一种用于真空镀膜的雾化加热装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于包括用于对液态有机镀膜材料进行雾化的雾化装置(21)以及用于对雾化后的有机镀膜材料进行汽化的加热装置(22)，所述加热装置(22)包括与所述雾化装置(21)相连通的加热箱体(221)和设于所述加热箱体(221)上且用于对所述加热箱体(221)进行加热的加热组件(222)，所述加热箱体(221)的一侧设有喷口(2211)。2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述雾化装置(21)包括设于所述加热装置(22)一侧的壳体(211)和设于所述壳体(211)内的雾化器本体(212)，所述雾化器本体(212)的两端分别设有通液接口(2121)和雾化喷头(2122)，所述通液接口(2121)用于通入供所述雾化器本体(212)进行雾化的液态有机镀膜材料，所述雾化喷头(2122)伸入所述加热箱体(221)内并向所述加热箱体(221)喷入经雾化的有机镀膜材料，所述雾化器本体(212)上设有用于增压的增压接头(213)。3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述壳体(211)包括外壳体(2111)和内壳体(2112)，所述外壳体(2111)与所述内壳体(2112)之间形成有第一冷却空间(2113)，所述外壳体(2111)上设有与所述第一冷却空间(2113)相连通且与冷却液体相连通的水冷进口(214)和水冷出口(215)。4.根据权利要求2或3所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述雾化器本体(212)内设有第二冷却空间，所述雾化器本体(212)的外侧设有与所述第二冷却空间相连通且与冷却气体相连通的气冷进口(216)和气冷出口(217)。5.根据权利要求1或5所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述加热箱体(221)内沿竖向相对间隔设置有横向导流挡板(223)。6.根据权利要求5所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述喷口(2211)设于所述加热箱体(221)的顶部，所述加热组件(222)由设于所述加热箱体(221)前侧、后侧、左侧、右侧和底侧的铝合金板式加热器组成。7.根据权利要求6所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述加热箱体(221)的顶部设有可调节所述喷口(2211)的宽度的喷口调节板(224)。8.根据权利要求7所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述喷口调节板(224)上设有导向斜面(2241)。9.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述加热装置(22)外侧罩设有隔离罩(230)，所述隔离罩(230)与所述加热装置(22)之间设有隔热板(2301)。10.根据权利要求9所述的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，其特征在于所述隔离罩(230)的顶部边缘设有与外部高压气源相连通的气帘通气孔(2302)。

技术总结
本发明提供一种用于真空镀膜的雾化加热装置，包括用于对液态有机镀膜材料进行雾化的雾化装置以及用于对雾化后的有机镀膜材料进行汽化的加热装置，加热装置包括与雾化装置相连通的加热箱体和设于加热箱体上且用于对加热箱体进行加热的加热组件，加热箱体的一侧设有喷口。本发明采用上述结构，实现了对液态有机镀膜材料的雾化及汽化过程，汽化后的有机镀膜材料可均匀地附着并涂覆于基材的表面上，成膜的过程在真空环境下完成，其适用范围广，可以获得较薄的镀膜层，也可以满足厚膜的需要，其均匀性容易控制，效率高，并且可以获得均匀性高和更高膜层性能的薄膜。性高和更高膜层性能的薄膜。性高和更高膜层性能的薄膜。


技术研发人员：李小彭 姜翠宁 高文波
受保护的技术使用者：浙江生波智能装备有限公司
技术研发日：2021.10.15
技术公布日：2021/12/14