蒸发源的制作方法

蒸发源
【技术领域】
1.本技术涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸发源。


背景技术：

2.在有机电致发光显示器(oled，organic electroluminescence display)面板制备过程中，蒸镀工艺其是其中的关键工序。在蒸镀过程中，采用蒸镀掩膜版遮挡基材，蒸镀材料从蒸镀掩膜版开口蒸镀到对应的基材位置上，但是现有的蒸发源在蒸镀的过程中，会导致基材上蒸镀的有机材料厚度不均匀，从而降低生产的面板质量，甚至造成良率降低。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本技术实施例提供了一种蒸发源，用以解决现有技术中存在的现有的蒸发源在蒸镀的过程中，会导致基材上蒸镀的有机材料厚度不均匀，从而降低生产的面板质量，甚至造成良率降低的技术问题。
4.第一方面，本技术实施例提供了一种蒸发源，包括喷嘴板和容器；所述喷嘴板固定在所述容器的顶部并覆盖所述容器，所述容器用于容纳蒸镀材料，所述蒸镀材料沿升华方向自所述容器内升华至所述喷嘴板，且所述喷嘴板沿与所述升华方向垂直的延伸方向延伸；所述喷嘴板包括载板和布置于所述载板上的多个第一喷嘴、多个第二喷嘴和多个第三喷嘴，所述第一喷嘴具有第一喷口，所述第二喷嘴具有多个第二喷口，所述第三喷嘴具有第三喷口；所述第一喷口的开口朝向为第一方向，所述第三喷口的开口朝向为第二方向，多个所述第二喷口的开口朝向分别为第一方向和第二方向，所述第一方向与所述第二方向相反。
5.通过本实施例提供的方案，第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴的喷口方向、喷口形状和喷口尺寸均不同，使蒸镀材料的蒸气能够更加均匀的喷射到覆盖在基材上的蒸镀掩膜板上。
6.可选地，所述载板上具有第一喷嘴区、第二喷嘴区和第三喷嘴区，所述第一喷嘴区、所述第二喷嘴区和所述第三喷嘴区自所述载板的中心至所述载板的边缘依次分布，所述载板的中心位于所述第一喷嘴区内，所述载板沿所述延伸方向的两端连接所述第三喷嘴区；所述第一喷嘴区内布置所述多个第一喷嘴，所述第二喷嘴去内布置所述多个第二喷嘴，所述第三喷嘴区内布置所述多个第三喷嘴；所述第一方向为朝向所述载板的中心的方向。
7.通过本实施例提供的方案，能够保证蒸镀掩膜板上各处都能被喷洒上蒸镀材料并且能够避免蒸镀材料在某个区域重复喷洒造成浪费，保证了蒸镀产品的质量。
8.可选地，自穿过所述载板的中心的中轴线至所述载板在所述延伸方向上的端部，所述第一喷嘴区、所述第二喷嘴区和所述第三喷嘴区依次设置，所述多个第一喷嘴、所述多个第二喷嘴和所述多个第三喷嘴在所述延伸方向上以线性方式成排排布。
9.通过本实施例提供的方案，将第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴按照各自所在的第一喷嘴区、第二喷嘴区和第三喷嘴区从载板的中央线性排布至端部，能够将每个喷嘴的喷
洒区域之间的重叠部分最小化，进一步减少蒸镀材料的浪费，避免喷洒不均匀的问题。
10.可选地，在与所述升华方向和所述延伸方向均垂直的宽度方向上，相邻两个所述第一喷嘴的投影、所述第二喷嘴的投影和所述第三喷嘴的投影分别不重叠。
11.通过本实施例提供的方案，有效地避免了从宽度方向上相邻的喷嘴喷出的蒸镀材料相互影响，保证了基材上蒸镀材料的均匀性。
12.可选地，所述载板上固定有多个固定板，所述固定板沿所述延伸方向延伸；在所述延伸方向上，每个所述固定板上依次排列有多个所述第一喷嘴、多个所述第二喷嘴和多个所述第三喷嘴。
13.通过本实施例提供的方案，载板上的多个喷嘴通过长条形状的固定板成排地固定在载板上，使得用户能够更方便地对一排喷嘴进行更换，提高了喷嘴板的更换和清洗效率，降低维修成本。
14.可选地，所述喷嘴板上设置有多个固定槽，所述固定槽沿所述延伸方向上延伸，所述固定板固定在所述固定槽中。
15.通过本实施例提供的方案，使得固定板在安装在载板上时能够被限位，喷嘴在喷洒蒸镀材料时工作环境更稳定。
16.可选地，在所述载板上位于所述固定槽沿所述延伸方向上的两端处分别设置有一对限位凸起；在与所述升华方向和所述延伸方向均垂直的宽度方向上，所述一对限位凸起之间的间距大于或等于所述固定板的宽度。
17.通过本实施例提供的方案，使得固定板能够被限制在固定槽中，不会晃动以至于影响喷嘴的喷洒。
