一种真空腔室和真空设备的制作方法

1.本实用新型涉及异质结太阳能电池生产设备技术领域，具体涉及一种真空腔室和真空设备。


背景技术：

2.异质结(shj，又称hjt、hdt)太阳能电池，是以n型单晶硅为基底，在前后表面分别沉积不同特性的硅基薄膜叠层和透明导电薄膜形成异质结结构。经德国哈梅林太阳能研究院(isfh)认证，目前异质结电池全面积(m2，244.52cm2)光电转换效率达到24.85％，成为6寸硅片shj电池新的应用冠军。
3.异质结太阳能电池包括多个层结构，制备过程包括制绒清洗、pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学气相沉积)、pvd(physical vapor deposition，物理气相沉积)、丝网印刷等工艺，其中的ito/iwo等沉积镀膜均采用pvd或rpd(reactive plasma deposition，等离子体沉积)等真空腔室设备。异质结太阳能电池的结构与工艺有别于其他太阳能电池的结构与工艺，但目前异质结太阳能电池的工艺设备选用与太阳能电池芯片通用制备设备相同的真空腔室，在ito/iwo等沉积镀膜工艺中，真空腔室的多余空间较大，达到工艺真空度的抽气时间较长。而设计和制备新的专用于异质结太阳能电池的真空腔室将极大增加产线成本。再者，在设计和制备新的设备时，考虑到产线中多个设备的布局和美观，通常也会将多个功能腔室设计为相同的尺寸，也不可避免地会造成部分功能腔室出现多余空间。pvd或rpd等沉积镀膜设备中的真空腔室，在设备停机后，复机过程的抽真空时间长达30多小时(9.0e
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4pa)；且pvd/rpd前置腔室抽真空时间过长(约200s)，因达到工艺真空度的抽气时间较长，其成为pvd/rpd设备的产能瓶颈，导致设备稼动率降低，产线产能降低。


