尾气处理装置及膜沉积系统的制作方法

技术特征：
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：相互连接的第一气体通路和第二气体通路；所述第一气体通路设置有加热装置；所述第二气体通路内设置有过滤装置，且所述第二气体通路设置有反应气输入口；在所述第二气体通路内所述尾气流动的方向上，至少所述过滤装置的部分位于所述反应气输入口的前方。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述第一气体通路的尾气出口连接所述第二气体通路的尾气进口，且所述反应气输入口靠近所述第一气体通路的尾气出口。3.根据权利要求1或2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述过滤装置包括沿所述第二气体通路内尾气流动的方向，并排设置的至少两个滤网。4.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于，所述滤网包括锥形滤网，所述锥形滤网的锥尖迎向所述第二气体通路内所述尾气流动的方向。5.根据权利要求4所述的尾气处理装置，其特征在于，所述滤网还包括平面滤网，所述平面滤网至少设置在相邻的所述锥形滤网之间。6.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，所述平面滤网至少设置于所述锥形滤网的底部。7.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，在靠近所述第二气体通路的所述尾气进口，且位于首位的所述锥形滤网的尖部设置有所述平面滤网。8.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括滤网安装架，各所述滤网沿所述第二气体通路内尾气流动的方向顺次固定于所述滤网安装架上。9.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于，各所述滤网包括片状主体，所述片状主体上排布有过滤孔，各所述过滤孔的孔径相同或不同。10.根据权利要求1或2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述加热装置设置于所述第一气体通路的内侧面和/或外侧面。11.一种膜沉积系统，其特征在于，包括膜沉积反应腔、抽气泵以及如权利要求1
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10任一所述的尾气处理装置，所述第一气体通路的所述尾气进口与所述膜沉积反应腔的所述尾气排出口连通，所述抽气泵与所述第二气体通路的所述尾气出口连通，所述反应气输入口连接反应气供气装置；或者，所述第二气体通路的所述尾气进口与所述膜沉积反应腔的所述尾气排出口连通，所述抽气泵与所述第一气体通路的所述尾气出口连通，所述反应气输入口连接反应气供气装置。

技术总结
本申请公开了一种尾气处理装置及膜沉积系统，尾气处理装置包括：相互连接的第一气体通路和第二气体通路；第一气体通路设置有加热装置；第二气体通路内设置有过滤装置，且第二气体通路设置有反应气输入口；在第二气体通路内尾气流动的方向上，至少过滤装置的部分位于反应气输入口的前方。尾气至少在第二气体通路中与反应气反应生成颗粒物，颗粒物可以被过滤装置所拦截，可以避免尾气在抽气泵前未彻底分解导致在抽气泵内分解生成大量的颗粒物或在抽气泵前生成的大量的颗粒物被抽到抽气泵内导致抽气泵卡死的问题发生。导致抽气泵卡死的问题发生。导致抽气泵卡死的问题发生。


技术研发人员：赵赞良 罗玉财 武慧亮 赵永涛
受保护的技术使用者：宁夏隆基乐叶科技有限公司
技术研发日：2021.02.01
技术公布日：2021/11/9