18.可选地，所述第一方向与所述延伸方向处于同一直线。
19.可选地，所述第一喷口具有第一弧形切口，所述第二喷口具有第二弧形切口，所述第三喷口具有第三弧形切口；在所述升华方向上，所述第一弧形切口、所述第二弧形切口和所述第三弧形切口的最高点位于同一高度，所述第二弧形切口的最低点高于所述第一弧形切口的最低点和所述第三弧形切口的最低点。
20.通过本实施例提供的方案，提高了基材上蒸镀材料的厚度均匀性，保证显示屏的质量。
21.可选地，所述容器具有蒸发槽，所述喷嘴板覆盖所述蒸发槽，沿与所述升华方向上，所述蒸发槽的内径越来越大。
22.通过本实施例提供的方案，以满足蒸发源的面喷洒功能。
23.本技术实施例所公开的蒸发源，对安装于容器上的喷嘴部进行多种布置，使得蒸镀到基材上的蒸镀材料厚度均匀，保证了蒸镀产品的质量。
【附图说明】
24.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
25.图1是本技术实施例所公开的蒸发源在宽度方向上的端面示意图；
26.图2是本技术实施例所公开的蒸发源在延伸方向上的侧面示意图；
27.图3是本技术实施例所公开的蒸发源中，当第一方向和第二方向为与延伸方向具有一定夹角的两个方向时，载板在升华方向上的顶面示意图；
28.图4是本技术实施例所公开的蒸发源中，当第一方向为朝向载板上某一参考点的方向时，载板在升华方向上的顶面示意图；
29.图5是本技术实施例所公开的蒸发源中，当第一方向为朝向载板上与延伸方向相垂直的中轴线的方向时，载板在升华方向上的顶面示意图；
30.图6是本技术实施例所公开的蒸发源中，当第一方向和第二方向为与延伸方向具有一定夹角的两个方向，且喷嘴被分别布置在三个喷嘴区中时，载板在升华方向上的顶面示意图；
31.图7是本技术实施例所公开的蒸发源中，当第一方向为朝向载板上某一参考点的方向，且喷嘴被分别布置在三个喷嘴区中时，载板在升华方向上的顶面示意图；
32.图8是本技术实施例所公开的蒸发源中，当第一方向为朝向载板上与延伸方向相垂直的中轴线的方向，且喷嘴被分别布置在三个喷嘴区中时，载板在升华方向上的顶面示意图；
33.图9是本技术实施例所公开的蒸发源中，喷嘴被布置在固定板上时，载板在升华方向上的顶面示意图；
34.图10是本技术实施例所公开的蒸发源中，喷嘴的喷口设计成弧形切口时，喷嘴的排布示意图；
35.图11是本技术实施例所公开的蒸发源中，容器的侧面示意图。
36.附图标记：
[0037]1‑
喷嘴板；11
‑
载板；111
‑
固定槽；12
‑
第一喷嘴；121
‑
第一喷口；122
‑
第一喷嘴区；13
‑
第二喷嘴；131
‑
第二喷口；132
‑
第二喷嘴区；14
‑
第三喷嘴；142
‑
第三喷嘴区；141
‑
第三喷口；15
‑
参考点；16
‑
中轴线；17
‑
中心；18
‑
固定板；19
‑
限位凸起；2
‑
容器；21
‑
蒸发槽；3
‑
蒸镀材料；4
‑
基材；5
‑
蒸镀掩膜板；d1
‑
升华方向；d2
‑
延伸方向；d3
‑
宽度方向；o1
‑
第一方向；o2
‑
第二方向；
△
s
‑
预定间距。
【具体实施方式】
[0038]
为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
[0039]
应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0040]
在本技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
[0041]
应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0042]
应当理解，尽管在本技术实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述诸如喷
嘴、喷口之类的部件，但这些部件不应限于这些术语。这些术语仅用来将各个部件彼此区分开。例如，在不脱离本技术实施例范围的情况下，第一喷嘴也可以被称为第二喷嘴，类似地，第二喷嘴也可以被称为第一喷嘴。
[0043]
应当理解，本文所示出的附图中第一方向、第二方向和第三方向所指的方向即为纸面中箭头所指的方向，其中，
“×”
表示的方向为垂直于纸面朝远离主视视线射出的方向，“·”表示的方向为垂直于纸面朝正对主视视线射入的方向。
