一种Prober点墨器新型打点稳定工装的制作方法

一种prober点墨器新型打点稳定工装
技术领域
1.本实用新型涉及晶圆打点用辅助工装技术领域，特别涉及一种prober点墨器新型打点稳定工装。


背景技术：

2.在传统的晶圆打点设备上，点墨器打点稳定装置是由硬性结构件表面的滑动来完成打点动作的，当硬性结构件之间滑动务必会有磨损的出现导致稳定装置的精度变差。因此急需设计一套精度高、耐用度久的稳定工装来替代传统工装，本实用新型研制了一种prober点墨器新型打点稳定工装，经检索，未发现与本实用新型相同或相似的技术方案。


技术实现要素：

3.本实用新型目的是：提供一种prober点墨器新型打点稳定工装，以解决现有技术中硬性结构件之间磨损导致稳定装置的精度变差的问题。
4.本实用新型的技术方案是：一种prober点墨器新型打点稳定工装，安装于打点设备上，其创新点在于：包括壳体、安装于壳体内部的点墨器稳定机构及导轨、驱动点墨器稳定机构沿导轨运动的驱动件；所述点墨器稳定机构包括嵌合于壳体内的导向座、设置在导向座外侧端面用于固定墨盒的卡座。
5.优选的，所述壳体由侧壁向内开设有容置腔，所述点墨器稳定机构及导轨设置在容置腔内，所述驱动件选用动作气缸，中轴线沿竖直方向设置，由壳体上方贯穿壳体并延伸至容置腔内，固定端与壳体固定连接，活动端与点墨器稳定机构固定连接。
6.优选的，所述导轨包括沿竖直方向滑动配合的固定轨及活动轨，所述固定轨采用螺丝固定在容置腔内背壁上，所述活动轨与导向座固定连接；所述导向座沿平行于容置腔内侧壁方向的截面呈h型结构，上下两端均形成凹腔，所述凹腔两侧的导向座上分别设置有进料孔及安装孔，采用由进料孔进入并贯穿安装孔的螺丝，实现导向座与活动轨的固定连接。
7.优选的，所述容置腔下端呈开口状，处于凹腔下方位置处具有一限位梁，所述限位梁端面上具有与动作气缸同轴设置的通腔；所述动作气缸的固定端与壳体螺纹连接，活动端贯穿导向座，并采用由通腔进入的螺栓实现活动端与导向座的固定连接。
8.优选的，处于下方的所述凹腔内部贯穿设置有定位块，所述定位块贯穿容置腔两侧壁，并架设在壳体上。
9.优选的，所述壳体外壁上设置有用于实现动作气缸外连的进气口。
10.与现有技术相比，本实用新型的优点是：
11.本实用新型主要应用于晶圆打点操作，所涉及的点墨器稳定机构采用动作气缸提供动力，并沿导轨发生运动，快速便捷的实现晶圆产品表面打点功能，能够很好的保证晶圆打点位置的精度，并提升工装使用寿命。
附图说明
12.下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
13.图1为本实用新型所述的一种prober点墨器新型打点稳定工装的结构示意图；
14.图2为本实用新型所述的一种prober点墨器新型打点稳定工装的爆炸图；
15.图3为本实用新型所述的一种prober点墨器新型打点稳定工装隐藏壳体后的结构示意图。
16.其中：1、壳体,10、设备连接位置，11、容置腔，12、限位梁，13、通腔，14、进气口；
17.2、点墨器稳定机构，21、导向座，22、卡座，221、支撑卡座，222、限位卡座，23、凹腔，24、进料孔，25、安装孔，26、定位块；
18.3、导轨，31、固定轨，32、活动轨；
19.4、驱动件，41、动作气缸。
具体实施方式
20.下面结合具体实施例，对本实用新型的内容做进一步的详细说明：
21.如图1
‑
3所示，一种prober点墨器新型打点稳定工装，安装于打点设备上，包括壳体1、安装于壳体1内部的点墨器稳定机构2及导轨3、驱动点墨器稳定机构2沿导轨3运动的驱动件4。
22.如图2所示，壳体1上端顶角处具有设备连接位置10，背离设备连接位置10的另一端侧壁向内开设有容置腔11，容置腔11下端呈开口状。
23.点墨器稳定机构2及导轨3均设置在容置腔11内，其中，导轨3包括沿竖直方向滑动配合的固定轨31及活动轨32，固定轨31采用螺丝固定在容置腔11内背壁上，活动轨32与点墨器稳定机构2固定连接。
24.点墨器稳定机构2包括嵌合于壳体1内的导向座21、设置在导向座21外侧端面用于固定墨盒的卡座22；导向座21沿平行于容置腔11内侧壁方向的截面呈h型结构，上下两端均形成凹腔23，凹腔23两侧的导向座21上分别设置有进料孔24及安装孔25，采用由进料孔24进入并贯穿安装孔25的螺丝，实现导向座21与活动轨32的固定连接；处于凹腔23下方的位置处具有一与壳体1呈一体结构设置的限位梁12，限位梁12端面上设置有通腔13；同时，处于下方的凹腔23内部还贯穿设置有定位块26，该定位块26处于限位梁12上端，贯穿容置腔11两侧壁，并架设在壳体1上；卡座22包括处在导向座21端面下方的支撑卡座221、以及处在导向座21端面上方的限位卡座222，两者配合实现墨盒的卡紧定位。
25.驱动件4选用动作气缸41，中轴线沿竖直方向与通腔13同轴设置，由壳体1上方贯穿壳体1并延伸至容置腔11内，固定端与壳体1螺纹连接，活动端贯穿导向座21，并采用由通腔13进入的螺栓实现活动端与导向座21的固定连接；壳体1外壁上设置有用于实现动作气缸41外连的进气口14。
26.本实用新型的主要技术参数如下：
27.工装材质：al6061
28.表面处理：黑色氧化
29.整体精度：0.02mm
30.本实用新型的组装方法具体如下：
31.步骤一：将导向座21与活动轨32采用螺丝固定连接，螺丝由进料孔24进入并贯穿安装孔25实现锁紧固定；
32.步骤二：将步骤一中组装完成的点墨器稳定机构2及导轨3置于容置腔11内，并采用螺丝将固定轨31与壳体1固定连接；
33.步骤三：将动作气缸41旋拧进入壳体1内，下方的活动端贯穿导向座21，并采用由通腔13进入的螺栓实现活动端与导向座21的固定连接；
34.步骤四：将定位块26贯穿壳体1插设在凹腔23内部；至此组装完成，将其与打点设备连接即可。
35.本实用新型的工作原理具体如下：使用前，需进行设备检查，检查打点工装表面是否有油污，异常磨损等；检查各结构件有无松动，滑轨滑动是否顺畅；检查工装整体外观面无缺失磕碰；工作时，将打点所需墨盒固定在卡座22上，并将晶圆产品放置于打点设备内，接着通过动作气缸41的驱动，实现点墨器稳定机构2带动墨盒沿导轨3上下运动，完成打点操作；工作后，需定期检查导轨3是否存在卡涩、晃动，检查卡座22是否能够卡紧墨盒；上述检查过程中出现任何不合格，需对其进行更换。
36.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。