一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置的制作方法

1.本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置。


背景技术：

2.旋转硅靶材和旋转硅铝靶材等陶瓷靶材一般用等离子喷涂工艺生产。如图1所示，不锈钢背管5两端安装有用于与转床1连接的夹具51，夹具51的外径大于不锈钢背管5的外径，转床1上设置有能左右移动的拖板2，拖板2的一侧设置有支架3，支架3上设置有喷枪4。在喷涂时，转床1驱动不锈钢背管5和夹具51转动，喷枪4左右往复移动并喷出熔融或半熔融的粉末，粉末一层一层(每层的厚度0.008毫米左右)的沉积在不锈钢背管5上形成靶材涂层，当涂层达到一定的厚度时(10毫米左右)，即可达到要求，之后再对涂层的外表进行打磨，使其具有要求的光洁度，即成为成品靶材。在喷涂时，喷枪4要移动到夹具51处(此时不送粉，所以不会有粉末沉积)才向回移动，以使得喷枪4在整个涂层长度内移动速度比较均匀。
3.在喷涂的过程中，喷枪4的喷嘴处容易沉积粉末，该粉末沉积在喷嘴处被等离子火焰长时间的灼烧，变得成为团状并随着粉末不断沉积逐渐长大。由于团状沉积物在一定程度上阻碍喷嘴火焰的喷出，当其大到一定程度后，受到的火焰吹力达到临界值，此时，其会从喷嘴处脱落并落在涂层上，并逐渐被埋没在后续的喷涂过程形成的涂层中，形成夹杂物，俗称为痘。由于其成份和物理性质均不同于涂层，在用靶材进行等离子溅射镀膜过程中，夹杂物难以溅射，造成此处薄膜的质量不合格。而痘被埋没在靶材的涂层中，当靶材喷涂完成后，痘难以发现和去除，因此含痘靶材往往被当做合格品发给客户，客户使用时导致薄膜质量不合格会向靶材生产厂家索赔，造成的损失更加严重。