[0044]
参见图1和图2，本技术实施例公开了一种蒸发源，该蒸发源是面蒸发源，即其喷出的蒸气能够覆盖一个平面。该蒸发源包括喷嘴板1和容器2，该喷嘴板1固定在容器2的顶部并覆盖容器2，该容器2用于容纳蒸镀材料3，蒸镀材料3沿升华方向d1自容器2内升华至喷嘴板1，最终经喷嘴板1喷洒到覆盖在基材4上的蒸镀掩膜板5上。其中，喷嘴板1扣合在容器2的上方并用于封闭容器2，喷嘴板1沿与升华方向d1垂直的延伸方向d2延伸，该容器2为坩埚，蒸镀材料3为有机材料。
[0045]
参见图3至图6，在本实施例的蒸发源中，喷嘴板1包括载板11和布置于载板11上的多个第一喷嘴12、多个第二喷嘴13和多个第三喷嘴14，第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14在延伸方向d2以及与升华方向d1和延伸方向d2均垂直的宽度方向d3上排列布置。该第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14的喷口方向、喷口形状和喷口尺寸均不同，使蒸镀材料3的蒸气能够更加均匀的喷射到覆盖在基材4上的蒸镀掩膜板5上。第一喷嘴12具有第一喷口121，第二喷嘴13具有多个第二喷口131，第三喷嘴14具有第三喷口141，第一喷口121的开口朝向为第一方向o1，第三喷口141的开口朝向为第二方向o2，多个第二喷口131的开口朝向分别为第一方向o1和第二方向o2，第一方向o1与第二方向o2相反。在载板11上，第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14朝着不同方向喷洒蒸镀材料3。第一方向o1和第二方向o2可以是任意一对相反的方向。
[0046]
在图3中，第一方向o1和第二方向o2为与延伸方向d2具有一定夹角的两个方向，此时第一喷口121和部分第二喷口131沿第一方向o1朝延伸方向d2和宽度方向d3之间喷洒蒸气，第三喷口141和部分第二喷口131沿第二方向o2朝与第一喷口121相反的方向喷洒蒸气，每个第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14所喷出的蒸气均是在第一方向o1和第二方向o2分布，从而实现蒸镀掩膜板5上喷洒的蒸镀材料3能够均匀分布。
[0047]
在图4中，第一方向o1和第二方向o2不同于图3中所示的方向，第一方向o1为朝向载板11上某一参考点15的方向，第二方向o2则为远离该参考点15的方向(即朝向载板11边缘的方向)，此时第一喷口121和部分第二喷口131沿第一方向o1朝向参考点15向载板11的内部喷洒蒸气，第三喷口141和部分第二喷口131沿第二方向o2朝向载板11的边缘喷洒蒸气，参考点15附近的第一喷嘴12和第二喷嘴13所喷洒的蒸气会较多地喷至蒸镀掩膜板5离参考点15近的区域，而载板11边缘附近的第二喷嘴13和第三喷嘴14所喷洒的蒸气会较多地喷至蒸镀掩膜板5离载板11边缘近的区域，和参考点15以及载板11边缘都有一定距离的第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14所喷洒的蒸气能够很好地弥补蒸镀掩膜板5离参考点15和载板11边缘均较远的区域接受喷洒不足的问题，从而实现蒸镀掩膜板5上喷洒的蒸镀材料3能够均匀分布。而当图4中的参考点15为整个载板11的中心17时，能够更好地实现蒸镀掩膜板5上各处蒸镀材料3均匀分布的效果。
[0048]
在图5中，第一方向o1和第二方向o2不同于图3和图4中所示的方向，第一方向o1为
朝向载板11上与延伸方向d2相垂直的中轴线16的方向，第二方向o2则为远离该中轴线16的方向(即朝向载板11沿延伸方向d2的两端的方向)，即第一方向o1和第二方向o2均与延伸方向d2位于同一直线，此时第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14分别布置在中轴线16的两侧，第一喷口121和部分第二喷口131沿第一方向o1朝向中轴线16向载板11的中央喷洒蒸气，第三喷口141和部分第二喷口131沿第二方向o2朝向载板11的两端喷洒蒸气，中轴线16附近的第一喷嘴12和第二喷嘴13所喷洒的蒸气会较多地喷至蒸镀掩膜板5离中轴线16近的区域，而载板11的两端附近的第二喷嘴13和第三喷嘴14所喷洒的蒸气会较多地喷至蒸镀掩膜板5离载板11的两端近的区域，和中轴线16以及载板11的两端都有一定距离的第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14所喷洒的蒸气能够很好地弥补蒸镀掩膜板5离参考点15和载板11边缘均较远的区域接受喷洒不足的问题，从而实现蒸镀掩膜板5上喷洒的蒸镀材料3能够均匀分布。