技术实现要素：

4.有鉴于此，为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提出一种真空腔室，采用填充物填充多余空间，能够大量减少真空腔室内部的多余空间，进而大幅度降低抽真空时长，提高了生产效率，采用本实用新型的设备来提高pvd和rpd真空腔室抽气速率，不用单独设计不同的真空腔室，使生产线上的设备排列更加有序，有利于整体布局，且本实用新型成本低廉安装方便。
5.为了达到上述技术目的，本实用新型所采用的具体技术方案为：
6.一种真空腔室，包括底板、设于所述底板边缘上方的侧壁以及能活动设于所述底板上方的盖板，相对的两所述侧壁之间固定设置有多根转动杆，每一所述转动杆上同轴设置有多个传动滚轮，相邻所述转动杆之间的所述底板上设置有多组盖板固定柱；其特征在于：在所述盖板与所述底板之间、未设置所述转动杆、所述传动滚轮和所述盖板固定柱的空间内至少部分活动设置有填充件。
7.进一步的，所述填充件包括第一填充件和/或第二填充件；
8.所述第一填充件至少部分设置在所述转动杆下方，用于填充所述转动杆与所述真空腔室的底板之间的空间；
9.所述第二填充件设置在相邻所述转动杆之间，用于填充相邻所述转动杆之间的空间。
10.进一步的，所述填充件还包括低厚度填充塞块，所述低厚度填充塞块用于填充在所述第一填充件与所述真空腔室的侧壁之间。
11.进一步的，所述填充件还包括高厚度填充塞块，所述高厚度填充塞块用于填充在所述第二填充件与所述真空腔室的侧壁之间。
12.进一步的，所述第一填充件为长方体结构，设置在相邻的传动滚轮之间，厚度小于所述真空腔室的底板与所述转动杆之间的垂直距离。
13.进一步的，所述第一填充件的端部设置有填充凸块；所述填充凸块用于填充所述滚轮的下方与底板之间的空间。
14.进一步的，所述第二填充件为长方体结构，设置在相邻的盖板固定柱之间，厚度小于盖板固定柱顶端与所述真空腔室的底板之间的垂直距离。
15.进一步的，所述第二填充件的端部设置有固定柱通过孔。
16.进一步的，所述填充件为实心结构或空心结构。
17.进一步的，本实用新型还提出一种真空设备，包括上述真空腔室。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
19.图1为本实用新型实施例中pvd和rpd真空腔室的俯视图；
20.图2为本实用新型实施例中第一填充件的结构示意图；
21.图3为本实用新型实施例中第二填充件的结构示意图；
22.其中：1、转动杆；11、传动滚轮；2、盖板固定柱；3、第一填充件；31、填充凸块；4、第二填充件；41、固定柱通过孔。
具体实施方式
23.下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。
24.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而
易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本实用新型，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
26.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
27.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
28.在本实用新型的一个实施例中，提出一种真空腔室，真空腔室的底板上设置有多组盖板固定柱2，通过相对的两个侧壁固定设置有多组转动杆1，转动杆1上同轴设置有多个传动滚轮11。盖板上设置有多个安装孔，真空腔室的使用前，需将盖板在盖至如图1所示的开口上方，通过多组盖板固定柱2固定安装；只露出每个传动滚轮11的上部的一部分，由于盖板下方留有大量的空间，因此在抽真空时需要将这些空间的空气全部抽离才能够进行生产。
29.在本实施例中，真空腔室包括填充件，填充件用于填充盖板与真空腔室的底板之间的空间。
30.在本实施例中，填充件可采用塑性或非塑性的非挥发性材料，在不影响盖板安装以及转动杆1转动的情况下，尽可能将多余空间全部占据，减少真空腔室的抽真空时长。
31.在本实施例中，填充件可以通过放置或通过紧固件(如螺栓等)固定的方式设置在真空腔室中。
32.在一个实施例中，如图2或图3所示，填充件包括第一填充件3和第二填充件4；填充状态下，第一填充件3设置在转动杆1下方，用于填充转动杆1与真空腔室的底板之间的空间，第二填充件4设置在相邻转动杆1之间，用于填充相邻转动杆1之间的空间。
33.在本实施例中，第一填充件3和第二填充件4均采用铝合金材质的填充块，形状根据盖板与真空腔室的底板之间的多余空间布局进行设计，在不影响盖板安装以及转动杆1转动的情况下，尽可能将多余空间全部占据，减少真空腔室的抽真空时长。
34.在一个实施例中，由于第一排和最后一排盖板固定柱2与真空腔室未安装转动杆1的两个侧壁之间的距离，相对于固定柱与转动杆1之间的距离较大，且为了便于放置填充件，其加工尺寸的组合会在上述两个侧壁处留出安装余量空位，因此采用相同规格的第一填充件3不能够完全填充真空腔室内的多余空间。同理，也会在安装转动杆1的两个侧壁之间留有安装余量空位，为了更大范围占据多余空间，设置低厚度填充塞块填充件还包括低厚度填充塞块，填充状态下，低厚度填充塞块设置在第一填充件3与真空腔室的侧壁之间。
35.在本实施例中，同理，设置高厚度填充塞块，填充状态下，高厚度填充塞块设置在第二填充件4与真空腔室的侧壁之间。
36.在一个实施例中，如图2所示，由于传动滚轮11的下缘低于传动杆1的下缘，为了便
于成批加工降低成本，第一填充件3为长方体结构，填充状态下，设置在相邻的传动滚轮11之间，厚度小于真空腔室的底板与转动杆1之间的垂直距离。在具体生产过程中，在整条生产线上，某一真空腔室只负责单一工艺，如确定某真空腔室需设置填充件，则长期不需再将其取出，因此本实施例采用固定结构的第一填充件3来降低成本。
37.安装时，将第一填充件3从转动杆1的一边塞至转动杆1的下方即可。
38.在本实施例中，如图2所示第一填充件3的端部设置有填充凸块31；填充凸块31用于填充滚轮的下方与底板之间的空间。由于安装第一填充件3时需要从转动杆1的一侧塞入，因此填充凸块31采用如图2所示一边开口的设计方式，最大范围占据腔室内的多余空间。
39.在本实施例中，第二填充件4为长方体结构，设置在相邻的盖板固定柱2之间，厚度小于盖板固定柱顶端与真空腔室的底板之间的垂直距离。第二填充件4和第一填充件3一样，均采用长方体结构，能够在放置后形成并拢，根据腔室内的空间布局进行组合设计，即能不留多余空隙。
40.在一个实施例中，如图3所示为了占据盖板固定柱2的横向范围所占据空间，第二填充件4的端部设置有固定柱通过孔41，使得两个第二填充件4可以在固定柱通过孔41的两侧进行合并。
41.在一个实施例中，为了降低金属填充件的加工难度，填充件均为实心结构。
42.在一个实施例中，提出一种真空设备，其包括上述实施例所述的真空腔室。
43.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。