用于在模块式涂覆设备中输送并移动基片的优化系统和方法与流程

技术特征：
1.一种载具，其能够从一个涂装、涂覆或处理模块通过输送带运动到另一个涂装、涂覆或处理模块，该载具包括：
‑
至少一个轴杆，其支承基片架；
‑
该轴杆包括轴杆齿轮；
‑
由链驱动的接合齿轮，其中，该接合齿轮经由接合杆被接合至轴杆夹，其中，该轴杆夹就位在该至少一个轴杆的轴芯上并具有至少一个开口，允许该轴杆的轴芯移动进出该轴杆夹，其特征是，该轴杆的轴芯包括至少一个部分，所述至少一个部分所具有的形状至少部分匹配于该轴杆夹的敞开插口的形状，使得该轴杆的轴芯被机械接合至该轴杆夹，并且当该轴杆的轴芯位于该轴杆夹的开口内时，允许该轴杆的轴芯随该轴杆夹转动。2.根据权利要求1所述的载具，其特征是，该接合杆的关于该接合齿轮轴线而言的附接半径、该接合杆的长度和该接合杆的关于该轴杆夹轴线而言的附接半径都被设定为，使得该接合齿轮的连续回转产生该轴杆夹绕其轴线的来回运动。3.根据权利要求1或2所述的载具，其特征是，该接合齿轮在轴向上接合至另一传动齿轮，其驱动附接有该接合杆的小齿轮，使得该小齿轮的完整转动产生该轴杆夹的来回运动。4.根据权利要求2或3所述的载具，其特征是，该轴杆夹的来回运动是关于平行于该载具顶面的水平面而言在30
°
至
‑
30
°
之间进行的。5.根据权利要求2至4之一所述的载具，其特征是，该载具能够在涂装、涂覆或处理过程和该轴杆的来回回转运动中在模块内通过该输送带被水平移动。6.根据权利要求1至5之一所述的载具，其特征是，至少一个轴杆能够通过提升该载具被移动，使得所述至少一个轴杆的轴芯被移动到该轴杆夹的开口外且与之脱离。7.根据权利要求6所述的载具，其特征是，至少一个轴杆能够通过移动链经由该轴杆齿轮被转动。8.根据权利要求7所述的载具，其特征是，至少一个轴杆能够与该移动链的运动同步地以连续回转方式和/或以任何角度自由回转。9.一种用于使在根据权利要求1至8之一所述的载具上的至少一个轴杆运动的方法，其特征是，当至少一个轴杆位于该轴杆夹的开口外且该轴杆被移动链经由该轴杆齿轮驱动时，该轴杆能够被置于自由回转运动中。10.一种用于使在根据权利要求1至8之一所述的载具上的至少一个轴杆运动的方法，其特征是，在该载具在该模块内通过该输送带沿水平方向来回移动的同时，至少一个轴杆能够绕其轴线来回回转。

技术总结
本发明提供一种用于涂覆基片的解决方案，基片借助于载具被移动，该载具能够在具有如下系统的连续串列生产设备中在涂装、涂覆或处理模块之间移动，该系统允许在用于重要工艺过程，如物理气相沉积(PVD)涂覆、UV硬化和IR闪照的有限来回回转运动，即所谓摇摆模式，与在基片处于涂装或干燥过程模块中时的基片连续回转运动之间轻松切换。转运动之间轻松切换。转运动之间轻松切换。


技术研发人员：马库斯
受保护的技术使用者：欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
技术研发日：2020.02.20
技术公布日：2021/11/21