优选地，第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14沿延伸方向d2成排布置，将第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14按照各自所在的第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142从载板11的中央线性排布至端部，能够将每个喷嘴的喷洒区域之间的重叠部分最小化，使每个喷嘴喷洒至蒸镀掩膜板5上的区域分布均匀且互不干涉，进一步减少蒸镀材料的浪费，避免喷洒不均匀的问题。
[0049]
在图6中，第一方向o1和第二方向o2与图3所示的方向相同，但第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14的排布方式不同。载板11上具有第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142，沿第一方向o1和第二方向o2，第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142自载板11的中心17至载板11的边缘呈长方形依次分布，载板11的中心17位于第一喷嘴区122内，载板11的边缘连接第三喷嘴区142；第一喷嘴区122内布置多个第一喷嘴12，第二喷嘴13去内布置多个第二喷嘴13，第三喷嘴区142内布置多个第三喷嘴14；第一方向o1为朝向载板11的中心17的方向。从载板11的中心17至边缘分别将载板11依次分为第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142，并将第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14对应集中布置在相对应的区域，这样一个区域内的喷嘴的喷洒方向是一致的，只能朝一个方向喷洒的第一喷嘴12和第三喷嘴14分布在载板11的中央和边缘，能朝两个方向喷洒的第二喷嘴13分布在两者之间，这种布置形成的长方形喷洒能够保证蒸镀掩膜板5上各处都能被喷洒上蒸镀材料3并且能够避免蒸镀材料3在某个区域重复喷洒造成浪费。
[0050]
在图7中，第一方向o1和第二方向o2与图4所示的方向相同，但第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14的排布方式不同。载板11上具有第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142，沿第一方向o1和第二方向o2，第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142自载板11上的参考点15至载板11的边缘呈环形依次分布，载板11的中心17和参考点15均位于第一喷嘴区122内，载板11沿延伸方向d2的两端位于第三喷嘴区142；第一喷嘴区122内布置多个第一喷嘴12，第二喷嘴13去内布置多个第二喷嘴13，第三喷嘴区142内布置多个第三喷嘴14；第一方向o1为朝向载板11的参考点15的方向，优选地参考点15和中心17重合。从载板11的中心17至边缘分别将载板11依次分为第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142，并将第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14对应集中布置在相对应的区域，这样一个区域内的喷嘴的喷洒方向都位于穿过参考点15的直线上，只能朝参考点15喷洒的第一喷嘴12分布在载板11的中央，只能朝载板11的两端喷洒的第三喷嘴14分布在载板11的边缘，能朝两个方向喷洒的第二喷嘴13分布在两者之间，这种布置形成的环形喷洒能够保证蒸镀掩
膜板5上各处都能被喷洒上蒸镀材料3并且能够避免蒸镀材料3在某个区域重复喷洒造成浪费，保证了蒸镀产品的质量。