技术实现要素：

4.本发明所要解决的技术问题，是针对上述存在的技术不足，提供了一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置，能在等离子喷涂的过程中去除沉积在靶材涂层上的痘，以免痘被埋没在后续的喷涂过程形成的涂层中。
5.按照本发明所采用的技术方案，一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置，包括固定在拖板上的母板，所述母板上滑动连接有除痘组件，所述母板在除痘组件两侧的位置滑动连接有推动组件；所述除痘组件包括第二条体，所述第二条体一端的两侧设置有第二齿条部，所述第二条体的另一端转动连接有定位轮，所述第二条体在定位轮的一侧设置有除痘条刀；所述推动组件包括第一条体，所述第一条体一端的一侧设置有第一齿条部，所述第一条体的另一端转动连接有推动轮，所述推动轮远离除痘组件的一侧设置有倾斜部；所述母板上在除痘组件两侧的位置设置有安装板，所述安装板上转动连接有齿轮组件，所述齿轮组件上下两端分别设置有第一齿轮和第二齿轮，两个第一齿轮分别与两个第二齿条部相啮合，两个第二齿轮分别与两个第一齿条部相啮合，所述推动组件设置有推动轮的一端
与母板之间设置有第一弹簧。
6.优选的，所述除痘组件设置有定位轮的一端与母板之间设置有第二弹簧。
7.优选的，所述除痘组件设置有第二齿条部的一端设置有阻挡条，所述阻挡条的投影位于至少一个安装板的端面内。
8.优选的，所述定位轮圆周位置的两侧都设置有刃口。
9.与现有技术相比，本发明具有以下优点：1、当痘落在不锈钢背管上后，除痘组件能在拖板一个往复移动的过程之内，将痘去掉，以免痘被夹杂在靶材涂层中，从而避免了靶材涂层中含痘的情况，经济效益显著；2、推动组件能推动除痘组件远离夹具，以免其撞在夹具上。
附图说明
10.图1为靶材喷涂生产的原理示意图。
11.图2为一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置的前轴侧视图。
12.图3为一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置的后轴侧视图。
13.图4为一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置的推动组件结构示意图。
14.图5为一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置的除痘组件结构示意图。
15.图6为一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置的定位轮的剖视图。
16.图中：1、转床；2、拖板；3、支架；4、喷枪；5、不锈钢背管；51、夹具；6、装置；61、母板；62、推动组件；621、第一条体；622、第一齿条部；623、推动轮；624、倾斜部；63、除痘组件；631、第二条体；632、第二齿条部；633、定位轮；6331、刃口；634、除痘条刀；64、第一弹簧；65、第二弹簧；66、安装板；67、齿轮组件；671、第一齿轮；672、第二齿轮；68、阻挡条。
具体实施方式
17.为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本发明进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本发明的概念。
18.具体实施方式：
19.结合图1-6所示，一种用于靶材等离子喷涂生产的除痘装置，包括固定在拖板2上的母板61，母板61位于不锈钢背管5的与喷枪4相对的一侧。所述母板61上滑动连接有除痘组件63，所述母板61在除痘组件63两侧的位置滑动连接有推动组件62。所述除痘组件63包括第二条体631，第二条体631与母板61滑动连接，所述第二条体631一端的两侧设置有第二齿条部632，所述第二条体631的另一端转动连接有定位轮633，定位轮633的材质优选高强度耐热材料。所述第二条体631在定位轮633的一侧设置有除痘条刀634，除痘条刀634的顶端设置有与不锈钢背管5的轴线平行且朝上的刀刃。所述推动组件62包括第一条体621，所述第一条体621一端的一侧设置有第一齿条部622，所述第一条体621的另一端转动连接有推动轮623，所述推动轮623远离除痘组件63的一侧设置有倾斜部624。在使用时，定位轮633与不锈钢背管5外面的涂层接触，而除痘条刀634的刀刃距离该涂层微小的距离(0.2-0.3毫米)，推动轮623距离该涂层0.5毫米左右甚至更大。所述母板61上在除痘组件63两侧的位置
设置有安装板66，所述安装板66上转动连接有齿轮组件67，所述齿轮组件67上下两端分别设置有第一齿轮671和第二齿轮672，第一齿轮671的直径大于第二齿轮672的直径，两个第一齿轮671分别与两个第二齿条部632相啮合，两个第二齿轮672分别与两个第一齿条部622相啮合，所述推动组件62设置有推动轮623的一端与母板61之间设置有第一弹簧64。第一弹簧64能推动推动组件62向不锈钢背管5的方向伸出，并且通过齿条和齿轮的啮合推动除痘组件63向不锈钢背管5的方向伸出。定位轮633、推动轮623与不锈钢背管5的轴线在同一水平面上，除痘条刀634的刀刃的上边缘也位于该水平面上。不锈钢背管5的轴向方向上，两个推动轮623分别位于喷枪4的两侧且距离喷枪4一定的距离，定位轮633优选与喷枪4的位置重合。
20.所述除痘组件63设置有定位轮633的一端与母板61之间设置有第二弹簧65，能直接推动除痘组件63向不锈钢背管5的方向伸出。
21.所述除痘组件63设置有第二齿条部632的一端设置有阻挡条68，所述阻挡条68的投影位于至少一个安装板66的端面内。阻挡条68能防止除痘组件63向喷枪4的方向掉落。
22.所述定位轮633圆周位置的两侧都设置有刃口6331，也具有一定的除痘的作用。
23.工作原理：结合图1-6所示，在喷涂时，定位轮633与不锈钢背管5外部的涂层接触，当有喷枪4喷嘴处的团状沉积物落在涂层上形成痘时，由于此时痘高于涂层表面且未被后续涂层覆盖，在不锈钢背管转动的带动下，除痘条刀634会将痘铲掉，由于痘的硬度和密度较高，其会整体掉落。由于在喷涂时，喷枪4要移动到夹具51处(此时不送粉，所以不会有粉末沉积)才向回移动，以使得喷枪4在整个涂层长度内移动速度比较均匀，因此推动组件62是必要的，当喷枪4位于涂层的边缘时，推动轮623的倾斜部624刚好与夹具51接触，驱动推动组件62远离不锈钢背管5，由于第一齿轮671的直径大于第二齿轮672的直径，所以除痘组件63远离不锈钢背管5的速度更快、距离更远，当定位轮633和除痘条刀634运行到夹具51的位置时，其不会撞到夹具51(此时推动轮623的圆周面与夹具51接触，而定位轮633和除痘条刀634后退较多)。