一种光罩静电包装机构的制作方法

1.本实用新型涉及光罩包装技术领域，具体为一种光罩静电包装机构。


背景技术：

2.光罩(英文:reticle, mask):在制作ic的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。业内又称光掩模版、掩膜版，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为:曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。
3.光罩转运过程中需要进行包装，转运过程中产生的静电将影响光罩的性能，现有的光罩包装机构结构单一，无法有效的屏蔽静电，因此，有必要进行改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种光罩静电包装机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光罩静电包装机构, 包括包装袋本体，所述包装袋本体上端口呈开口状，且所述包装袋本体上端口处安装胶合密封条，所述包装袋本体内壁喷涂防静电涂层，所述包装袋本体外部包覆防静电组件。
6.优选的，本申请提供的一种光罩静电包装机构，其中，所述防静电涂层采用聚噻吩导电层，所述聚噻吩导电层层为聚噻吩材料、纳米银材料和碳纳米管材料其中的一种材料制成。
7.优选的，本申请提供的一种光罩静电包装机构，其中，所述防静电组件包括上金属网、上防静电膜、珍珠棉、下防静电膜、下金属网，所述上金属网的底部粘接所述上防静电膜，所述上防静电膜的底部粘接所述珍珠棉，所述珍珠棉的底部粘接所述下防静电膜，所述下防静电膜的底部粘接所述下金属网。
8.优选的，本申请提供的一种光罩静电包装机构，其中，还包括金属丝线，所述金属丝线贯穿所述上金属网、所述上防静电膜、所述珍珠棉、所述下防静电膜、下金属网。
9.优选的，本申请提供的一种光罩静电包装机构，其中，所述胶合密封条采用防静电橡胶材质制成。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计新颖，制作成本低，设置防静电涂层和防静电组件，能够有效的提高光罩的防静电效果，延长光罩的使用寿命和存储时间；其中，采用的防静电组件中设置上防静电膜和下防静电膜能够有效的屏蔽静电，进气起到保护光罩的作用。
附图说明
11.图1为本实用新型结构示意图；
12.图2为本实用新型防静电组件结构示意图；
13.图中：包装袋本体1、胶合密封条2、防静电组件3、上金属网4、上防静电膜5、珍珠棉6、下防静电膜7、下金属网8、金属丝线9。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、
ꢀ“
下”、
ꢀ“
内”、
ꢀ“
外”“前端”、
ꢀ“
后端”、
ꢀ“
两端”、
ꢀ“
一端”、
ꢀ“
另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、
ꢀ“
第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、
ꢀ“
设置有”、
ꢀ“
连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
17.请参阅图1
‑
2，本实用新型提供一种技术方案：一种光罩静电包装机构, 包括包装袋本体1，所述包装袋本体1上端口呈开口状，且所述包装袋本体1上端口处安装胶合密封条2，胶合密封条2采用防静电橡胶材质制成，所述包装袋本体1内壁喷涂防静电涂层，所述包装袋本体1外部包覆防静电组件3。
18.本实用新型中，防静电涂层采用聚噻吩导电层，所述聚噻吩导电层层为聚噻吩材料、纳米银材料和碳纳米管材料其中的一种材料制成，设置的防静电涂层与光罩表面直接接触，能够起到屏蔽静电性能。
19.此外，本实用新型中，防静电组件3包括上金属网4、上防静电膜5、珍珠棉6、下防静电膜7、下金属网8，所述上金属网4的底部粘接所述上防静电膜5，所述上防静电膜5的底部粘接所述珍珠棉6，所述珍珠棉6的底部粘接所述下防静电膜7，所述下防静电膜7的底部粘接所述下金属网8；还包括金属丝线9，所述金属丝线9贯穿所述上金属网4、所述上防静电膜5、所述珍珠棉6、所述下防静电膜7、下金属网8。
20.综上所述，本实用新型结构设计新颖，制作成本低，设置防静电涂层和防静电组件，能够有效的提高光罩的防静电效果，延长光罩的使用寿命和存储时间；其中，采用的防静电组件中设置上防静电膜和下防静电膜能够有效的屏蔽静电，进气起到保护光罩的作用。
21.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新
型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。


技术特征：
1.一种光罩静电包装机构, 包括包装袋本体（1），其特征在于：所述包装袋本体（1）上端口呈开口状，且所述包装袋本体（1）上端口处安装胶合密封条（2），所述包装袋本体（1）内壁喷涂防静电涂层，所述包装袋本体（1）外部包覆防静电组件（3）。2.根据权利要求1所述的一种光罩静电包装机构，其特征在于：所述防静电涂层采用聚噻吩导电层，所述聚噻吩导电层层为聚噻吩材料、纳米银材料和碳纳米管材料其中的一种材料制成。3.根据权利要求1所述的一种光罩静电包装机构，其特征在于：所述防静电组件（3）包括上金属网（4）、上防静电膜（5）、珍珠棉（6）、下防静电膜（7）、下金属网（8），所述上金属网（4）的底部粘接所述上防静电膜（5），所述上防静电膜（5）的底部粘接所述珍珠棉（6），所述珍珠棉（6）的底部粘接所述下防静电膜（7），所述下防静电膜（7）的底部粘接所述下金属网（8）。4.根据权利要求3所述的一种光罩静电包装机构，其特征在于：还包括金属丝线（9），所述金属丝线（9）贯穿所述上金属网（4）、所述上防静电膜（5）、所述珍珠棉（6）、所述下防静电膜（7）、下金属网（8）。5.根据权利要求1所述的一种光罩静电包装机构，其特征在于：所述胶合密封条（2）采用防静电橡胶材质制成。

技术总结
本实用新型公开了一种光罩静电包装机构，包括包装袋本体，包装袋本体上端口呈开口状，且包装袋本体上端口处安装胶合密封条，包装袋本体内壁喷涂防静电涂层，包装袋本体外部包覆防静电组件，本实用新型结构设计新颖，制作成本低，设置防静电涂层和防静电组件，能够有效的提高光罩的防静电效果，延长光罩的使用寿命和存储时间。和存储时间。和存储时间。


技术研发人员：郑永庆 张衡 陈宏渊
受保护的技术使用者：艾斯尔光电（南通）有限公司
技术研发日：2021.04.15
技术公布日：2021/11/17