[0051]
在图8中，第一方向o1和第二方向o2与图5所示的方向相同，但第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14的排布方式不同。载板11上具有第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142，沿第一方向o1和第二方向o2，第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142自穿过载板11的中心17的中轴线16至载板11沿延伸方向d2的端部呈长方形依次分布，载板11的中轴线16位于第一喷嘴区122内，载板11沿延伸方向d2的两端位于第三喷嘴区142；第一喷嘴区122内布置多个第一喷嘴12，第二喷嘴13去内布置多个第二喷嘴13，第三喷嘴区142内布置多个第三喷嘴14；第一方向o1为朝向载板11的中轴线16的方向。多个第一喷嘴12、多个第二喷嘴13和多个第三喷嘴14在延伸方向d2上以线性方式成排排布。从载板11的中轴线16至两端分别将载板11依次分为第一喷嘴区122、第二喷嘴区132和第三喷嘴区142，并将第一喷嘴12、第二喷嘴13和第三喷嘴14对应集中布置在相对应的区域，这样一个区域内的喷嘴的喷洒方向都是一致的，只能朝中轴线16喷洒的第一喷嘴12分布在载板11的中央，只能朝载板11的两端喷洒的第三喷嘴14分布在载板11的两端，能朝两个方向喷洒的第二喷嘴13分布在两者之间，这种布置形成的长方形喷洒能够保证蒸镀掩膜板5上各处都能被喷洒上蒸镀材料3并且能够避免蒸镀材料3在某个区域重复喷洒造成浪费，保证了蒸镀产品的质量。
[0052]
参见图8，在本实施例的蒸发源中，沿与升华方向d1和延伸方向d2均垂直的宽度方向d3上，相邻两个第一喷嘴12的投影、第二喷嘴13的投影和第三喷嘴14的投影分别不重叠。也就是说，在宽度方向d3上相邻的两个第一喷嘴12、相邻的两个第二喷嘴13、相邻的两个第三喷嘴14是错位排布的，沿延伸方向d2上，在宽度方向d3上相邻的两个第一喷嘴12之间、相邻的两个第二喷嘴13之间、相邻的两个第三喷嘴14之间具有一定的预定间距
△
s，有效地避免了从宽度方向d3上相邻的喷嘴喷出的蒸镀材料3相互影响，保证了基材4上蒸镀材料3的均匀性。
[0053]
参见图9，本实施例的蒸发源中，为了便于用户维护和装配喷嘴，载板11上固定有多个固定板18，固定板18沿延伸方向d2延伸；在延伸方向d2上，每个固定板18上依次排列有多个第一喷嘴12、多个第二喷嘴13和多个第三喷嘴14。载板11上的多个喷嘴通过长条形状的固定板18成排地固定在载板11上，使得用户能够更方便地对一排喷嘴进行更换，提高了喷嘴板1的更换和清洗效率，降低维修成本。进一步地，喷嘴板1上设置有多个固定槽111，固定槽111沿延伸方向d2上延伸，固定板18固定在固定槽111中，从而使得固定板18在安装在载板11上时能够被限位，喷嘴在喷洒蒸镀材料3时工作环境更稳定。进一步地，在载板11上位于固定槽111沿延伸方向d2上的两端处分别设置有一对限位凸起19；在与升华方向d1和延伸方向d2均垂直的宽度方向d3上，一对限位凸起19之间的间距大于或等于固定板18的宽度，从而使得固定板18能够被限制在固定槽111中，不会晃动以至于影响喷嘴的喷洒。
[0054]
参见图10，在本实施例的蒸发源中，第一喷口121具有第一弧形切口，第二喷口131具有第二弧形切口，第三喷口141具有第三弧形切口，通过设置第一弧形切口、第二弧形切口和第三弧形切口，降低了蒸镀到基材4上蒸镀材料3的不均匀性；在升华方向d1上，第一弧形切口、第二弧形切口和第三弧形切口的最高点位于同一高度，第二弧形切口的最低点高于第一弧形切口的最低点和第三弧形切口的最低点，从而提高了基材4上蒸镀材料3的厚度
均匀性，保证显示屏的质量。
[0055]
参见图11，在本实施例的蒸发源中，容器2具有蒸发槽21，喷嘴板1覆盖蒸发槽21，沿与升华方向d1上，蒸发槽21的内径越来越大，以满足蒸发源的面喷洒功能。
[0056]
本技术实施例所公开的蒸发源，对安装于容器上的喷嘴部进行多种布置，使得蒸镀到基材上的蒸镀材料厚度均匀，保证了产品的质量。
[0057]
以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术保护的范围之内。