括的氧化铟锌薄膜的层数多出多少层，可以根据实际色偏情况进行调整，此处不做具体限定。当显示面板的相应显
示区发紫和发黄的情况，可参考上述显示面板发青时电极的结构设置进行适应性调整，在此不再进行赘述。
71.而针对显示面板的相应显示区域发红、发蓝或发绿的情况，以发红为例，可以将电极在红光发光区域22所包括的氧化铟锌薄膜的层数小于绿光发光区域23和蓝光发光区域21所包括的氧化铟锌薄膜的层数。显示面板的相应显示区域发蓝或发绿的情况，可以参考发红的情况进行设置，在此不再进行赘述。
72.本公开实施方式提供了一种显示装置，该显示装置可以包括本公开实施方式上面任一项所述的显示面板。显示面板的具体结构上述已经进行了详细说明，因此，此处不再赘述。
73.需要说明的是，该显示装置除了显示面板以外，还包括其他必要的部件和组成，以显示器为例，具体例如外壳、电路板、电源线，等等，本领域技术人员可根据该显示装置的具体使用要求进行相应地补充，在此不再赘述。
74.显示装置可以是传统电子设备，例如：手机、电脑、电视和摄录放影机，也可以是新兴的穿戴设备，例如：虚拟现实设备和增强现实设备，在此不一一进行列举。
75.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本技术旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。