质谱仪、质谱方法以及检测系统与流程

技术特征：
1.一种质谱仪，其特征在于，包括：真空室，所述真空室的工作气压p的范围为0.1pa≤p≤10pa；线性离子阱，设置于所述真空室内，其中，所述线性离子阱的场半径r的范围为r≤5mm；以及电源，配置为向所述线性离子阱提供射频电压，所述射频电压的频率f的范围为2mhz≤f≤10mhz。2.如权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，还包括:真空泵，与所述真空室相连接，其中，所述真空泵为往复式真空泵、旋片式真空泵、活塞式真空泵、涡旋干泵、隔膜式真空泵或罗茨泵。3.如权利要求2所述的质谱仪，其特征在于，所述真空泵的抽速s的范围为：s≤100l/min。4.如权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，还包括：毛细管，用于将样品导入所述真空室。5.如权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，还包括与所述真空室连通的膜进样器。6.如权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，还包括：检测器，设置在所述线性离子阱的离子出口处。7.如权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，还包括：离子源，设置在所述真空室的样品入口与所述线性离子阱之间。8.如权利要求7所述的质谱仪，其特征在于，所述离子源为光电离离子源、介质阻挡放电离子源、辉光放电离子源或电子轰击离子源中的一种或其组合。9.如权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，所述线性离子阱的场半径r的范围为:r≤1mm、1mm≤r≤2mm、2mm≤r≤3mm、3mm≤r≤4mm以及4mm≤r≤5mm中的任意种或其组合。10.如权利要求1所述的质谱仪，其特征在于，所述射频电压的频率f的范围为：2mhz≤f≤3mhz、3mhz≤f≤4mhz、4mhz≤f≤5mhz、5mhz≤f≤6mhz、6mhz≤f≤7mhz、7mhz≤f≤8mhz、8mhz≤f≤9mhz以及9mhz≤f≤10mhz中的任一种或其组合。11.一种质谱方法，其特征在于，包括步骤：提供场半径r≤5mm的线性离子阱；向所述线性离子阱提供0.1pa≤p≤10pa的压力环境；以及向所述线性离子阱提供频率2mhz≤f≤10mhz的射频电压。12.一种voc在线监测设备，其特征在于，所述voc在线监测设备具有如权利要求1-10中任一项所述的质谱仪。13.一种气相色谱-质谱联用设备，其特征在于，所述气相色谱-质谱联用设备具有如权利要求1-10中任一项所述的质谱仪。

技术总结
本发明涉及一种质谱仪、质谱方法以及检测系统，其中，质谱仪包括：真空室，所述真空室的工作气压P的范围为0.1Pa≤P≤10Pa；线性离子阱，设置于所述真空室内，其中，所述线性离子阱的场半径r≤5mm；以及电源，配置为向所述线性离子阱提供射频电压，所述射频电压的频率f的范围为2MHz≤f≤10MHz。由于该真空度相对较低，因此，选用粗真空泵抽真空即可实现这一真空条件，粗真空泵相比较于传统应用线性离子阱的质谱仪通常选用的由涡轮分子泵和粗真空泵构成的组合泵机组，抽速更小，体积更小，且制造成本更低，因此，本发明所提供的质谱仪，可以减小与真空室相匹配的真空泵的整体体积，进而实现质谱仪的小型化和低成本化。现质谱仪的小型化和低成本化。现质谱仪的小型化和低成本化。


技术研发人员：林一明 孙文剑
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2020.05.21
技术公布日：2021/11/25